专利名称：物理量检测装置、物理量检测器及电子设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种物理量检测装置、物理量检测器及电子设备。
背景技术：
一直以来，已知一种利用了振子等的物理量检测元件的物理量检测装置(例如，力口速度传感器)。这种物理量检测装置被构成为，当物理量检测元件的共振频率由于力向检测轴方向作用而发生了变化时，根据该共振频率的变化而对被施加到物理量检测装置上的力(加速度)进行检测。在这种物理量检测装置中，例如通过在被施加了加速度时会发生位移的可动部上设置质量部，从而提高加速度的检测灵敏度(参照专利文献I)。但是，在专利文献I所公开的技术中，由于可动部和质量部的热膨胀系数有所不同，因此有时会因两者的热膨胀系数之差而在可动部上产生应力。而且，这种应力有时会被传递至物理量检测元件。其结果为，存在物理量检测元件的共振频率由于传递过来的应力而发生变动，从而导致物理量检测装置的检测灵敏度降低的情况。专利文献1:日本特开2011-169671号公报
发明内容
本发明的几个方式所涉及的目的之一在于，提供一种能够抑制应力向物理量检测元件传递的情况的物理量检测装置。此外，本发明的几个方式所涉及的目的之一在于，提供一种具有上述物理量检测装置的物理量检测器及电子设备。应用例I为了解决上述课题，本发明所涉及的物理量检测装置包括:基部；可动部，其经由连接部而被设置在所述基部上，并根据物理量的变化而发生位移；物理量检测元件，其以跨接所述基部与所述可动部的方式而被固定；质量部，其被固定在所述可动部上，所述可动部包括:第一固定部，其上固定有所述物理量检测元件；第二固定部，其上固定有所述质量部；切口部，其与所述连接部分离，且具有从所述可动部的侧面起到达至与连结所述第一固定部和所述第二固定部的线段交叉的部位处的切口形状。根据这种物理量检测装置，即使因可动部与质量部之间的热膨胀系数之差，而在可动部上(在第二固定部上)产生了应力，也能够通过切口部来抑制该应力被传递至第一固定部的情况。即，能够抑制该应力向物理量检测元件传递的情况。其结果为，这种物理量检测装置能够具有较高的检测灵敏度。应用例2在本发明所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，即，所述切口部以从所述可动部的一个主面贯穿至另一个主面的方式而被设置。根据这种物理量检测装置，例如与切口部是有底的情况相比，能够抑制应力向物理量检测元件传递的情况。
应用例3在本发明所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，S卩，所述切口部是有底的。根据这种物理量检测装置，与切口部从可动部的一个主面贯穿至另一个主面的情况相比，能够提高可动部的刚性。因此，在向物理量检测装置施加了加速度时，可动部能够在不发生扭曲的条件下，进一步稳定地进行动作。应用例4在本发明所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，S卩，所述切口部被设置于，在俯视观察时不与所述物理量检测元件重叠的位置处。根据这种物理量检测装置，能够通过切口部来抑制物理量检测元件的灵敏度降低的情况。应用例5在本发明所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，S卩，所述切口部包括在与所述可动部的旋转轴方向交叉的方向上延伸的结构，通过所述切口部，从而设置有具有所述第一固定部的第一脚部、和具有所述第二固定部的第二脚部，在所述第二脚部上，于与所述第二固定部相比靠所述连接部侧的位置处，沿着所述旋转轴方向而存在刚性差，所述第二脚部的刚性在所述第一脚部侧较低。根据这种物理量检测装置，由于第二脚部的刚性在第一脚部侧的相反侧较高，因此尤其是在将第二固定部沿着可动部的旋转轴方向(沿着X轴)而设置在第二脚部中的与第一脚部相反的一侧时，能够提高可动部在第二固定部附近的刚性。因此，能够抑制在可动部上产生的扭曲，从而能够抑制加速度的检测灵敏度降低的情况。应用例6在本发明所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，S卩，所述第二脚部在与所述第二固定部相比靠所述连接部侧的位置处，包含开口部。根据这种物理量检测装置，即使因可动部与质量部之间的热膨胀系数之差，而在可动部上(在第二固定部上)产生了应力，也能够通过开口部来更进一步抑制该应力被传递至第一固定部的情况。即，能够更进一步抑制该应力向物理量检测元件传递的情况。应用例7在本发明所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，S卩，所述第二脚部具有:第一梁部，其被设置在所述开口部与所述切口部之间；第二梁部，其被设置在所述开口部、与所述可动部中的沿着与所述旋转轴方向交叉的方向的侧面之间，所述第一梁部的刚性低于所述第二梁部的刚性。根据这种物理量检测装置，能够抑制在可动部上产生的扭曲，从而能够抑制加速度的检测灵敏度降低的情况。应用例8本发明所涉及的物理量检测装置包括:基部；可动部，其经由连接部而被设置在所述基部上，并根据物理量的变化而发生位移；物理量检测元件，其以跨接所述基部与所述可动部的方式而被固定；质量部，其被固定在所述可动部上，所述可动部包括:第一固定部，其上固定有所述物理量检测元件；第二固定部，其上固定有所述质量部；孔部，其与所述连接部分离，且与连结所述第一固定部和所述第二固定部的线段交叉。根据这种物理量检测装置，即使因可动部与质量部之间的热膨胀系数之差，而在可动部上(在第二固定部上)产生了应力，也能够通过孔部来抑制该应力被传递至第一固定部的情况。即，能够抑制该应力向物理量检测元件传递的情况。其结果为，这种物理量检测装置能够具有较高的检测灵敏度。应用例9在本发明所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，S卩，所述孔部以从所述可动部的一个主面贯穿至另一个主面的方式而设置。根据这种物理量检测装置，与例如孔部是有底的情况相比，能够抑制应力向物理量检测元件传递的情况。应用例10在本发明所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，即，所述孔部是有底的。根据这种物理量检测装置，与孔部从可动部的一个主面贯穿至另一个主面的情况相比，能够提高可动部的刚性。因此，在向物理量检测装置施加了加速度时，可动部能够在不发生扭曲的条件下，进一步稳定地进行动作。应用例11在本发明所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，S卩，所述孔部被设置于，在俯视观察时不与所述物理量检测元件重叠的位置处。根据这种物理量检测装置，能够通过孔部来抑制物理量检测元件的灵敏度降低的情况。应用例12在本发明所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，S卩，所述可动部具有多个开口部，所述第二固定部被所述孔部及多个所述开口部所包围，所述可动部具有通过所述孔部及多个所述开口部而被规定了形状的支承部，所述第二固定部被所述支承部所支承。根据这种物理量检测装置，即使因可动部与质量部之间的热膨胀系数之差，而在可动部上(在第二固定部上)产生了应力，也能够通过多个开口部来更进一步抑制该应力被传递至第一固定部的情况。应用例13本发明所涉及的物理量检测器包括:本发明所涉及的物理量检测装置；封装件，其对所述物理量检测装置进行收纳。由于这种物理量检测器包括本发明所涉及的物理量检测装置，因此能够具有较高的检测灵敏度。应用例14本发明所涉及的电子设备包括本发明所涉及的物理量检测装置。由于这种电子设备包括本发明所涉及的物理量检测装置，因此能够具有较高的检测灵敏度。
