专利名称：一种半导体直流参数测量模块组快速校准装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体直流参数测量模块组快速校准装置，保证半导体直流参数测量模块测量值准确，属于半导体测试技术领域。
背景技术：
IS09001质量管理体系和测量管理IS0/IEC17025 (检测和校准实验室通用要求) 都对测量设备的校准提出了要求认为通过正确的校准使得测量可以溯源到国际单位制或公认的国际标准是测量结果可信性的基础。半导体直流参数测量模块用来检测半导体产品参数，并评定半导体产品性能和质量，半导体直流参数测量模块测量的准确性、可靠性直接影响半导体产品的质量，而校准是保证半导体直流参数测量模块正确性及有效性的重要手段，半导体直流参数测量模块精度高、结构复杂，传统的校准方法繁琐，时间长；专业校准板价格昂贵，如果每年都要做一次校准，费用较高，因此设计开发半导体直流参数测量模块快速校准装置，可以实现快速校准，节省成本。发明内容
本发明的目的就是解决半导体直流参数测量模块组的快速校准，节省校准成本， 提高效率。
本发明所采用的技术方案是基于半导体直流参数通道参数测量单元模块、电源测量模块；
本发明的半导体直流参数测量模块快速校准装置组装在带有多个插槽的装置上， 模块组上方安装有测量板，测量板的触点与模块组的弹簧针对接，测量板将模块组的所有通道引出，通过多选一的多路开关、高速继电器与外部测量设备数字多用表的“ + ”端连接， 测量板的地与数字多用表的端连接，同时连接校准用的标准可调电阻器；
快速校准装置测试板上有4个定位孔；
快速校准装置测试板背面有触点；
快速校准装置测试板将半导体直流参数测量模块的通用电源引出给多路开关、继电器供电；
快速校准装置由软件控制，自动进行测量，数据保存、判定、给出结果报告；
本发明的通道参数测量单元模块组快速校准装置测量特征是设置半导体直流参数模块组所有通道，通道电压分别设置不同的测量点，同时使用外接数字多用表进行电压测量；
通道参数测量单元模块测量特征是电流测量准确度测量共5个量程2mA档、 200 μ A档、20 μ A档、2 μ A档、200ηΑ档；设置电流准确度测量，与模块设置电流比较；
通道参数测量单元模块组快速校准装置测量特征是电压测量准确度测量采用加流测压方式，与模块测量电压值进行比较；
本发明的电源模块快速校准装置测量特征是电压设置准确度测量将被检模块的器件电源通道与标准电阻器和数字多用表连接，数字多用表测量电压与电源测量模块设置电压比较。
本发明所提供的半导体直流参数测量模块快速校准装置可以实现自动化校准从而节省校准时间、提高效率。
名词解释
Slot :插槽，每一个插槽有一个模块，slotO slot3表不模块O至模块3,每个参数测量模块具有通道128个。
下面结合附图和具体实施方案做进一步说明
图1为半导体直流参数测量模块组快速校准装置示例图2测量板背面接触点
图3测量板线路原理3测量板线路原理图
图4为半导体直流参数测量模块组快速校准装置具体实施步骤示意图具体实施方式
下面通过实例详细说明本发明的装置和应用步骤
本发明的通道参数测量单元模块测量本发明采用如图1所示的硬件平台执行快速校准任务，在图1中，半导体直流参数测量模块组装在带有多个插槽的装置上，模块组上方安装有测量板，模块组上方安装有测量板，测量板的触点与模块组的弹簧针对接，见图2 所示；测量板将模块组的所有通道引出，通过多选一的多路开关、高速继电器与外部测量设备数字多用表的“ + ”端连接，测量板的地与数字多用表的端连接，同时连接校准用的标准可调电阻器；见图3所示；
快速校准装置测试板上有4个定位孔，见图3 ；
快速校准装置测试板将半导体直流参数测量模块的通用电源引出给多路开关、继电器供电；
图4是半导体直流参数测量模块组快速校准装置具体实施步骤示意图，在方框(I)-启动半导体直流参数测量模块自检程序；在方框(2)-自检通过，执行下一步，不通过否则终止；在方框(3)-由外部测量设备连接测量板的有关测量点，开始校准工作，执行通道特性参数测量；在方框(4)-保存测量值；在方框(5)-判定测量值；
首先进行该通道直流参数测量驱动高电平、低电平或电流测量
其次执行通道参数测量单元模块自动测量；该测量包括以下几个方面
电压设置准确度测量设置所有通道电压分别为不同的测量点，外接数字万用表测量电压；
电流测量准确度测量设置5个量程2mA档、200 μ A档、20 μ A档、2 μ A档、200ηΑ档；分别通过数字万用表进行测量；
设置电流准确度测量与半导体直流参数测量模块设置的电流值进行比较；
电压测量准确度测量采用加流测压方式，与半导体直流参数测量模块的测量电压值进行比较；
第三执行电源模块测量与通道参数测量单元模块自动测量相同；
在方框(6)-判断是否完成测量；在方框(7)-按传统的格式生成数据报告；
显然本发明的具体实现形式并不局限于此，对于本技术领域的一般技术人员来 说，在不背离本发明的权利要求范围的情况下对它进行的各种显而易见的改变都在本发明 的保护范围。
权利要求
1.半导体直流参数测量模块组快速校准装置，其特征在于包括如下 半导体直流参数通道参数测量单元模块、电源测量模块； 半导体直流参数通道参数测量单元模块、电源测量模块组装在带有多个插槽的装置上，模块组上方安装有测量板，测量板的触点与模块组的弹簧针对接，测量板将模块组的所有通道引出，通过多选一的多路开关、高速继电器与外部测量设备数字多用表的“+”端连接，测量板的地与数字多用表的端连接，同时连接校准用的标准可调电阻器； 快速校准装置测试板上有4个定位孔，背面有触点。
2.根据权利要求1所述的半导体直流参数测量模块组快速校准装置其特征在于测试板将半导体直流参数测量模块的通用电源引出给多路开关、继电器供电。
3.根据权利要求2所述的半导体直流参数测量模块组快速校准装置其特征在于快速校准装置由软件控制，自动进行测量，数据保存、判定、给出结果报告。
全文摘要
本发明公开了一种半导体直流参数测量模块组快速校准装置，基于半导体直流参数通道参数测量单元模块模块、电源模块；测量板的触点与模块组的弹簧针对接，通过多选一的多路开关、高速继电器与外部测量设备数字多用表，标准可调电阻器连接，由软件控制，自动进行测量、数据保存、判定、给出结果报告；本发明节省校准时间、提高效率。
文档编号G01R19/25GK102998646SQ20121052978
公开日2013年3月27日 申请日期2012年12月11日 优先权日2012年12月11日
发明者石志刚, 孙昕, 金兰, 吉国凡 申请人:北京确安科技股份有限公司