专利名称：物理量传感器及电子设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种物理量传感器及具备该物理量传感器的电子设备。
背景技术：
一直以来，作为物理量传感器，已知有如下的静电电容型传感器，S卩，形成可动电极通过扭转弹簧等的弹性要素而被支承在固定部上的结构，且通过可动电极根据所作用的外力等而接近或者远离固定电极，而对这些电极间的静电电容的变化进行检测，从而能够对加速度或角速度等的各种物理量进行检测。作为这样的静电电容型传感器，公开了一种超小型机械性加速度传感器，其被构成为，利用通过扭杆(扭转弹簧)而以可摆动的方式被支承在两个半导体晶片之间的中空 空间内，且根据所施加的加速度等的物理量而以跷跷板状进行摆动(位移)的摆动台(质量 部)，对垂直轴方向上的物理量进行检测(例如，参照专利文献I)。专利文献I的超小型机械性加速度传感器(以下，称为加速度传感器)为，静电电容型传感器。由此，上述加速度传感器根据下述的静电电容的公式(1)，为了提高检测灵敏度，而需要构成为，例如，使作为可动电极的摆动台和作为与摆动台对置的固定电极的第一电极之间的距离接近，以增大静电电容，从而对于摆动台的微小的位移，静电电容也相当程度地发生变化，由此即使是微小的加速度，也能够进行检测。C = ε S/d...... (I)(将静电电容设为C，将对置电极的面积设为S，将对置电极间的距离设为d，将电容率设为ε。)但是，在上述加速度传感器中，形成有第一电极(固定电极)的第一半导体晶片的表面是平坦的，且摆动台被形成为平板状。因此，在上述加速度传感器中，存在下述可能性，例如，在摆动台通过所施加的加速度的惯性力而发生了位移时，由于存在于摆动台和第一半导体晶片的表面之间的气体的流动阻力(挤压膜阻尼)而抑制了位移，从而响应延迟，检测范围变窄。此外，在上述加速度传感器中，存在摆动台由于因静电等引起的带电而贴附在第一半导体晶片的表面上的可能性。专利文献I :日本特开平9-189716号公报
发明内容
本发明是为了解决上述课题中的至少一部分而被完成的，且能够作为以下的方式或者应用例而实现。应用例I本应用例所涉及的物理量传感器的特征在于，具备底基板，其上设置有第一凹部；传感器部，其被配置在所述第一凹部上，且通过在第一轴方向上延伸的支承部，而以能够在所述第一凹部的深度方向上摆动的方式被支承，所述传感器部以所述支承部为界而被划分为第一部分和第二部分，在所述第一部分以及所述第二部分上具备可动电极部，并且，与所述第一部分相比所述第二部分的质量较大，在所述第一部分以及所述第二部分中的至少一方上设置有贯穿孔，所述底基板于在俯视观察时与所述可动电极部重叠的位置处具备固定电极部，并且，于在俯视观察时与所述传感器部的顶端重叠的位置处，设置有与所述第一凹部相比较深的第二凹部。由此，在物理量传感器中，在传感器部的第二部分的顶端侧，形成有贯穿孔，在底基板中的与传感器部的第二部分的顶端侧对置的部分处，设置有与第一凹部相比较深的第ニ凹部。由此，与不存在贯穿孔以及第ニ凹部的情况相比较，物理量传感器能够降低下述的气体的流动阻力，即，例如在传感器部的第二部分通过所施加的加速度的惯性カ而以支承部为支点(旋转中心)，而向接近第一凹部的底面的方向进行摆动(位移)时的、存在于传感器部的第二部分和第一凹部的底面之间的气体的流动阻力。其结果为，物理量传感器由于例如通过加速度的施加而产生的传感器部的位移变·得顺畅，因此响应加快，从而能够扩大检测范围。此外，物理量传感器中，由于传感器部的第二部分与第一部分相比质量较大(较重)，因此传感器部在第一部分和第二部分处不平衡，从而例如能够根据被施加在传感器部上的加速度而使传感器部高效地位移(转动)。其结果为，物理量传感器能够进ー步提高施加加速度时的检测灵敏度。应用例2在上述应用例所涉及的物理量传感器中，优选为，在所述第二凹部内设置有导电部，所述导电部与所述可动电极部相连接。