专利名称：一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于磁控溅射镀膜技术领域，特别是涉及一种磁钢检测装置。
背景技术：
真空镀膜包括光学镀膜与磁控溅射镀膜两种，其中磁控溅射镀膜是指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。其在光学薄膜、微电子、材料表面处理等工业化生产或科学研究领域中被广泛应用，尤其应用在大面积平板玻璃表面镀制金属单层质膜、合金膜或金属化合物膜工艺中，其中镀成的薄膜厚度的均匀性是成膜质量检测的一项重要指标，而对薄膜厚度起决定作用的是磁场的分布，由于镀膜设备在工作时会存在一定的机械震动，长时间的机械震动会使磁钢内的小磁铁位置发生位移，从而影响磁场分布，所以就需要定期的对磁钢进行检测。目前的检测方法为:首先将磁钢从靶管中取出，然后用绳子将磁钢的两头吊起，再用磁力仪在磁钢的下面进行一字型测量，这样的测量方式存在以下弊端:I由于磁钢是被人为的用绳子吊起，所以会左右晃动，从而造成测量不准确；2由于磁力仪也是人为手持进行测量，所以测量数据也会有偏差；3测量仪的探头和磁钢的距离由于人为的因素也不能完全保持一致；4由于磁钢的本身没有刻度，所以不能准确找出磁力不合格的位置；5检测需要多人合作才能完成，影响检测效率。
发明内容本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题而提供一种测量准确，效率高的磁控溅射镀膜用磁钢检测装置。本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是:一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置，其特征在于:包括无磁型材框架、磁钢托架A、磁钢托架B、仪器测量台、磁场测试器，所述磁钢托架A、磁钢托架B分别固定在无磁型材框架的两侧，其上配装有磁钢，所述仪器测量台包括有滑块、连接板，在无磁型材框架的一侧设置有滑道，其内配置有所述滑块，在滑道的一侧或两侧设置有刻度B，所述连接板上设置有一水平部和一垂直部，连接板上的水平部固定在所述滑块的上表面，其上配装有一呈指针状的指示片，所述垂直部上设置有托板，其上装有所述磁场测试器。本实用新型还可以采用如下技术方案:所述磁场测试器包括有连杆、支撑杆、测试器外壳，所述支撑杆一端与所述连杆铰接，另一端固定在所述测试器外壳的外表面，所述连杆一端设置有测试探头、另一端通过弹簧固定在测试器外壳的内部上表面，所述测试器外壳的内部设置有带刻度A的显示板。本实用新型具有的优点和积极效果为:1、通过将磁钢放置在磁钢托架上，不仅能够实现一个人独立对磁钢进行检测，节省了人力资源，还能够提高测量的准确度，避免了手动测量带来的误差，通过滑块和滑道的配合，可以实现对磁钢的每个部分进行精确测量，由于滑道的一侧或两侧设置有刻度，可以准确找出需要调试的部位，从而实现边测量边调试。
2、本实用新型制造成本低，利于生产实践中大范围的推广应用。
图1是本实用新型的俯视结构示意图；图2是本实用新型仪器测量台和无磁型材框架的装配结构示意图；图3是本实用新型磁场测试器的结构示意图。图中:1、滑块；2、连接板；3、磁钢；4、滑道；5、无磁型材框架；6、磁钢托架B ;7、指示片；8、磁钢托架A ;9、测试探头；10、连杆；11、磁场测试器；12、测试器外壳；13、托板；14、仪器测量台；15、弹簧；16、显示板；17、刻度A ;18、支撑杆；19、水平部；20、垂直部；21、刻度B0
具体实施方式
