一种检查装置制造方法
【专利摘要】根据本发明，提供了一种适合于当检查部件（5）是否有缺陷（35）时使用的检查装置（1），检查装置（1）包括：串光源（9、17、19、21），其布置成两个或更多的组光源（11a、lib、11c、lid），其中串光源被配置使得每个组光源（11a、lib、11c、lid）能够相对其它（一个或多个）组光源异步地操作以便光能够从不同的方向被异步地引导到部件（5）；图像捕获装置（照相机7），其配置为当组光源的每个被点亮时捕获部件（5）的图像，以提供多个图像，每个图像示出从不同方向被照亮的部件（5）；处理装置（23），配置为使用所述图像执行算术计算，以便提供在其中能够更容易地识别部件中的缺陷的单个图像。进一步提供检查部件的对应方法以及具有圆顶和漫射器的照明布置。
【专利说明】一种检查装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及检查装置，尤其，但非专门地，本发明涉及使用从不同方向照亮部件的照明系统并且当从不同的方向被照亮时使用部件的图像以允许更容易地识别部件上的缺陷的检查装置。本发明还涉及检查部件的对应方法和可用于照亮要被检查的部件的照明布置。
【背景技术】
[0002]在制造过程期间通常测试部件(例如电部件诸如LED)是否有缺陷。要被检查是否有缺陷的部件通常使用照明系统来照射；照射部件允许部件上的缺陷被更容易地识别。
[0003]目前的照明系统配置为同时地照射正被检查的部件的每一侧。一旦被照射，照相机就取得被照射部件的图像；然后检查图像以识别部件上的缺陷。然而，不利的是，从每一侧照射部件可能使得难以识别部件上的表面缺陷；因为从每一侧照射部件，缺陷将不投射阴影；因此表面缺陷从图像上是不大明显的并且因此更加难以识别。
[0004]为实现更容易地识别缺陷，已知的是从任一侧照射部件并且获得表征当从每一侧被照亮时由部件反射的光的方程。方程作为微分方程被求解以识别在部件中的缺陷。用于识别部件中的缺陷的这样的系统和方法是复杂的、昂贵的并且花费长时间来提供结果。
[0005]本发明的目的是消除或减轻一个或多个前面提到的缺点。
【发明内容】
[0006]根据本发明，提供一种适合于当检查部件是否有缺陷时使用的检查装置，检查装置包括:串光源(light)，其布置成两个或更多的组光源，其中串光源被配置使得每个组光源能够相对其它(一个或多个)组光源异步地操作以便光能够从不同的方向被异步地引导到部件；图像捕获装置，其配置为当组光源的每个被点亮时捕获部件的图像，以提供多个图像，每个图像示出从不同方向被照亮的部件；处理装置，配置为使用所述图像执行算术计算，以便提供在其中能够更容易地识别部件中的缺陷的单个图像。
[0007]有利的是，本发明的照明系统实现要被检查的部件被入射在部件上的光从不同方向异步地照亮。当部件从不同的方向被异步地照亮时，依赖于部件上的缺陷被定向的方向，当光以例如与部件上的缺陷被定向的方向垂直的方向入射在部件上时缺陷将投射确定的阴影。例如平行于入射光的部件将不投射这样的显著的阴影。照相机可以用于取得部件的图像。因为来自矩形的至少一些边的光源将不被照射，所以由缺陷投射的阴影将更显著地出现在图像中，因此允许容易地识别缺陷。然后，关闭光源并且然后在矩形的其它边的光源用于从不同方向照射部件；在这种情况中，光将从不同方向入射在部件上；例如垂直于这个入射光的缺陷现在将投射阴影。再一次使用照相机可以取得图像并且因为来自矩形的至少一些边的光源将不被照射，所以由缺陷投射的阴影在图像中将是显著的，因此允许容易地识别缺陷。因此，使用本发明的照明系统，可以获得多个图像，其每个在部件被从不同方向入射在部件上的光照亮时取得。通过从不同方向异步地照亮部件，每个缺陷将投射在由照相机取得的图像中将被容易地看见的显著的阴影，而与缺陷方向无关。然后这些图像由处理装置处理；处理装置执行快速并易于执行的简单的算术计算，诸如加、减或除图像，以提供其中所有缺陷可以清楚地识别的单个图像。当执行算术计算时，每个图像的像素将加到其它图像的对应像素、从其它图像的对应像素减去或分成其它图像的对应像素，以形成其中可以容易地看见部件上的缺陷的单个图像。