由此,物理量传感器中，由于在第二凹部内设置有导电部，导电部与可动电极部相连接，因此，能够使例如通过反应离子蚀刻等对传感器部进行加工时所产生的电荷，经过导电部而从底基板侧向传感器基板侧排出。其结果为，物理量传感器能够避免由于带电而导致的传感器部向底基板的贴附。应用例3在上述应用例所涉及的物理量传感器中，优选为，所述贯穿孔沿着所述第一轴方向而设置有多个。由此，物理量传感器中，由于贯穿孔在第一轴的方向上以带状并排有多个，因此与其他的形状相比较，能够确保传感器部的质量，且增大各个贯穿孔的内部空间。其结果为，物理量传感器能够进一歩降低存在于传感器部的第二部分与第二凹部的底面之间的气体的流动阻カ。所以，物理量传感器中，由于例如因加速度的施加而导致的传感器部的位移进ー步变得顺畅，因此响应加快，从而能够进一步提闻检测范围。应用例4在上述应用例所涉及的物理量传感器中，优选为，所述第一凹部被设置为，随着从所述传感器部的所述支承部趋于所述顶端，与所述传感器部之间的间隙増大。由此，物理量传感器中，由于第一凹部被设置为，随着从传感器部的支承部侧趋于顶端侧，与传感器部之间的间隙増大，因此在传感器的位移较小的支承部侧，能够缩小第一凹部的底面与传感器部之间的间隙，而在传感器的位移较大的顶端侧，能够增大第一凹部的底面与传感器部之间的间隙。其结果为，物理量传感器中，与第一凹部的底面由以与传感器部的位移较大的顶端侧之间的间隙为基准的、平坦的平面构成的情况相比较，能够提高检测灵敏度。应用例5在上述应用例所涉及的物理量传感器中，优选为，所述底基板使用绝缘材料，所述传感器部使用半导体材料。由此，物理量传感器中，由于底基板使用绝缘材料，传感器部使用半导体材料，因此能够通过绝缘材料而容易地实施底基板与传感器部之间的绝缘分离。除此之外，物理量传感器通过将作为半导体材料的、例如低电阻的硅用于传感器 部中，从而能够将传感器部和可动电极部一体化。由此，在物理量传感器中，能够容易地将可动电极部设置在传感器部上。应用例6在本应用例所涉及的电子设备中，优选为，具备上述应用例中任一例所述的物理
量传感器。由此，本结构的电子设备中，由于具备上述应用例中任一例所述的物理量传感器，因此能够提供起到了上述应用例中任一例所述的效果的电子设备。
图I为表不第一实施方式的加速度传感器的概要结构的模式立体图。图2为图I的加速度传感器的模式平面剖视图，Ca)为俯视图，(b)为(a)的A_A线处的剖视图。图3为对加速度传感器的动作进行说明的模式剖视图。图4为对传感器部的贴附进行说明的模式剖视图，Ca)为表示没有导电部时的剖视图，(b)为表不具有导电部时的剖视图。图5为表示第二实施方式的加速度传感器的概要结构的模式平面剖视图，Ca)为俯视图，(b)为(a)的A-A线处的剖视图。图6为具备加速度传感器的电子设备(笔记本型个人计算机)的立体图。图7为具备加速度传感器的电子设备(移动电话)的立体图。图8为具备加速度传感器的电子设备(数码相机)的立体图。
具体实施例方式以下，參照附图对本发明的实施方式进行说明。另外，在以下的各图中，为了便于说明，各个结构要素的尺寸比例与实际有所不同。第一实施方式首先，对作为第一实施方式所涉及的物理量传感器的一个示例的加速度传感器进行说明。该传感器能够对Z轴方向(厚度方向)上的加速度进行检測。图I为表示第一实施方式的加速度传感器的概要结构的模式立体图。图2为图I的加速度传感器的模式平面剖视图，图2 (a)为俯视图，图2 (b)为图2 (a)的A-A线处的首1J视图。如图I、图2所示，加速度传感器I具备底基板10和传感器基板20。底基板10的平面形状为大致矩形，并且底基板10在中央部设置有平面形状为大致矩形的第一凹部11。底基板10优选使用玻璃等的绝缘材料。例如，底基板10优选使用含有碱金属离子(可动离子)的玻璃(例如，如〃 4 V ” }(注册商标)玻璃这样的硼硅酸玻璃)。另外，底基板10也可以使用高电阻的硅材料。