图1为概要地表示第一实施方式所涉及的物理量检测装置的立体图。图2为概要地表示第一实施方式所涉及的物理量检测装置的俯视图。图3为概要地表示第一实施方式所涉及的物理量检测装置的剖视图。图4为概要地表示第一实施方式所涉及的物理量检测装置的剖视图。图5为用于说明第一实施方式所涉及的物理量检测装置的动作的剖视图。图6为用于说明第一实施方式所涉及的物理量检测装置的动作的剖视图。图7为概要地表示第一实施方式的第一改变例所涉及的物理量检测装置的剖视图。图8为概要地表示第一实施方式的第二改变例所涉及的物理量检测装置的俯视图。图9为概要地表示第一实施方式的第三改变例所涉及的物理量检测装置的俯视图。图10为概要地表示第二实施方式所涉及的物理量检测装置的立体图。图11为概要地表示第二实施方式所涉及的物理量检测装置的俯视图。图12为概要地表示第二实施方式所涉及的物理量检测装置的剖视图。图13为概要地表示第二实施方式的第一改变例所涉及的物理量检测装置的剖视图。图14为概要地表示第二实施方式的第二改变例所涉及的物理量检测装置的俯视图。图15为概要地表示第二实施方式的第三改变例所涉及的物理量检测装置的俯视图。图16为概要地表示第三实施方式所涉及的物理量检测器的俯视图。图17为概要地表示第三实施方式所涉及的物理量检测器的剖视图。图18为概要地表示第四实施方式所涉及的电子设备的立体图。
具体实施例方式下面，在参照附图对本发明的优选的实施方式进行说明。1.第一实施方式1.1.物理量检测装置首先，参照附图对第一实施方式所涉及的物理量检测装置进行说明。图1为概要地表示第一实施方式所涉及的物理量检测装置100的立体图。图2为概要地表示第一实施方式所涉及的物理量检测装置100的俯视图。图3为概要地表示第一实施方式所涉及的物理量检测装置100的、沿着图2中的II1-1II线的剖视图。图4为概要地表示第一实施方式所涉及的物理量检测装置100的、沿着图2中的IV-1V线的剖视图。另外，为了便于说明，在图1 图4及后述的图5 图15中，作为相互正交的三个轴，图示了 X轴、Y轴、Z轴。如图1 图4所示，物理量检测装置100包括基部10、连接部12、可动部13、物理量检测元件40、和质量部50、52。另外，物理量检测装置100可以具有框部30和质量部54、56。
另外，为了便于说明，在图2及后述的图8、图9中，以透视的方式对质量部50、52、54、56进行了图示。此外,在图4中,仅对可动部13进行了图示。基部10经由连接部12而对可动部13进行支承。基部10例如为板状且具有相互朝向相反方向(对置)的主面10a、10b。连接部12被设置在基部10与可动部13之间，且与基部10及可动部13相连接。连接部12的厚度小于基部10的厚度及可动部13的厚度。例如，可以从水晶基板的两个主面侧起，通过半蚀刻而形成槽部12a、12b (参照图3)，从而形成连接部12。在图示的示例中，槽部12a、12b沿着X轴而被形成。连接部12能够成为，在可动部13相对于基部10而发生位移(旋转)时，作为支点(中间铰链)的、沿着X轴的可动部13的旋转轴。可动部13经由连接部12而被连接在基部10上。S卩，可动部13经由连接部12而被设置在基部10上。在图示的示例中，可动部13从基部10起经由连接部12而沿着Y轴(第一轴)延伸。可动部13为板状，且具有相互朝向相反方向(对置)的主面13a、13b。另外，可动部13可以具有被连接在主面13a、13b上的侧面13c、13d、13e。如图2所示，在俯视观察时，侧面13c、13d为沿着Y轴的面，侧面13e为沿着X轴且与侧面13c、13d相连接的面。可以说侧面13e为连接部12的相反侧的侧面。可动部13能够根据施加在与主面13a (13b)交叉的方向(Z轴方向)上的物理量(加速度)的变化，而以连接部12为支点(旋转轴)在与主面13a交叉的方向(Z轴方向)上发生位移(旋转)。可动部13具有第一固定部14和第二固定部16a、16b。第一固定部14为，固定有物理量检测元件40 (基座部42b)的部分。第一固定部14还可以为配置有接合部件60的部分，所述接合部件60用于将物理量检测元件40固定在可动部13上。虽然第一固定部14的平面形状并不被特别限定，但是在图2所示的示例中为矩形。第二固定部16a、16b为，固定有质量部50、52的部分。更具体而言，第二固定部16a为，固定有质量部50的部分，且第二固定部16b为，固定有质量部52的部分。第二固定部16a、16b还可以为配置有接合部件62的部分，所述接合部件62用于将质量部50、52固定在可动部13上。虽然第二固定部16a、16b的平面形状并不被特别限定，但是在图2所示的示例中为圆形。可动部13具有切口部20a、20b。在图示的示例中，切口部20a、20b从可动部13的侧面13e朝向连接部12侧，沿着Y轴(沿着与可动部13的旋转轴方向交叉的方向)而被设置。切口部20a、20b与连接部12分离，并且如图2所示，被设置于，在俯视观察时不与物理量检测元件40重叠的位置处。如图4所示，切口部20a、20b以从可动部13的一个主面13a贯穿至另一个主面13b的方式而设置。如图2所示，切口部20a以与线段LI (假想的线段LI)交叉的方式而设置，所述线段LI为，连结第一固定部14与第二固定部16a的线段。即，切口部20a为，从可动部13的侧面13e起到达至与线段LI交叉的部位处的切口形状。更具体而言，线段LI为，连结第一固定部14的中心01和第二固定部16a的中心02的线段。切口部20b以与线段L2 (假想的线段L2)交叉的方式而设置，所述线段L2为，连结第一固定部14与第二固定部16b的线段。S卩，切口部20b为，从可动部13的侧面13e起到达至与线段L2交叉的部位处的切口形状。更具体而言，线段L2为，连结固定部14的中心Ol和第二固定部16b的中心03的线段。通过切口部20a、20b，从而在可动部13上设置有:具有第一固定部14的第一脚部