[0008]算术计算可以包括线性算术计算。
[0009]线性算术计算可以包括图像的相加、相减和/或相除中的至少一个。
[0010]处理装置可以是可配置的以执行任何算术计算。算术计算可以是图像的相加、相减和/或相除。例如，图像的相加可以涉及将当部件从第一方向被照亮时部件的第一图像的像素与当部件从另一个方向被照亮时由照相机获得的第二图像的对应像素相加，以提供其像素是第一和第二图像的每个的像素相加的单个图像。为提供单个图像而需要的算术计算可以基于后面中的至少一个来选择:正在被检查的部件；要被识别的缺陷；或者简单地通过试错法。
[0011]检查装置可以进一步包括漫射器。
[0012]漫射器可以配置为漫射(defuse)来自串光源的光。漫射器可以配置为在光到达要检查的部件之前漫射光。漫射器可以配置为在光到达第二漫射器之前漫射光。漫射器可以配置为在光到达圆顶元件之前漫射光，圆顶元件配置为散射光。
[0013]漫射器可以配置为在串光源之上和之下延伸。
[0014]检查装置可以进一步包括圆顶元件，其包括配置为散射光的表面。圆顶 圆顶元件可以配置为散射已由漫射器漫射的光。
[0015]圆顶兀件可以包括配置为散射光的表面。表面可以是无光泽表面。表面可以包括无光泽涂料。
[0016]圆顶元件可以具有限定于其中的开口。开口可以配置为使得设置在圆顶元件的一侧上的照相机能够记录定位在圆顶元件的相对侧处的部件的图像。
[0017]漫射器可以配置为限定由圆顶的反射表面散射的光能够穿过的通道。这可以是允许照射部件。
[0018]检查装置可以进一步包括一个或多个另外的串光源。优选地，检查装置包括至少两个另外的串光源。
[0019]检查装置可以进一步包括串光源，其被配置使得它们能够朝向正在被检查的部件轴向地引导光。
[0020]串光源可以布置在不同的垂直方位上。例如，第一串光源可以布置在第二串光源之上，其两者都可以布置在第三串光源之上。这些串光源的每个可以布置在配置为朝向部件轴向地引导光的串光源之上。
[0021]检查装置可以进一步包括分束器。分束器可以布置为分离由被配置得朝向部件轴向地引导光的串光源发射的光。
[0022]串光源可以布置在矩形中。在矩形的每个边处的光源可以限定组光源。限定矩形的两个或更多边的光源可以限定组光源；例如限定矩形的两个边的光源可以限定第一组并且限定矩形的另外两个边的光源可以限定第二组。串光源可以布置在矩形中，矩形的尺寸为长度在20mm-46mm之间和宽度在20mm-46mm之间。优选地，串光源布置在尺寸为36mm长和36mm宽的矩形中。
[0023]检查装置可以进一步包括第二和第三串光源。第二串光源可以布置在矩形中，矩形的尺寸为长度在20mm-46mm之间和宽度在20mm-46mm之间。优选地,第二串光源布置在尺寸为36mm长和36mm宽的矩形中。第三串光源可以布置在矩形中，矩形的尺寸为长度在20mm-46mm之间和宽度在20mm-46mm之间。优选地，第三串光源布置在尺寸为36mm长和36mm宽的矩形中。
[0024]串光源可以布置在圆形中。限定圆形的光源可以被分段。每段可以限定组光源。限定两个或更多段的光源可以限定组光源；例如限定两个段的光源可以限定第一组并且限定另外两个段的光源可以限定第二组。
[0025]根据本发明的另外的方面，提供一种照明布置，其包括:串光源；第一漫射器，布置为漫射来自串光源的光；圆顶元件，其中圆顶元件包括配置为散射已由第一漫射器漫射的光的反射表面，以提供具有改进分布的光。
[0026]任何前面提到的检查装置包括根据前面提到的照明布置的光源布置。
[0027]圆顶元件可以包括配置为散射光的表面。表面可以是无光泽表面。表面可以包括无光泽涂料。
[0028]圆顶元件可以具有限定于其中的开口。开口可以配置为使得设置在圆顶元件的一侧上的照相机能够记录定位在圆顶元件的相对侧处的部件的图像。
[0029]漫射器可以布置为限定由圆顶的反射表面散射的光能够穿过的通道。由圆顶的反射表面散射的光能够穿过通道以照射要被检查的部件。