传感器基板20的平面形状为大致矩形，并且传感器基板20与设置有底基板10的第一凹部11的主面IOa相接合。传感器基板20具备被配置在底基板10的第一凹部11的上方的、平面形状为大 致矩形的传感器部21 ;包围传感器部21的框缘状的框部22 ;对传感器部21和框部22进行连接的一对梁状的支承部23a、23b。另外，如果支承部23a、23b采用与底基板10接合，且能够可靠地支承传感器部21的结构，则也可以不设置框部22。传感器部21通过支承部23a、23b而以能够在第一凹部11的深度方向(Z轴方向)上摆动的方式被支承。详细而言，传感器部21以穿过支承部23a、23b的轴线B为旋转中心，通过支承部23a、23b在弹性变形范围内扭转(扭转弹簧作用)，从而以能够在Z轴方向上转动成跷跷板状的方式被支承。传感器部21以支承部23a、23b (轴线B)为界而被划分为-X侧的第一部分21A和+X侧的第二部分2IB。传感器部21在第一部分21A以及第二部分21B的、与底基板10的第一凹部11对置的一侧具有可动电极部传感器部21在第一部分21A和第二部分21B处质量有所不同。详细而言，传感器部21被形成为，与第一部分21A相比第二部分21B在X轴方向上的长度较长。而且,在与第一部分21A相比质量较大的第二部分21B上，至少于顶端侧形成有在Z轴方向上贯穿的贯穿孔24。另外，在本实施方式中，在传感器部21的整个区域内形成有贯穿孔24。贯穿孔24被形成为在支承部23a、23b的延伸方向(Y轴方向)上延伸的带状(细长的长方形状)。多个贯穿孔24以在带的宽度方向即X轴方向上并排的方式而配置。优选为，传感器基板20使用低电阻的硅等的半导体材料。由此，加速度传感器I中，可动电极部和传感器部21被一体化(传感器部21的整个区域成为可动电极部)。底基板10在第一凹部11内，与传感器部21的第一部分21A和第二部分21B的可动电极部对置的位置处具有固定电极部12、13。固定电极部12、13的平面形状为大致矩形，并且固定电极部12、13相互为等面积，当俯视观察时，相对于支承部23a、23b (轴线B)呈线对称形状。另外，传感器部21的多个贯穿孔24被配置为，在与固定电极部12、13对置的部分处，当俯视观察时，相对于支承部23a、23b (轴线B)呈线对称形状。由此，加速度传感器I被构成为，在传感器部21的第一部分2IA和第二部分2IB处,可动电极部与固定电极部12、13的对置面积相等。底基板10在与固定电极部13相比靠近传感器部21的第二部分21B的顶端(+X方向)处，且与传感器部21的第二部分21B的顶端侧对置的部分处，设置有与第一凹部11相接，且平面形状为大致矩形的第二凹部14。在此，从主面IOa到第二凹部14的底面14a的深度D2深于从主面IOa到第一凹部11的底面Ila的深度Dl (D2>D1)。在第二凹部14的底面14a上设置有平面形状为大致矩形的导电部15，导电部15经由未图示的布线而与传感器部21的可动电极部相连接(也连接于与可动电极部相连接的传感器基板20的框部22)。另外，导电部15和固定电极部12、13相互以电气独立的方式而形成。 另外，在图I、图2 (a)、后述的图5 (a)中，为了便于说明，对固定电极部12、13、导电部15划了阴影线。作为固定电极部12、13以及导电部15的构成材料，只要是具有导电性的材料，则不进行特别限定，且能够使用各种电极材料。具体而言，可以列举出例如，ITO (IndiumTinOxide,铟锡氧化物)、IZO (IndiumZinc Oxide,铟锌氧化物)、In303、Sn02、掺 Sb 的 SnO2、掺 Al的ZnO等的氧化物(透明电极材料)、Au、Pt、Ag、Cu、Al、或者含有这些物质的合金等,也可以组合这些材料中的一种或两种以上来使用。固定电极部12、13以及导电部15的形成方法(成膜方法)并未被特别限定，可以列举出例如，真空蒸镀、阴极真空喷镀(低温阴极真空喷镀)、离子镀等的干式镀膜法、电解镀膜、无电解镀膜等的湿式镀膜法、火焰喷涂法、薄膜的接合等。