15、和具有第二固定部16a、16b的第二脚部17a、17b。更具体而言，第二脚部17a具有第二固定部16a，第二脚部17b具有第二固定部16b。在图示的例中，第一脚部15被设置在切口部20a、20b之间。第二脚部17a被设置在切口部20a与间隙32a (可动部13与框部30的延伸部31a之间的间隙)之间。第二脚部17b被设置在切口部20b与间隙32b (可动部13与框部30的延伸部31b之间的间隙)之间。另外，虽然没有图示，但是只要切口部20a、20b以不与物理量检测元件40重叠的方式而与线段L1、L2交叉设置，则也可以使切口部20a从可动部13的侧面13c起沿着X轴而设置，且使切口部20b从可动部13的侧面13d起沿着X轴而设置。框部30隔着间隙而沿着可动部13被设置，且被连接在基部10上。可动部13通过框部30及基部10而被包围。在图示的示例中，框部30具有:与可动部13隔着间隙32a而沿着Y轴被设置的延伸部31a、与可动部13隔着间隙32b而沿着Y轴被设置的延伸部31b、和与可动部13隔着间隙32c而沿着X轴被设置的延伸部31c。延伸部31a隔着间隙32a而与第二脚部17a对置配置，且延伸部31b隔着间隙32b而与第二脚部17b对置配置。延伸部31c与延伸部31a及延伸部31b相连接。框部30可以具有封装件固定部34，所述封装件固定部34在将物理量检测装置100安装在封装件等的外部部件上时，被固定在封装件上。封装件固定部34还可以为配置有接合部件的部分，所述接合部件用于将物理量检测装置100接合在封装件上。在图2所示的示例中，封装件固定部34设置有两个，且被配置在框部30的弯曲部(角部)上。封装件固定部34被设置于，在俯视观察时不与质量部50、52、54、56重叠的位置上。虽然没有图示，但封装件固定部34只要是在俯视观察时不与质量部50、52、54、56重叠的位置处，则可以设置有两个以上。基部10、连接部12、可动部13以及框部30，例如通过利用光刻技术及蚀刻技术而对水晶基板进行图案形成，从而被一体地形成，其中，所述水晶基板是以预定的角度从水晶的原石等中切割出的。另外，基部10、连接部12、可动部13以及框部30的材质并不限定于水晶，也可以为玻璃、或硅等的半导体材料。物理检测元件40以跨接基部10与可动部13的方式而被固定。物理量检测元件40至少可以具有作为检测部的振动梁部41a、41b、和基座部42a、42b。检测部只需为处于基座部42a与基座部42b之间，且通过产生于基座部42a与基座部42b之间的力被传递，从而检测部所产生的物理量检测信息发生变化的结构即可，在本实施方式中，例如，振动梁部41a、41b沿着可动部13的延伸方向(沿着Y轴)，而从基座部42a延伸至基座部42b。振动梁部41a、41b的形状例如为棱柱状。当向被设置于振动梁部41a、41b上的激励电极(未图不)施加驱动信号(交流电压)时，振动梁部41a、41b将能够以沿着X轴相互远离或接近的方式而进行弯曲振动。基座部42a、42b被连接在振动梁部41a、41b的两端处。在图示的示例中，基座部42a经由接合部件60而被固定在基部10的主面IOa上，基座部42b经由接合部件60而被固定在可动部13的主面13a (与基部10的主面IOa同侧的主面)上。更具体而言,用于对基座部42b进行固定的接合部件60被设置在可动部13的第一固定部14上。作为接合部件60，例如使用低熔点玻璃、能够进行共晶接合的Au/Sn合金薄膜。另外，在振动梁部41a、41b与基部10以及可动部13之间，设置有预定的间隙，从而在可动部13位移时，振动梁部41a、41b与基部10以及可动部13不会发生接触。该间隙例如可以通过接合部件60的厚度而被管理。此外，虽然没有图示，但是可以在可动部13的主面13a上，且在俯视观察时的接合部件60与振动梁部41a、41b之间的位置处，形成有凹部，所述凹部通过对可动部13进行半蚀刻而形成。例如，在接合部件60从预定的位置溢出时，能够通过该凹部来承接接合部件60，从而能够抑制接合部件60粘着在振动梁部41a、41b上的情况。如上文所述，物理量检测元件40具有两根振动梁部41a、41b、和一对基座部42a、42b。因此，能够将物理量检测元件40称为双音叉元件(双音叉型振动元件)。物理量检测元件40例如通过用光刻技术及蚀刻技术来对水晶基板进行图案形成，从而被形成，其中，所述水晶基板是以预定的角度从水晶的原石等中切割出的。由此，能够一体地形成振动梁部41a、41b及基座部42a、42b。另外，物理量检测元件40的材质并不限于水晶，还可以为钽酸锂(LiTa03)、四硼酸锂(Li2B407)、铌酸锂(LiNb03)、锆钛酸铅(PZT)、氧化锌(ZnO)、氮化铝(AlN)等的压电材料，或者具备氧化锌(ZnO)、氮化铝(AlN)等的压电体以作为被膜的硅等的半导体材料。但是，当考虑到缩小与基部10、可动部13之间的线膨胀系数之差时，物理量检测元件40优选设定为与基部10、可动部13的材质相同的材质。在物理量检测元件40的基座部42a上，例如设置有引出电极44a、44b。引出电极44a,44b与被设置在振动梁部41a、41b上的激励电极(未图示)电连接。引出电极44a、44b例如通过Au、Al等的金属线48，而与被设置在基部10的主面IOa上的连接端子46a、46b电连接。更具体而言，引出电极44a与连接端子46a电连接，弓丨出电极44b与连接端子46b电连接。连接端子46a、46b通过未图示的配线而与外部连接端子49a、49b电连接。更具体而言，连接端子46a与外部连接端子49a电连接,连接端子46b与外部连接端子49b电连接。外部连接端子49a、49b例如被设置在，框部30的被安装于封装件等上的一侧的面(基部10的主面IOb侧的面)，且在俯视观察时与封装件固定部34重叠的位置处。作为激励电极、引出电极44a、44b、连接端子46a、46b以及外部连接端子49a、49b,例如使用将Cr层作为基底并在其上层压了 Au层的层压体。激励电极、引出电极44a、44b、连接端子46a、46b以及外部连接端子49a、49b例如通过如下方式而形成，即，用溅射法等来形成导电层(未图示)，并对该导电层进行图案形成。质量部50、52、54、56例如经由接合部件62而被固定在可动部13的主面13a、13b上。更具体而言，质量部50、52被固定在主面13a上，质量部54、56被固定在主面13b上。作为质量部50、52、54、56的材质，可以列举出例如Cu、Au等的金属。通过质量部50、52、54、56，从而能够提高对施加到物理量检测装置100上的加速度的检测灵敏度。用于对质量部50进行固定的接合部件62被设置在可动部13的第二固定部16a上，用于对质量部52进行固定的接合部件62被设置在可动部13的第二固定部16b上。即，质量部50被固定在第二固定部16a上，质量部52被固定在第二固定部16b上。作为接合部件62，例如使用硅树脂类的热固化型粘合剂。从抑制热应力的观点出发，优选为，接合部件62以对可动部13及质量部50、52、54、56的一部分的范围进行粘合的方式而被涂覆。另外，虽然没有图示，但是可以将用于对质量部54进行固定的接合部件62设置于，在俯视观察时与第二固定部16a重叠的位置处，将用于对质量部56进行固定的接合部件62设置于，在俯视观察时与第二固定部16b重叠的位置处。