为能进一步了解本实用新型的发明内容、特点及功效，例举以下实施例，并配合附图详细说明如下:如图1-3所示，一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置，包括无磁型材框架5、磁钢托架AS、磁钢托架B6、仪器测量台14、磁场测试器11，所述磁钢托架AS、磁钢托架B6分别固定在无磁型材框架5的两侧，其上配装有磁钢3，所述仪器测量台14包括有滑块1、连接板2，在无磁型材框架5的一侧设置有滑道4，其内配置有所述滑块1，在滑道4的一侧或两侧设置有刻度B21，所述连接板2上设置有一水平部19和一垂直部20，连接板2上的水平部19固定在滑块I的上表面，其上配装有一呈指针状的指示片7，所述垂直部20上设置有托板13，所述磁场测试器11设置在所述托板13上。所述磁场测试器11包括有连杆10、支撑杆18、测试器外壳12，所述支撑杆18的一端与所述连杆10铰接，另一端固定在所述测试器外壳12的外表面，所述连杆10的一端设置有测试探头9、另一端通过弹簧15固定在测试器外壳12的内部上表面，所述测试器外壳12的内部设置有显示板16，显示板16上设置有刻度A17。本实用新型的工作原理是:首先将磁钢3从靶管内取出，表面清洁干净，然后将磁钢3的两端放置在磁钢托架AS和磁钢托架B6上，并且有磁的部分朝下，然后将磁场测试器11放置在仪器测量台14的托板13上，然后沿着滑道4滑动滑块1，使磁场测试器11显示出磁钢3每个部分的磁力强度，然后通过记录下数据绘制出位移与磁力强度的坐标图，如果磁钢出现磁力强度错误的情况，操作员可以根据指示片7指示的位置进行调整，调整后可继续进行测量。以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
权利要求1.一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置，其特征在于:包括无磁型材框架(5)、磁钢托架A (8)、磁钢托架B (6)、仪器测量台(14)、磁场测试器(11)，所述磁钢托架A (8)、磁钢托架B (6)分别固定在无磁型材框架(5)的两侧，其上配装有磁钢(3)，所述仪器测量台(14)包括有滑块(I)、连接板(2)，在无磁型材框架(5)的一侧设置有滑道(4)，其内配置有所述滑块I，在滑道(4 )的一侧或两侧设置有刻度B (21)，所述连接板(2 )上设置有一水平部(19 )和一垂直部(20 )，连接板(2 )上的水平部(19 )固定在滑块(I)的上表面，其上配装有一呈指针状的指示片(7 )，所述垂直部(20 )上设置有托板(13)，其上装有磁场测试器(11)。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置，其特征在于:所述磁场测试器(11)包括有连杆(10)、支撑杆(18)、测试器外壳(12)，所述支撑杆(18)—端与所述连杆(10)铰接，另一端固定在所述测试器外壳(12)的外表面，所述连杆(10)—端设置有测试探头(9)、另一端通过弹簧(15)固定在测试器外壳(12)的内部上表面，所述测试器外壳(12)的内部设置有带刻度A (17)的显示板(16)。
专利摘要本实用新型涉及一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置，属于磁控溅射镀膜技术领域。包括有无磁型材框架、磁钢托架A、磁钢托架B、仪器测量台、磁场测试器，所述磁钢托架A、磁钢托架B分别固定在无磁型材框架的两侧，其上配装有磁钢，仪器测量台包括有滑块、连接板，在无磁型材框架的一侧设置有滑道，其内配置有滑块，滑道的一侧或两侧设置有刻度B，所述连接板上设置有一水平部和一垂直部，连接板上的水平部固定在滑块的上表面，其上配装有一呈指针状的指示片，垂直部上设置有托板，其上设置有磁场测试器。本实用新型的优点是能够实现一个人独立对磁钢进行检测，测量准确、效率高，制造成本低，有利于大范围的推广和应用。
文档编号G01N27/72GK202925090SQ20122050630
公开日2013年5月8日 申请日期2012年9月29日 优先权日2012年9月29日
发明者王旭升, 王 琦 申请人:中国南玻集团股份有限公司, 天津南玻工程玻璃有限公司, 天津南玻节能玻璃有限公司