对于底基板10以及传感器20的形状形成，可使用光刻、蚀刻等的技术，且通过利用反应离子蚀刻(RIE ReactiveIon Etching)等来进行垂直蚀刻加工,从而例如,底基板10的第一凹部11、第二凹部14的内壁面、传感器部21的侧面、贯穿孔24的内表面被形成为垂直于传感器部21的主面。作为反应离子蚀刻，例如可以使用由具备感应耦合型等离子(ICP =InductiveCoupled Plasma)的蚀刻装置实施的加工方法。加速度传感器I中，由于底基板10使用含有碱金属离子(可动离子)的玻璃(例如，如八4 7 (注册商标)玻璃这样的硼硅酸玻璃)，传感器基板20使用硅材料，从而能够利用阳极接合法(使底基板10与传感器基板20紧贴，并在大约400°C的温度下施加大约IKV的电压，使两者的边界面附近产生静电引力，从而通过共价键将两者接合在一起的方法)将两者接合在一起。在此，对加速度传感器I的动作进行说明。图3为对加速度传感器的动作进行说明的模式剖视图，且表示在Z轴方向上施加了作为物理量的加速度的状态。如图3所示，加速度传感器I中，例如，当在与传感器部21的主面正交的+Z方向上被施加加速度G时，通过惯性力，传感器部21将绕轴线B以跷跷板状进行旋转(转动)，从而相对于底基板10倾斜。详细而言，加速度传感器I中，在传感器部21的第一部分21A远离固定电极部12的同时，传感器部21的第二部分21B接近固定电极部13。此时，由于固定电极部12与传感器部21的第一部分21A (可动电极部)之间的间隙SI增大，固定电极部13与传感器部21的第二部分21B (可动电极部)之间的间隙S2减小，因此第一部分2IA及固定电极部12之间的静电电容减小，第二部分21B及固定电极部13之间的静电电容増大。因此，加速度传感器I根据在传感器部21的第一部分21A与固定电极部12之间的间隙SI处产生的静电电容、与在传感器部21的第二部分21B与固定电极部13之间的间隙S2处产生的静电电容之间的差异(差动电容)，而求取通过C-V转换而获得的电压波形，从而能够检测出施加于加速度传感器I的加速度。此时，传感器部21的多个贯穿孔24的内部空间分别成为，在传感器部21进行转动时，使存在于间隙SI或间隙S2内的气体(例如，空气或者氮气、氦气、氩气等的惰性气体)流动的流道。由此，加速度传感器I能够在传感器部21进行转动时，使存在于间隙SI或间隙S2内的气体穿过多个贯穿孔24而排出。
除此之外，加速度传感器I中，在底基板10的、与固定电极部13相比靠近传感器部21的第二部分21B的顶端(+X方向)处，且与传感器部21的第二部分21B的顶端侧对置的部分处，设置有与第一凹部11相比较深的第二凹部14。由此，加速度传感器I中，当传感器部21进行转动时，存在于传感器部21的第二部分21B的顶端侧与第二凹部14的底面14a之间的气体的压缩程度与没有第二凹部14的情况(仅有第一凹部11的情況)相比，得到了缓和(被降低)。由此，加速度传感器I能够降低存在于传感器部21的第二部分21B的顶端侧与第ニ凹部14的底面14a之间的气体的流动阻力。其结果为，加速度传感器I中，因加速度的施加而产生的传感器部21的位移(转动)变得顺畅。如上文所述，第一实施方式的加速度传感器I中，在传感器部21的第二部分21B的至少顶端侧形成有贯穿孔24，并且在底基板10中的、与传感器部21的第二部分21B的顶端侧对置的部分处，设置有与第一凹部11相比较深的第二凹部14。由此，与不存在贯穿孔24以及第二凹部14的情况相比，加速度传感器I能够降低下述的气体的流动阻力，即，例如在传感器部21的第二部分21B通过所施加的加速度的惯性力而以支承部23a、23b (轴线B)为旋转中心进行位移时的、存在于传感器部21的第二部分21B与第一凹部11的底面Ila以及第二凹部14的底面14a之间的气体的流动阻力。