此外，虽然没有图示，但是质量部50、52可以通过一体地被形成，从而构成一个质量部。在这种情况下,设置有一个固定有质量部的第二固定部。同样,质量部54、56可以通过一体地被形成，从而构成一个质量部。此外，也可以不设置主面13b侧的质量部54、56。接下来，对物理量检测装置100的动作进行说明。图5及图6为用于说明物理量检测装置100的动作的剖视图。如图5所示，当向物理量检测装置100施加箭头标记α I方向的(+Z轴方向的)力口速度时，将在可动部13上向-Z轴方向作用有力，从而可动部13将以连接部12为支点而向-Z轴方向发生位移。由此，在物理量检测元件40上，施加有使基座部42a和基座部42b沿着Y轴而相互远离的方向上的力，从而在振动梁部41a、41b上产生牵拉应力。因此，振动梁部41a、41b的振动频率(共振频率)增高。另一方面，如图6所示，当向物理量检测装置100施加箭头标记α 2方向的(-Z轴方向的)加速度时，将在可动部13上向+Z轴方向作用有力，从而可动部13以连接部12为支点而向+Z轴方向发生位移。由此，在物理量检测元件40上，施加有使基部42a和基部42b沿着Y轴而相互靠近的方向上的力，从而在振动梁部41a、41b上产生压缩应力。因此，振动梁部41a、41b的共振频率降低。在物理量检测装置100中，对如上文所述的物理量检测元件40的共振频率的变化进行检测。更具体而言，施加到物理量检测装置100上的加速度通过根据上述所检测出的共振频率的变化的比例，而转换为由查找表等所确定的数值，从而被导出。另外，在将物理量检测装置100用于倾斜仪中时，根据倾斜的姿态的变化，对倾斜仪施加重力加速度的方向将发生变化，从而在振动梁部41a、41b上产生牵拉应力或压缩应力。并且,振动梁部41a、41b的共振频率发生变化。此外，虽然在上述的示例中，对作为物理量检测元件40而使用了所谓的双音叉元件的示例进行了说明，但是只要共振频率根据可动部13的位移而发生变化，则物理量检测元件40的方式不特别地被限定。此外，虽然在上述的示例中，物理量检测元件40被设置在可动部13的主面13a侧，但是物理量检测元件40也可以被设置在主面13a侧及主面13b侧这两个面上。第一实施方式所涉及的物理量检测装置100例如具有以下的特征。根据物理量检测装置100，可动部13具有:与线段LI交叉的切口部20a，所述线段LI为，对固定有物理量检测元件40的第一固定部14、和固定有质量部50的第二固定部16a进行连结的线段。而且，可动部13具有与线段L2交叉的切口部20b，所述线段L2为，对固定有物理量检测元件40的第一固定部14、和固定有质量部52的第二固定部16b进行连结的线段。因此，即使因为可动部13与质量部50、52之间的热膨胀系数之差，而在可动部13上(第二固定部16a、16b)上产生应力，也能够通过切口部20a、20b而抑制该应力被传递到第一固定部14的情况。即，能够抑制该应力向物理量检测元件40传递的情况。其结果为，物理量检测装置100能够具有较高的检测灵敏度。此外，由于能够抑制因热膨胀系数之差而产生的应力向物理量检测元件40传递的情况，因此物理量检测装置100能够具有良好的温度特性。根据物理量检测装置100，切口部20a、20b以从可动部13的一个主面13a贯穿至另一个主面13b的方式而形成。因此，与例如切口部是有底的情况相比，能够抑制应力(因可动部13与质量部50、52之间的热膨胀系数之差而产生的应力)向物理量检测元件40的情况。根据物理量检测装置100，切口部20a、20b被设置在不与物理量检测元件40重叠的位置上。因此，在物理量检测装置100中，能够通过切口部20a、20b，来抑制物理量检测元件40的灵敏度下降的情况。根据物理量检测装置100，虽然在使用热固化型粘合剂以作为接合部件62时，由于热固化型粘合剂固化而发生收缩，从而有时会在可动部13上(在第二固定部16a、16b上)产生应力，但是通过切口部20a、20b，能够抑制该应力经由第一固定部14而被传递至物理量检测元件40的情况。另外，虽然未图示，但是可以采用如下方式，S卩，封装件固定部34设置有两个以上(例如，四个)，并且物理量检测装置100的重心位于被四个封装件固定部所包围的范围内。由此，物理量检测装置100能够在不向任一方向倾斜(不发生扭曲)的条件下，以稳定的姿态被固定在封装件等的外部部件上。例如，当通过施加加速度而使可动部发生了位移时，如果在物理量检测装置上产生扭曲，则存在加速度的检测灵敏度降低的问题。此外，还存在如下的问题，即，由于扭曲而使物理量检测装置产生损坏，从而导致可靠性降低的问题。在重心位于被多个(例如四个)封装件固定部所包围的范围内的物理量检测装置100中，由于如上文所述能够抑制扭曲，因此能够消除这种问题。1.2.改变例1.2.1.第一改变例接下来，参照附图对第一实施方式的第一改变例所涉及的物理量检测装置进行说明。图7为概要地表示第一实施方式的第一改变例所涉及的物理量检测装置110的剖视图，且与图4相对应。下面，在物理量检测装置110中，对于具有与上述的物理量检测装置100的结构部件相同的功能的部件，标记相同的符号，并且省略其详细的说明。在物理量检测装置100的示例中，如图4所示，切口部20a、20b以从可动部13的一个主面13a贯穿至另一个主面13b的方式而形成。与此相对，在物理量检测装置110中，如图7所示，切口部20a、20b未从可动部13的一个主面13a贯穿至另一个主面13b，而是有底的切口部。S卩，切口部20a、20b可以具有底部。在图示的示例中，切口部20a、20b被形成在主面13a侧，在与主面13a相反的一侧的主面13b上，形成有有底的切口部21a、21b。切口部21a、21b可以为与切口部20a、20b相同的形状，且被设置于，在俯视观察时与切口部20a、20b重叠的位置处。另外，虽然没有图示，但是可以不设置主面13b侧的切口部 21a、21b。根据物理量检测装置110，由于切口部20a、20b有底，因此与物理量检测装置100相比，能够提高可动部13的刚性。因此，在向物理量检测装置110施加了加速度时，可动部13能够在不发生扭曲的条件下，而更加稳定地进行动作。1.2.2.第二改变例接下来，参照附图对第一实施方式的第二改变例所涉及的物理量检测装置进行说明。图8为概要地表示第一实施方式的第二改变例所涉及的物理量检测装置120的俯视图。下面，在物理量检测装置120中，对于具有与上述的物理量检测装置100的结构部件相同的功能的部件，标记相同的符号，并且省略其详细的说明。在物理量检测装置100的示例中，如图2所示，切口部20a、20b为，从可动部13的侧面13e起沿着Y轴而向连接部12侧延伸的形状。与此相对，在物理量检测装置120中，如图8所示，切口部20a为如下的形状，SP，具有从侧面13e起沿着Y轴而向连接部12侧延伸的部分、和从该部分起沿着X轴而向侧面13c侧延伸的部分。切口部20b为如下的形状，S卩，具有从侧面13e起沿着Y轴而向连接部12侧延伸的部分、和从该部分起沿着X轴而向侧面13d侧延伸的部分。