[0030]串光源可以布置为限定由圆顶的反射表面散射的光能够穿过的通道，以允许照射部件。
[0031]一种检查装置，适合于当检查部件是否有缺陷时使用，检查装置包括前面提到的照明布置的任何一个。
[0032]根据本发明的另外的方面，提供了一种检查部件的方法，其包括以下步骤:操作布置成两个或更多组光源的串光源使得每个组光源相对其它(一个或多个)组光源异步地操作以便光在不同的方向被异步地弓I导到要被检查的部件；当组光源的每个被点亮时操作图像捕获装置来捕获部件的图像，以提供多个图像，每个图像示出从不同方向被照亮的部件；使用图像执行算术计算，以便提供在其中可以更容易地识别部件中的缺陷的单个图像。
【专利附图】
【附图说明】
[0033]现在将仅通过示例的方式参考附图来描述本发明的实施例，其中:
图1示出根据本发明实施例的检查装置的透视图；
图2提供根据本发明的方面的照明布置的透视图；
图3提供根据本发明实施例的检查装置的透视图，检查装置使用根据本发明实施例的光源布置。
【具体实施方式】
[0034]图1提供根据本发明的一个实施例的适合于当检查部件是否有缺陷时使用的检查装置I的透视图。检查装置I包括适合于当检查部件5是否有缺陷时使用的照明系统3。通常，在检查部件的下表面是否有缺陷时使用在图1中示出的照明系统3。
[0035]照明系统3包括布置在具有四个边lla-d的矩形中的第一串光源9。在这个特定的示例中，限定矩形的边IIa和Ilc的光源形成第一组光源，而限定矩形的边Ilb和Ild的光源形成第二组光源。因此在这个示例中，串光源9包括两个组光源(限定边Ila和Ilc的组光源，限定边Ilb和Ild的组光源)。
[0036]将理解的是，限定矩形的每个边Ila-1ld的光源能够形成组光源，因此串光源9包括4个组光源(限定边Ila的组光源、限定边Ilb的组光源、限定边Ilc的组光源和限定边Ild的组光源)。应当理解的是串光源9能够采用任何适合的形式，例如串9的光源能够布置在圆形中(代替布置在矩形中)并且其中限定圆形的串光源9能被分段，每段限定一个组光源。
[0037]配置照明系统3使得组光源相对彼此异步地操作以便在矩形的边lla-d上的光源相对在矩形的边lla-d上的光源异步地操作；这允许光从不同的方向被异步地引导到部件
5。在这个特定的示例中，配置照明系统3使得在边Ilb和Ild上的光源相对边Ila和Ilc异步地发光以便光能从不同的方向被异步地引导到部件。然而，将理解的是可以使用异步的任何其它组合，例如可以配置照明系统3使得在边lla-d的每个上的光源异步地发光以便部件5可以从四个不同的方向异步地被照亮。
[0038]除了第一串光源9，照明系统进一步包括第二和第三串光源17、19，其每个布置在矩形中。不同于第一串光源9，照明系统3被配置使得形成第二和第三串光源的光源不是异步地操作，而是同步地操作使得第二和第三串光源17、19的每个的所有光源一起发光或一起关断。然而，在这个特定的示例中，第二串光源17的光源能够独立于第三串光源19的光源地打开或关闭，并且反之亦然。然而，应当理解的是本发明不限制于具有同步地操作的第二和第三串17、19的光源，第二和第三串17、19的光源能够配置为以与第一串光源9类似的方式异步地操作。
[0039]照明系统3进一步包括另外串光源21，其被配置使得它们能够朝向要被检查的部件5轴向地引导光。在这种情况中，要被检查的部件5将从侧面由布置在矩形中的串电源
9、17、19被照射以及将在其下表面25由串光源21被照射，串光源21配置为朝向部件5轴向地引导光。朝向部件5轴向地引导光的串光源21配置为在基本上与由串光源9、17、19提供的光的方向垂直的方向提供光。
[0040]如在图1中可以看到的，所述组光源9、17、19、21的每个布置在不同的垂直方位；第一串光源9布置在第二串光源17之上，其两者都布置在第三串光源19之上。这些串光源9、17、19的每个布置在配置为朝向部件5轴向地引导光的串光源21之上。