其结果为，加速度传感器I中，由于因加速度的施加而产生的传感器部21的位移变得顺畅，因此能够扩大加速度的检测范围。此外，加速度传感器I中，由于传感器部21的第二部分21B与第一部分21A相比质量较大(较重)，因此传感器部21在第一部分21A和第二部分21B处不平衡，从而能够根据施加在传感器部21上的加速度而使传感器部21高效地旋转(转动)。其结果为，加速度传感器I能够使施加加速度时的检测灵敏度进ー步得到提高。此外，在加速度传感器I中，由于传感器部21的贯穿孔24被形成为，在支承部23a、23b的延伸方向(Y轴方向)上延伸的带状(细长的长方形状)，且多个贯穿孔24在带的宽度方向(X轴方向)上并排，因此与其他的形状相比较，能够确保传感器部21的质量，且增大各个贯穿孔24的内部空间。其结果为，加速度传感器I能够进一歩降低在传感器部21进行转动时，存在于传感器部21的第二部分21B与第一凹部11的底面Ila以及第二凹部14的底面14a之间的气体的流动阻力。因此，由于因加速度的施加而产生的传感器部21的位移变得更加顺畅，因此加速度传感器I能够进一步提高加速度的检测范围。此外，加速度传感器I中，由于在第二凹部14内设置有导电部15,且导电部15与可动电极部(与可动电极部相连接的传感器基板20的框部22)相连接，因此能够使例如利用反应离子蚀刻等对包括传感器部21在内的传感器基板20进行加工时所产生的电荷，经由导电部15而从底基板10侧向传感器基板20侧排出。其结果为，加速度传感器I能够避免由于带电而导致的传感器部21向底基板10的贴附。 在此，使用附图对传感器部21的贴附进行详细叙述。图4为对传感器部的贴附进行说明的模式剖视图，图4 (a)为表示没有导电部时的剖视图，图4 (b)为表示如本实施方式这样具有导电部时的剖视图。如图4 (a)所示，当底基板10上没有导电部15时，利用反应离子蚀刻等来对使用了硅的传感器基板20进行加工，而形成了传感器部21时，在底基板侧滞留有电荷，从而在传感器部21与底基板10之间产生电位差。由此，在没有导电部15时,传感器部21有可能贴附在底基板10上。与此相对，如图4 (b)所示，在本实施方式中，在将设置于底基板10的第二凹部14内的导电部15与传感器基板20相互电连接的状态(具体而言，从导电部15延伸至主面IOa的布线与成为传感器基板20的框部22的部分相接的状态)下，通过反应离子蚀刻而形成传感器部21。由此，在本实施方式中，能够使在反应离子蚀刻时所产生的电荷经由导电部15，而从底基板10侧向传感器基板20侧排出。其结果为，在本实施方式中，能够降低在反应离子蚀刻时滞留有电荷的情况，并且，在形成了传感器部21时，传感器部21与底基板10 (导电部15)成为相同电位，从而能够避免传感器部21贴附在底基板10上的情况。此外，加速度传感器I中，由于底基板10使用了硼硅酸玻璃等的玻璃，并且传感器部21使用了硅等的半导体材料，因此能够通过具有绝缘性的玻璃，而容易地实施底基板10与传感器部21之间的绝缘分离。除此之外，加速度传感器I通过将半导体材料即低电阻的硅用于传感器部21中，从而能够使传感器部21与可动电极部一体化。由此，加速度传感器I能够容易地将可动电极部设置在传感器部21上。第二实施方式接下来，对第二实施方式所涉及的加速度传感器进行说明。第二实施方式的加速度传感器为，上述的第一实施方式中的加速度传感器的第一凹部被形成为阶梯状的结构。图5为表示第二实施方式的加速度传感器的概要结构的模式平面剖视图，图5(a)为俯视图，图5 (b)为图5 (a)的A-A线处的剖视图。另外，对与第一实施方式共通的部分标记相同符号并省略详细的说明，并以不同于第一实施方式的部分为中心进行说明。如图5所示，在加速度传感器2中，底基板10的第一凹部111以随着从传感器部21的支承部23a、23b (轴线B)侧趋于顶端侧，与传感器部21之间的间隙増大的方式，而被形成为阶梯状。