即，切口部20a、20b具有大致L字状的平面形状。根据物理量检测装置120，与物理量检测装置100相同，能够通过切口部20a、20b来抑制应力向物理量检测元件40传递的情况。另外，只要切口部20a、20b以不与物理量检测元件40重叠的方式而与线段L1、L2交叉设置，且与连接部12分离，则其形状并不被特别地限定。1.2.3.第三改变例接下来，参照附图对第一实施方式的第三改变例所涉及的物理量检测装置进行说明。图9为概要地表示第一实施方式的第三改变例所涉及的物理量检测装置130的俯视图。下面，在物理量检测装置130中，对于具有与上述的物理量检测装置100的结构部件相同的功能的部件，标记相同的符号，并且省略其详细的说明。在物理量检测装置130中，如图9所示，可动部13具有开口部24a、24b。在这一点上，物理量检测装置130与图2所示的物理量检测装置100不同。开口部24a的至少一部分被设置在可动部13的第二脚部17a内。在图示的示例中，开口部24a完全被设置在第二脚部17a内。开口部24a以与第二固定部16a分离的方式而设置，并且被形成在，与第二固定部16a相比，靠连接部12侧且第一脚部15侧(切口部20a侧)的位置处。第二脚部17a可以具有被设置在开口部24a与切口部20a之间的第一梁部18a、和被设置在开口部24a与间隙32a之间的第二梁部19a。也可以说，第二梁部19a被设置在，开口部24a与可动部13的侧面13c(可动部13的在俯视观察时沿着Y轴的侧面(可动部13的沿着与旋转轴方向交叉的方向的侧面))之间。梁部18a、19a沿着Y轴而被设置，并且第二梁部19a的Y轴方向上的长度A2短于第一梁部18a的Y轴方向上的长度Al。梁部18a、19a例如为第二脚部17a的连接根部的部分，且具有固定的宽度的部分(X轴方向上的长度固定的部分)。在图示的示例中，第二固定部16a被设置在，切口部20a侧和间隙32a侧中的靠间隙32a侧。S卩，第二固定部16a沿着X轴而被设置在,第一梁部18a和第二梁部19a中的靠第二梁部19a侧。因为第二梁部19a的Y轴方向上的长度A2短于第一梁部18a的Y轴方向上的长度Al，所以第二梁部19a的刚性高于第一梁部18a的刚性。S卩，第一梁部18a的刚性低于第二梁部19a的刚性，从而在第二脚部17a上，于与第二固定部16a相比靠连接部12侧的位置处，沿着X轴(沿着可动部13的旋转轴方向)而存在刚性差。开口部24b的至少一部分被设置在可动部13的第二脚部17b内。在图示的示例中，开口部24b完全被设置在第二脚部17b内。开口部24b以与第二固定部16b分离的方式而设置，且被形成在，与第二固定部16b相比靠连接部12侧且第一脚部15侧(切口部20b侦D的位置处。 第二脚部17b可以具有被设置在开口部24b与切口部20b之间的第一梁部18b、和被设置在开口部24b与间隙32b之间的第二梁部19b。也可以说，第二梁部19b被设置在，开口部24b与可动部13的侧面13d (可动部13的在俯视观察时沿着Y轴的侧面)之间。第一梁部18b、第二梁部19b沿着Y轴而设置，且第二梁部19b的Y轴方向上的长度B2短于第一梁部18b的Y轴方向上的长度BI。第一梁部18b、第二梁部19b例如为第二脚部17b的连接根部的部分，且具有固定的宽度的部分(X轴方向上的长度固定的部分)。在图示的示例中，第二固定部16b被设置在，切口部20b侧与间隙32b侧中的靠间隙32b侧。S卩，第二固定部16b沿着X轴而被设置在，第一梁部18b和第二梁部19b中的靠第二梁部191^则。因为第二梁部19b的Y轴方向上的长度B2短于第一梁部18b的Y轴方向上的长度BI，所以第二梁部19b的刚性高于第一梁部18b的刚性。S卩，第一梁部18b的刚性低于第二梁部19b的刚性，从而在第二脚部17b上，于与第二固定部16b相比靠连接部12侧的位置处，沿着X轴而存在刚性差。根据物理量检测装置130，即使因可动部13与质量部50、52之间的热膨胀系数的差，而在可动部13上(在第二固定部16a、16b上)产生了应力，也能够通过开口部24a、24b而更进一步抑制该应力被传递至物理量检测元件40的情况。根据物理量检测装置130，开口部24a与间隙32a之间的第二梁部19a，与开口部24a和切口部20a之间的第一梁部18a相比，在Y轴方向上的长度较短。同样，开口部24b与间隙32b之间的第二梁部19b，与开口部24b和切口部20b之间的第一梁部18b相比，在Y轴方向上的长度较短。因此，第二梁部19a的刚性高于第一梁部18a的刚性，且第二梁部19b的刚性高于第一梁部18b的刚性。因此，尤其在将固定有质量部50的第二固定部16a形成在切口部20a侧与间隙32a侧中的靠间隙32a侧，且将固定有质量部52的第二固定部16b形成在切口部20b侧与间隙32b侧中的靠间隙32b侧的情况下，在物理量检测装置130中，能够提高可动部13在第二固定部16a、16b附近的刚性。由此，能够抑制在可动部13上产生的扭曲，从而能够抑制加速度的检测灵敏度降低的情况。即，为了在检测加速度时、检测倾斜角时等的时候，更加有效地抑制扭曲，优选为，例如图9所示那样，使第二固定部16a、16b沿着可动部13的旋转轴(沿着X轴)而分别靠近第一梁部18a、18b和第二梁部19a、19b 中的第二梁部 19a、19b。
在此，通常情况下，固定有质量部的固定部附近的可动部在通过施加有加速度而使可动部发生了位移时，容易由于质量部而产生扭曲。当可动部上产生扭曲时,有时会产生加速度的检测灵敏度降低的问题。
但是，在物理量检测装置130中，如上文所述，由于第二梁部19a、19b与第一梁部18a、18b相比，在Y轴方向上的长度较短，因此与例如第二梁部较之于第一梁部，在Y轴方向上的长度较长的情况相比，能够提高第二梁部19a、19b的刚性。因此，例如图9所示那样，在使第二固定部16a、16b沿着X轴而分别靠近第一梁部18a、18b和第二梁部19a、19b中的第二梁部19a、19b的情况下，能够提高可动部13在第二固定部16a、16b附近的刚性。其结果为，能够抑制在可动部13上产生扭曲的情况。此外，例如图9所示那样，在使第二固定部16a、16b沿着X轴而分别靠近第一梁部18a、18b和第二梁部19a、19b中的第二梁部19a、19b的情况下，由于能够以将第二固定部16a、16b的固定面积扩大与如下部分相对应的面积的方式而构成，所述部分为，使第二梁部19a、19b的Y轴方向上的长度与第一梁部18a、18b的Y轴方向上的长度相比缩短的部分，因此能够牢固地保持质量部50、52。另外，开口部24a、24b可以以从可动部13的一个主面13a贯穿至另一个主面13b的方式而设置。由此，能够更加可靠地抑制应力向物理量检测元件40传递的情况。此外，开口部24a、24b也可以不从主面13a贯穿至另一个主面13b，而是有底的开口部。由此，能够进一步提闻可动部13的刚性。此外，开口部24a、24b既可以以与线段L1、L2分离的方式而设置，也可以以与线段L1、L2交叉的方式而设置。