[0041]照明系统3进一步包括漫射器13和分束器15。布置漫射器13和分束器以漫射和分离由提供轴向光的串光源21发射的光。漫射器13将确保来自串光源21的入射在部件5上的光将平均地分布在部件5上。漫射器还将帮助防止串光源21的反射出现在正被检查的部件5的下表面25上；出现在部件5的下表面25上的串光源21的反射可能出现在下表面的图像中，因此影响图像的清晰度。
[0042]检查装置I进一步包括照相机7，其用于当部件5被照明系统3照亮时取得部件5的图像。照相机7被配置使得当边Ilb和Ild正在发光时照相机7能够获得部件5的图像并且当边Ila和Ilc正在发光时取得部件7的进一步图像。因此当从不同方向的每个被照亮时，照相机记录部件的图像。将理解的是如果照明系统3被配置使得在边lla-d的每个上的光源异步地发光以便部件5从四个不同的方向被异步地照亮；那么照相机7可以配置为记录部件5在从四个方向的每个被照亮时的图像，因此提供至少四个图像，每个图像示出从不同的方向被照亮的部件5。
[0043]检查装置I可以进一步包括图像处理模块23，其配置为处理由照相机7获得的每个图像(即当边Ilb和Ild被点亮时取得的图像和当边Ila和Ilc被点亮时取得的图像)。图像处理模块23可以配置为对图像执行算术计算。在这个特定的实施例中，图像处理模块23配置为使用图像执行线性算术计算。例如图像可以被除、加或减。
[0044]可以像素对像素地执行算术操作；例如，图像的相加可以涉及将当矩形的边Ilb和Ild被点亮时由照相机获得的第一图像的像素与当矩形的另外边Ila和Ilc被点亮时由照相机获得的第二图像的对应像素相加，以提供其像素是第一和第二图像的每个的像素相加的单个图像。同样地，减去图像可以涉及从第二图像的对应像素减去第一图像的像素，以提供其像素是第一和第二图像的每个的像素相减的单个图像。如讨论的，检查装置I可以被配置使得在边lla-d的每个上的光源异步地发光以便部件5从四个不同的方向被异步地照亮并且照相机7可以配置为当从四个方向的每个被照亮时记录部件5的图像，因此提供至少四个图像，每个图像示出从不同方向被照亮的部件5。在这个特定的情况中，可以使用四个图像执行算术操作；例如，四个图像可以像素对像素地相加，或者像素对像素地相减，以提供单个图像。
[0045]在使用期间，通过下列步骤来检查部件5:操作串光源9使得每个组光源相对其它(一个或多个)组光源异步地操作以便光在不同的方向(在这个特定的示例中，从第一组光源的边Ila和Ilc以及从第二组光源的边Ild和Ilb)被异步地引导到要被检查的部件上；当组光源的每个被点亮时操作图像捕获装置来捕获部件的图像，以提供多个图像，每个图像示出从不同方向被照亮的部件；使用图像执行算术计算，以便提供在其中可以更容易地识别部件中的缺陷的单个图像。
[0046]更具体地说，要被检查的部件5设置在第一串光源9之上以便它被定位得朝向串的中心。
[0047]然后操作照明系统3。在第一串光源9中，在边Ilb和Ild上的光源相对边Ila和Ilc异步地发光以便光从不同方向被异步地引导到部件。在第二和第三串光源17、19中和在串光源21中的所有光源被同时地操作以照亮部件5。因此，在任一时间，借助于第二和第三串光源17、19，串光源21和来自第一串9的边Ila和Ilc的光源或第一串9的光源Ilb和Ild照亮部件。
[0048]当在边Ilb和IId上的光源被点亮(而在边Ila和Ilc上的光源维持关断)时，在其中边Ilb和Ild发射光的方向更多地照射部件5。入射到部件5上的光被部件5和在部件5上存在的缺陷35反射。被部件5及其缺陷35反射的光被传送到分束器15并且使用反射光被引导朝向照相机7，照相机形成部件5及其缺陷35的第一图像。例如垂直于由边Ilb和Ild发射的光的方向的缺陷35 (即基本上平行于边Ild和Ild的缺陷35)将投射显著的阴影；因为在边Ua和Ilc上的光源没有被点亮，来自边Ila和Ilc的光源不会照亮由所述缺陷35投射的阴影，因此投射的阴影将更显著地出现在由照相机7取得的图像中。更显著的阴影将使得能够在第一图像中更容易地识别在部件5上的缺陷35(其基本上平行于边Ild和Ild延伸)。