具体而言，加速度传感器2中，以传感器部21的支承部23a、23b(轴线B)侧与第一凹部111的底面Illb之间的间隙小于，传感器部21的顶端侧与第一凹部111的底面Illa之间的间隙的方式，将第一凹部111的底面Illa与底面Illb形成为具有高低差。換言之，加速度传感器2被形成为，从底基板10的主面IOa到第一凹部111的底面Illb的深度D3小于，从底基板10的主面IOa到第一凹部111的底面Illa的深度Dl (D3< DD0由此，加速度传感器2中，能够在以跷跷板状进行转动的传感器部21的位移较小的支承部23a、23b侧，縮小第一凹部111的底面11 Ib与传感器部21之间的间隙(D3 )，而在传感器部21的位移较大的顶端侧，増大第一凹部111的底面Illa与传感器部21之间的间隙(D1)。·
其结果为，加速度传感器2中，由干与第一凹部111的底面Illb由以与传感器部21的位移较大的顶端侧之间的间隙(Dl)为基准的、平坦的平面(底面Illa)构成的情况(D3=Dl)相比，能够增大传感器部21 (可动电极部)及固定电极部12、13间的静电电容，因此与第一实施方式相比较，能够进一歩提高检测灵敏度。另外，虽然在图5中，固定电极部12、13分别以从底面Illa横跨至底面Illb的方式而一体设置，但是也可以以分割为底面Illa的部分和底面Illb的部分的方式而设置。由此，加速度传感器2中，由于能够避免在固定电极部12、13分别为一体时可能引起的、高低差部分处的静电电容的检测误差的产生，因此能够更高精度地对静电电容的变化进行检測。另外，底基板10的第一凹部111也可以被形成为斜面状以取代阶梯状，能够起到与上述效果相同的效果。第三实施方式接下来，对第三实施方式所涉及的具备上述各个实施方式的加速度传感器的电子设备进行说明。图6为表示作为具备加速度传感器的电子设备的便携型(或者笔记本型)的个人计算机的结构的立体图。如图6所示，个人计算机1100通过具备键盘1102的主体部1104、和具有显示部100的显示单元1106而构成，并且显示単元1106通过铰链结构部而以可相对于主体部1104进行旋转的方式被支承。在这样的个人计算机1100中内置有加速度传感器I。另外，在个人计算机1100中也可以内置加速度传感器2以取代加速度传感器I。图7为表示作为具备加速度传感器的电子设备的移动电话(也包括PHS =PersonalHandy-phone System,个人手持式电话系统)的结构的立体图。如图7所示，移动电话1200具备多个操作按钮1202、听筒1204以及话筒1206，并且在操作按钮1202与听筒1204之间配置有显示部100。在这样的移动电话1200中内置有加速度传感器I。另外，在移动电话1200中也可以内置加速度传感器2以取代加速度传感器I。
图8为表示作为具备加速度传感器的电子设备的数码相机的结构的立体图。另夕卜，在图8中，简单地图示了与外部设备之间的连接。在此，通常的照相机通过被摄物体的光像而使氯化银照片胶卷感光，与此相对，数码相机1300通过CCD (Charge Coupled Device:电荷稱合装置)等的摄像元件而对被摄物体的光像进行光电转换，从而生成摄像信号(图像信号)。在数码相机1300的壳体(机身)1302的背面设置有显示部1310，并且成为根据CXD的摄像信号而进行显示的结构，显示部1310作为将被摄物体显示为电子图像的取景器而发挥功能。·此外，在壳体1302的正面侧(图中背面侧)，设置有包括光学透镜(摄像光学系统)和(XD等在内的受光单元1304。当摄影者对被显示在显示部1310上的被摄物体图像进行确认，并按下快门按钮1306时，该时刻的CXD的摄像信号将被传送并存储于存储器1308中。此外，在该数码相机1300中，在壳体1302的侧面上设置有视频信号输出端子1312、和数据通信用的输入输出端子1314。