2.第二实施方式2.1.物理量检测装置接下来，参照附图对第二实施方式所涉及的物理量检测装置进行说明。图10为概要地表示第二实施方式所涉及的物理量检测装置200的立体图。图11为概要地表示第二实施方式所涉及的物理量检测装置200的俯视图。图12为概要地表示第二实施方式所涉及的物理量检测装置200的、沿着图11中的XI1-XII线的剖视图。另外，为了方便说明，在图11及后述的图14中，以透视的方式对质量部50、52、54、56进行了图示。此外，在图12中，仅对可动部13进行了图示。下面，在物理量检测装置200中，对于具有与上述的物理量检测装置100的结构部件相同的功能的部件，标记相同的符号，并且省略其详细的说明。在物理量检测装置100的示例中，如图2所示那样，可动部13具有与线段L1、L2交叉的切口部20a、20b。与此相对，在物理量检测装置200中，如图10及图11所示那样，可动部13具有与线段L1、L2交叉的孔部222a、222b。更具体而言，孔部222a与线段LI交叉，孔部222b与线段L2交叉。孔部222a、222b与可动部13的侧面13c、13d、13e以及连接部12分离。孔部222a、222b被设置于，在俯视观察时不与物理量检测元件40重叠的位置处。虽然孔部222a、222b的形状并不特别地被限定，但是在图示的示例中为矩形。孔部222a、222b如图12所示那样，以从可动部13的一个主面13a贯穿至另一个主面13b的方式而设置。第二实施方式所涉及的物理量检测装置200例如具有以下的特征。根据物理量检测装置200，即使因可动部13与质量部50、52之间的热膨胀系数之差，而在可动部13上(在第二固定部16a、16b上)产生了应力，也能够通过孔部222a、222b来抑制该应力被传递至第一固定部14的情况。即，与物理量检测装置100相同，能够抑制应力向物理量检测元件40传递的情况。其结果为，物理量检测装置200能够具有较高的检测灵敏度。根据物理量检测装置200，孔部222a、222b以从可动部13的一个主面13a贯穿至另一个主面13b的方式而形成。因此，与例如孔部是有底的情况相比，能够抑制应力(因可动部13与质量部50、52之间的热膨胀系数之差而产生的应力)向物理量检测元件40传递的情况。根据物理量检测装置200，孔部222a、222b被设置在不与物理量检测元件40重叠的位置处。因此，在物理量检测装置200中，能够通过孔部222a、222b来抑制物理量检测元件40的灵敏度降低的情况。2.2.改变例2.2.1.第一改变例接下来，参照附图对第二实施方式的第一改变例所涉及的物理量检测装置进行说明。图13为概要地表示第二实施方式的第一改变例所涉及的物理量检测装置210的剖视图，且与图12相对应。下面，在物理量检测装置210中，对于具有与上述的物理量检测装置200的结构部件相同的功能的部件，标记相同的符号，并且省略其详细的说明。在物理量检测装置200的示例中，如图12所示那样，孔部222a、222b以从可动部13的一个主面13a贯穿至另一个主面13b的方式而形成。与此相对，在物理量检测装置210中，如图13所示那样，孔部222a、222b未从可动部13的一个主面13a贯穿至另一个主面13b，而是具有底部。S卩，孔部222a、222b可以具有底部。在图示的示例中，孔部222a、222b被形成在主面13a侧，在主面13a的相反侧的主面13b上，形成有有底的孔部223a、223b。孔部223a、223b可以为与孔部222a、222b相同形状，且被设置于，在俯视观察时与孔部222a、222b重叠的位置处。另外，虽然未进行图示，但是可以不设置主面13b侧的孔部223a、223b。根据物理量检测装置210，由于孔部223a、223b是有底的，因此与物理量检测装置200相比，能够提高可动部13的刚性。因此，在向物理量检测装置210施加了加速度时，可动部13能够在不发生扭曲的条件下，而更加稳定地进行动作。2.2.2.第二改变例接下来，参照附图对第二实施方式的第二改变例所涉及的物理量检测装置进行说明。图14为概要地表示第二实施方式的第二改变例所涉及的物理量检测装置220的俯视图。下面，在物理量检测装置220中，对于具有与上述的物理量检测装置200的结构部件相同的功能的部件，标记相同的符号，并且省略其详细的说明。在物理量检测装置220中，如图14所示那样，可动部13具有多个开口部224a、224b。在这一点上，物理量检测装置220与图11所示的物理量检测装置200不同。在物理量检测装置220中，第二固定部16a被与线段LI交叉的孔部222a、以及多个开口部224a所包围。可动部13具有通过孔部222a及多个开口部224a而被规定了形状的支承部226a。支承部226a被设置在，相邻的开口部224a之间、以及开口部224a与孔部222a之间。第二固定部16a被支承部226a所支承。在图示的示例中，设置有三个开口部224a，且设置有四个支承部226a。第二固定部16b被与线段L2交叉的孔部222b、以及多个开口部224b所包围。可动部13具有通过孔部222b及多个开口部224b而被规定了形状的支承部226b。支承部226b被设置在，相邻的开口部224b之间、以及开口部224b与孔部222b之间。第二固定部16b被支承部226b所支承。在图示的示例中，设置有三个开口部224b，且设置有四个支承部 226b ο开口部224a、224b与可动部13的侧面13c、13d、13e及连接部12分离，且被形成于，在俯视观察时不与物理量检测元件40重叠的位置处。开口部224a、224b既可以以从可动部13的一个主面13a贯穿至另一个主面13b的方式而设置，也可以不从主面13a贯穿至另一个主面13b，而是有底的开口部。支承部226a、226b为弯曲了的形状。支承部226a、226b可以具有弹性。根据物理量检测装置220，即使因为可动部13与质量部50、52之间的热膨胀系数之差，而在可动部13上(在第二固定部16a、16b上)产生了应力，也因为第二固定部16a、16b被多个开口部224a、224b所包围，所以能够更进一步抑制该应力被传递至第一固定部14的情况。根据物理量检测装置220，第二固定部16a、16b被具有弯曲了的形状的支承部226a、226b所支承。支承部226a、226b可以具有弹性。因此，即使因可动部13与质量部50、52之间的热膨胀系数之差，而在可动部13上(在第二固定部16a、16b上)产生了应力，也能够在该应力被传递至第一固定部14之前，通过支承部226a、226b来缓和该应力。另外，在第二固定部16a、16b可以上形成有凹部，所述凹部通过对可动部13进行半蚀刻而形成。并且，接合部件62可以被配置在该凹部内。由此，能够抑制接合部件62从预定的位置溢出的情况。2.2.3.第三改变例接下来，参照附图对第二实施方式的第三改变例所涉及的物理量检测装置进行说明。图15为概要地表示第二实施方式的第三改变例所涉及的物理量检测装置230的俯视图。下面，在物理量检测装置230中，对于具有与上述的物理量检测装置200的结构部件相同的功能的部件，标记相同的符号，并且省略其详细的说明。在物理量检测装置200的示例中，如图11所示那样，在可动部13的主面13a上固定有两个质量部50、52。与此相对，在物理量检测装置230中，如图15所示那样，在可动部13的主面13a上固定有一个质量部250。另外，为了方便说明，在图15中，以透视的方式对质量部250进行了图示。虽然质量部250的形状没有特别地被限定，但是在图示的示例中，具有从侧面13e侧起避开物理量检测元件40而以两叉形状延伸至连接部12附近的、大致U字状的平面形状。作为质量部250的材质，可以列举出例如Cu、Au等的金属。可动部13具有孔部222。孔部222以与线段L3 (假想的线段L3)交叉的方式而被设置，所述线段L3为，对经由接合部件60而固定有物理量检测元件40的基座部42b的第一固定部14、和经由接合部件62而固定有质量部250的第二固定部16进行连结的线段。更具体而言，线段L3为连结第一固定部14的中心01、和第二固定部16的中心04的线段。孔部222与可动部13的侧面13c、13d、13e以及连接部12分离，且被形成于，在俯视观察时不与物理量检测元件40重叠的位置处。虽然孔部222的平面形状没有特别地被限定，但是在图示的示例中为，从侧面13e侧起避开物理量检测元件40的基座部42b而以两叉形状延伸至振动梁部41a、41b附近的形状。根据物理量检测装置230，与物理量检测装置200相同，能够抑制应力向物理量检测元件40传递的情况。另外，虽然没有进行图示，但是可以在可动部13的主面13b(主面13a的相反侧的主面)上，固定有与质量部250相同的形状的质量部。此外，孔部222既可以以从可动部13的一个主面13a贯穿至另一个主面13b的方式而设置，也可以不从主面13a贯穿至另一个主面13b，而是有底的孔部。3.第三实施方式接下来，参照附图对第三实施方式所涉及的物理量检测器进行说明。图16为概要地表示第三实施方式所涉及的物理量检测器300的俯视图。图17为概要地表示第三实施方式所涉及的物理量检测器300的、沿着图16中的XVI 1-XVII线的剖视图。另外，为了方便说明，在图16中，以透视的方式对质量部50、52、54、56进行了图示。如图16及图17所示，物理量检测器300包括本发明所涉及的物理量检测装置、和封装件310。下面，对作为本发明所涉及的物理量检测装置而使用了物理量检测装置100的示例进行说明。封装件310对物理量检测装置100进行收纳。封装件310可以具有封装件基座320、和盖体330。另外，在图16中，为了方便说明，省略了盖体330的图示。在封装件基座320上形成有凹部321，在凹部321内配置有物理量检测装置100。封装体基座320的平面形状只要是能够将物理量检测装置100配置在凹部321内，则并不特别地被限定。作为封装件基座320，使用例如对陶瓷生片进行成形、层压并烧成而得到的氧化铝质烧结体、水晶、玻璃、硅等的材料。封装件基座320可以具有从封装件基座320的内底面(凹部的内侧的底面)322向盖体330侧突出的高低差部323。高低差部323例如沿着凹部321的内壁而设置。在高低差部323上设置有内部端子340、342。内部端子340、342被设置在，与外部连接端子49a、49b相对置的位置(在俯视观察时重叠的位置)处，所述外部连接端子49a、49b被设置在物理量检测装置100的框部30上。例如，外部连接端子49a与内部端子340电连接，外部连接端子49b与内部端子342电连接。在封装件基座320的外底面(内底面322的相反侧的面)324上，设置有外部端子344、346，所述外部端子344、346在被安装于电子设备等的外部部件上时被使用。外部端子344、346经由未图示的内部配线而与内部端子340、342电连接。例如，外部端子344与内部端子340电连接，外部端子346与内部端子342电连接。内部端子340、342及外部端子344、346由通过电镀等的方法将N1、Au等的被膜层压在W等的金属喷镀层上而得到的金属膜构成。
在封装件基座320上，于凹部321的底部处设置有对封装件310的内部(空腔)进行密封的密封部350。密封部350被配置在贯穿孔325内，所述贯穿孔325被形成在封装件基座320上。贯穿孔325从外底面324贯穿至内底面322。在图示的示例中，贯穿孔325具有外底面324侧的孔径大于内底面322侧的孔径的、带有阶梯的形状。密封部350通过将例如由Au/Ge合金、焊锡等构成的密封材料配置在贯穿孔325内，并且在加热熔融后使其固化而形成。密封部350为对封装件310的内部进行气密密封的结构。框部30的封装件固定部34经由接合部件64而被固定在封装件基座320的高低差部323上。由此，物理量检测装置100被安装在封装件基座320上，并被收纳于封装件310内。通过将封装件固定部34固定在高低差部323上，从而被设置在封装件固定部34上的外部连接端子49a、49b、和被设置在高低差部323上的内部端子340、342经由接合部件64而电连接。作为接合部件64，例如使用混合有金属填料等的导电性物质的硅树脂类的导电性粘合剂。盖体330以覆盖封装件基座320的凹部321的方式而设置。盖体330的形状例如为板状。作为盖体330，例如使用与封装件基座320相同的材料、或科瓦铁镍钴合金、42合金、不锈钢等的金属。盖体330经由例如接缝圈、低熔点玻璃、粘合剂等的接合部件332，而与封装件基座320相接合。通过在将盖体330接合在封装件基座320上之后，封装件310的内部被减压了的状态(真空度较高的状态)下，将密封材料配置在贯穿孔325内，并在加热熔融后使其固化，来形成密封部350，从而能够对封装件310内进行气密密封。封装件310的内部也可以填充有氮气、氦气、氩气等的惰性气体。当在物理量检测器300中，当经由外部端子344、346、内部端子340、342、外部连接端子49a、49b、连接端子46a、46b等，而向物理量检测元件40的激励电极施加驱动信号时，物理量检测元件40的振动梁部41a、41b将以预定的频率进行振动(共振)。并且，物理量检测器300能够将根据所施加的加速度而发生变化的物理量检测元件40的共振频率作为输出信号而输出。根据物理量检测器300，包括物理量检测装置100，所述物理量检测装置100能够抑制应力向物理量检测元件40传递的情况。因此，物理量检测器300能够具有较高的检测灵敏度。另外，虽然没有图示，但是配置有物理量检测装置100的凹部既可以被形成在封装件基座320及盖体330双方上，也可以仅被形成在盖体330上。4.第四实施方式接下来，对第四实施方式所涉及的电子设备进行说明。下面，参照附图对作为第四实施方式所涉及的电子设备的、包括本发明所涉及的物理量检测装置(在下面的示例中为物理量检测装置100)的倾斜仪进行说明。图18为概要地表示第四实施方式所涉及的倾斜仪400的立体图。如图18所示,倾斜仪400包括物理量检测装置100以作为倾斜传感器。倾斜仪400例如被设置在山的斜面、道路的坡面、堤坝的护墙面等的被测量部位处。