而且，根据需要，而在视频信号输出端子1312上连接有电视监视器1430，在数据通信用的输入输出端子1314上连接有个人计算机1440。而且，成为如下的结构，即，通过预定的操作，从而使存储于存储器1308中的摄像信号向影像监视器1430或个人计算机1440输出。在这样的数码相机1300中内置有加速度传感器I。另外，在数码相机1300中也可以内置加速度传感器2以取代加速度传感器I。由于这种结构的电子设备具备加速度传感器I或加速度传感器2，因此能够获得起到上述各个实施方式所记载的效果的、优异的电子设备。另外，具备上述加速度传感器的电子设备除了能够应用于图6的个人计算机(便携型个人计算机)、图7的移动电话、图8的数码相机之外，还能够应用于如下的装置中，例如，喷墨式喷出装置(例如，喷墨式打印机)、膝上型个人计算机、电视、摄像机、录像机、各种汽车导航装置、寻呼机、电子记事本(也包括带有通信功能的产品)、电子词典、台式电子计算机、电子游戏机、文字处理器、工作站、可视电话、防盗用视频监控器、电子双筒望远镜、POS (Point of Sale)终端、医疗设备(例如，电子体温计、血压计、血糖仪、心电图计测装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测量设备、计量设备类(例如，车辆、飞机、船舶的计量设备类)、飞行模拟器等。符号说明I、2…作为物理量传感器的加速度传感器；10…底基板；10a···主面；11…第一凹部；Ila…底面；12、13…固定电极部；14…第二凹部；14a…底面；15…导电部；
20…传感器基板；21…传感器部；21A…第一部分；21B…第二部分；22…框部；23a、23b…支承部；24…贯穿孔；111…第一凹部； IllaUllb …底面;B…轴线。
权利要求
1.一种物理量传感器，其特征在于，具备 底基板，其上设置有第一凹部； 传感器部，其被配置在所述第一凹部上，且通过在第一轴方向上延伸的支承部，而以能够在所述第一凹部的深度方向上摆动的方式被支承， 所述传感器部以所述支承部为界而被划分为第一部分和第二部分，在所述第一部分以及所述第二部分上具备可动电极部，并且，与所述第一部分相比所述第二部分的质量较大，在所述第一部分以及所述第二部分中的至少一方上设置有贯穿孔， 所述底基板于在俯视观察时与所述可动电极部重叠的位置处具备固定电极部， 并且，于在俯视观察时与所述传感器部的顶端重叠的位置处，设置有与所述第一凹部相比较深的第二凹部。
2.如权利要求I所述的物理量传感器，其特征在于， 在所述第二凹部内设置有导电部， 所述导电部与所述可动电极部相连接。
3.如权利要求I所述的物理量传感器，其特征在于， 所述贯穿孔沿着所述第一轴方向而设置有多个。
4.如权利要求I所述的物理量传感器，其特征在于， 所述第一凹部被设置为，随着从所述传感器部的所述支承部趋于所述顶端，与所述传感器部之间的间隙增大。
5.如权利要求I所述的物理量传感器，其特征在于， 所述底基板使用绝缘材料， 所述传感器部使用半导体材料。
6.—种电子设备,其特征在于， 具备权利要求I所述的物理量传感器。
全文摘要
本发明提供一种物理量传感器及电子设备，所述物理量传感器能够提高检测灵敏度。加速度传感器具备底基板，其上设置有第一凹部；传感器部，其被配置在第一凹部上，且通过支承部而以能够在第一凹部的深度方向上摆动的方式被支承，传感器部以支承部为界而被划分为第一部分和第二部分，在第一部分以及第二部分上具有可动电极部，并且，在与第一部分相比质量较大的第二部分上，至少于顶端侧形成有贯穿孔，底基板在第一凹部中的与可动电极部对置的位置处具备固定电极部，在与传感器部的顶端侧对置的部分处，设置有与第一凹部相比较深的第二凹部。
文档编号G01P15/125GK102955045SQ20121029332
公开日2013年3月6日 申请日期2012年8月16日 优先权日2011年8月17日
发明者與田光宏 申请人:精工爱普生株式会社