倾斜仪400通过电缆410而从外部被供给电源，或将电源内置，并通过未图示的驱动电路而向物理量检测装置100发送驱动信号。并且，倾斜仪40通过未图示的检测电路，从而根据对应于被施加到物理量检测装置100上的重力加速度而发生变化的共振频率，来对倾斜仪400的姿态的变化(对倾斜仪400施加重力加速度的方向的变化)进行检测，并将该变化换算成角度，且通过例如无线电等而向基站进行数据转送。由此，倾斜仪400能够有助于异常的早期发现。根据倾斜仪400，包括物理量检测装置100，所述物理量检测装置100能够抑制应力向物理量检测元件40传递的情况。因此，倾斜仪400能够具有较高的检测灵敏度。本发明所涉及的物理量检测装置并不限于上述的倾斜仪，能够作为地震仪、导航装置、姿态控制装置、游戏控制器、移动电话等的加速度传感器、倾斜传感器等而恰当地被使用，并且在任一情况下，均能够提供一种起到在上述实施方式及改变例中所说明的效果的电子设备。上述的实施方式及改变例为一个示例，并不限定于这些方式及改变例。例如，还能够对各个实施方式及各个改变例进行适当组合。本发明包括与在实施方式中所说明的结构实质性相同的结构(例如，功能、方法及结果相同的结构、或者目的及效果相同的结构)。此外，本发明包括对在实施方式中所说明的结构的非本质的部分进行置换后的结构。此外，本发明包括起到了与在实施方式中所说明的结构相同的作用效果的结构、或者能够达成相同的目的的结构。此外，本发明包括在实施方式中所说明的结构中追加了公知技术的结构。符号说明10 基部;10a、10b 主面；12 连接部；12a、12b 槽部；13可动部；13a、13b主面；13c 13e侧面；14第一固定部；15第一脚部；16、16a、16b第二固定部；17a、17b 第二脚部；18a、18b 第一梁部；19a、19b 第二梁部；20a、20b 切 口部；21a、21b 切 口部；24a、24b 开 口部；30框部；31a 31c延伸部；32a 32c间隙；34封装件固定部；40物理量检测元件；41a、41b振动梁部；42a、42b基座部；44a、44b引出电极；46a、46b连接端子；48金属线；49a、49b外部连接端子；50 56质量部；60 64接合部件；100 130物理量检测装置；200 230物理量检测装置；222、222a、222b孔部；223a,223b 孔部 224a、224b 开口部；226a、226b 支承部；250质量部；300物理量检测器；310封装件；320封装件基座；321凹部；322内底面；323高低差部；324外底面；325贯穿孔；330盖体；332接合部件；340,342内部端子；344、346外部端子；350密封部；400倾斜仪；410电缆。
权利要求
1.一种物理量检测装置，包括: 基部; 可动部，其经由连接部而被设置在所述基部上，并根据物理量的变化而发生位移； 物理量检测元件，其以跨接所述基部与所述可动部的方式而被固定； 质量部，其被固定在所述可动部上， 所述可动部包括: 第一固定部，其上固定有所述物理量检测元件； 第二固定部，其上固定有所述质量部； 切口部，其与所述连接部分离，且具有如下的切口形状，即，从所述可动部的侧面起到达至与连结所述第一固定部和所述第二固定部的线段交叉的部位处的切口形状。
2.按权利要求1所述的物理量检测装置，其中， 所述切口部以从所述可动部的一个主面贯穿至另一个主面的方式而被设置。
3.按权利要求1所述的物理量检测装置，其中， 所述切口部是有底的。
4.按权利要求1至权利要求3中任一项所述的物理量检测装置，其中， 所述切口部被设置于，在 俯视观察时不与所述物理量检测元件重叠的位置处。
5.按权利要求1至权利要求3中任一项所述的物理量检测装置，其中， 所述切口部包括在与所述可动部的旋转轴方向交叉的方向上延伸的结构， 通过所述切口部，从而设置有具有所述第一固定部的第一脚部、和具有所述第二固定部的第二脚部， 在所述第二脚部上，于与所述第二固定部相比靠所述连接部侧的位置处，沿着所述旋转轴方向而存在刚性差， 所述第二脚部的刚性在所述第一脚部侧较低。
6.按权利要求5所述的物理量检测装置，其中， 所述第二脚部在与所述第二固定部相比靠所述连接部侧的位置处，包含开口部。
7.按权利要求5所述的物理量检测装置，其中， 所述第二脚部具有: 第一梁部，其被设置在所述开口部与所述切口部之间； 第二梁部，其被设置在所述开口部、与所述可动部中的沿着与所述旋转轴方向交叉的方向的侧面之间， 所述第一梁部的刚性低于所述第二梁部的刚性。
8.一种物理量检测装置，包括: 基部; 可动部，其经由连接部而被设置在所述基部上，并根据物理量的变化而发生位移； 物理量检测元件，其以跨接所述基部与所述可动部的方式而被固定； 质量部，其被固定在所述可动部上， 所述可动部包括: 第一固定部，其上固定有所述物理量检测元件； 第二固定部，其上固定有所述质量部；孔部，其与所述连接部分离，且与连结所述第一固定部和所述第二固定部的线段交叉。
9.按权利要求8所述的物理量检测装置，其中，所述孔部以从所述可动部的一个主面贯穿至另一个主面的方式而被设置。
10.按权利要求8所述的物理量检测装置，其中，所述孔部是有底的。
11.按权利要求8至权利要求10中任一项所述的物理量检测装置，其中，所述孔部被设置于，在俯视观察时不与所述物理量检测元件重叠的位置处。
12.按权利要求8至权利要求10中任一项所述的物理量检测装置，其中，所述可动部具有多个开口部， 所述第二固定部被所述孔部及多个所述开口部所包围，所述可动部具有通过所述孔部及多个所述开口部而被规定了形状的支承部，所述第二固定部被所述支承部所支承。
13.一种物理量检测器,包括:权利要求1至权利要求3、权利要求8至权利要求10中任一项所述的物理量检测装置；封装件，其对所述物理量检测装置进行收纳。
14.一种电子设备,包括:权利要求1至权利要求3、权利要求8至权利要求10中任一项所述的物理量检测装置。
全文摘要
本发明提供一种物理量检测装置、物理量检测器及电子设备，其能够抑制应力向物理量检测元件传递的情况。物理量检测装置(100)包括基部(10)；可动部(13)，其经由连接部(12)而被设置在基部(10)上，并根据物理量的变化而发生位移；物理量检测元件(40)，其以跨接基部(10)与可动部(13)的方式而被固定；质量部(50、52)，其被固定在可动部(13)上，可动部(13)包括第一固定部(14)，其上固定有物理量检测元件(40)；第二固定部(16a、16b)，其上固定有质量部(50、52)；切口部(20a、20b)，其与连接部(12)分离，且具有从可动部(13)的侧面(13e)起到达至与连结第一固定部(14)和第二固定部(16a、16b)的线段(L1、L2)交叉的部位处的切口形状。
文档编号G01P15/00GK103091509SQ201210440050
公开日2013年5月8日 申请日期2012年11月6日 优先权日2011年11月7日
发明者渡边润 申请人:精工爱普生株式会社