[0049]下一步，在边Ila和Ilc上的光源被点亮(而在边Ild和Ilb上的光源维持关断)以便在其中边Ila和Ilc发射光的方向更多地照射部件5。入射到部件5上的光被部件5和在部件5上存在的缺陷35反射。被部件5及其缺陷35反射的光被传送到分束器15并且使用反射光被引导朝向照相机7，照相机形成部件5及其缺陷35的第二图像。例如垂直于由边Ila和Ilc发射的光的方向的缺陷35 (即基本上平行于边Ila和Ilc的缺陷35)将投射显著的阴影；因为在边Ilb和Ild上的光源没有被点亮，来自边Ila和Ilc的光源不会照亮由所述缺陷35投射的阴影，因此投射的阴影将更显著地出现在由照相机7取得的图像中。更显著的阴影将使得能够在第二图像中更容易地识别缺陷35 (其基本上平行于边Ila和Ilc延伸)。
[0050]通过图像处理模块23处理由照相机7取得的第一和第二图像以提供在其中所有缺陷(基本上平行于边Ila和Ilc延伸的这些和基本上平行于边Ild和Ild延伸的这些两者)更清楚可见的单个图像。在这个特定的示例中，处理图像的步骤包括使用第一和第二图像执行线性算术计算的步骤。算术计算可以是第一和第二图像的相加、相减和/或相除。例如，第一和第二图像的相加可以涉及将第一图像的像素与第二图像的对应像素相加，以提供其像素是第一和第二图像的每个的像素相加的单个图像。由图像处理模块23执行处理以提供单个图像的算术计算可以基于后面的至少一个来选择:正在被检查的部件5 ;要被识别的缺陷35 ;或者简单地通过试错法。
[0051]有利的是，本发明的照明系统3使得能够更容易地识别部件上的缺陷。照明系统使得能够更多地从不同方向异步地照射接受检查的部件5。当部件5从特定的方向被更多地照射时，特定方位的缺陷将投射确定的阴影。当从另一个方向更多地照射部件5时，另一个特定方位的缺陷将投射确定的阴影。例如，垂直于额外光的方向定向的缺陷将投射确定的阴影；例如平行于额外光的方向的缺陷35将不投射这样的显著的阴影。当部件5更多地从不同的方向被照亮时，照相机7可以用于记录部件5的图像。然后这些图像可以由图像处理模块23处理以提供在其中示出由部件上的所有缺陷投射的确定的阴影的单个图像。图像处理模块23可以使用图像执行算术计算。图像处理模块23可以执行算术计算诸如加、减或除每个图像的像素，以形成单个图像。由缺陷投射的阴影用于识别缺陷的存在；因此更确定的阴影使得能够更容易地识别缺陷。因此，因为由图像处理模块23提供的单个图像将示出由在所有方位中的所有缺陷投射的确定的阴影，所以可以更容易地识别部件上的缺陷。
[0052]而且因为形成边Ild和Ilb的光源不打开而形成边Ila和Ilc的光源打开,并且反之亦然，所以在边Ild和Ilb的光源打开时由缺陷35所投射的阴影将不被来自边Ila和Ilc的光源照亮，并且反之亦然；因此阴影将更显著地出现在由照相机取得的图像中。因此，使用本发明的照明系统，可以获得多个图像，每个图像在部件被更多地从不同方向照射时取得。通过从不同方向异步地照射部件并且在部件被更多地从不同方向的每个照射时取得部件的图像，每个缺陷将投射显著的阴影，该阴影在由照相机取得的至少一个图像中将是可见的。这些图像可以由图像处理模块23处理以提供在其中示出由部件5上的所有缺陷35投射的所有显著的阴影的单个图像。
[0053]图2提供根据本发明实施例的照明布置50的透视图。不同于在图1中示出的照明系统3，照明布置50通常在检查部件5的上表面67时使用。在这个特定的示例中，要被检查的部件5设置在照明布置50之下。
[0054]照明布置50包括布置在矩形中的串光源55 ;串光源55限定矩形的四个边57a_d。还将理解的是，可以在任何布置中提供串光源55 ;例如串光源55可以布置在圆形中。串光源55可以每个同时地发光，或者可以每个异步地发光。
[0055]在这个特定的示例中，每个边57a_d限定组光源。照明布置50被配置使得边57a_d的每个(即每个组光源)异步地发光，以便光可以从不同方向被异步地引导到部件5。将理解的是照明布置50可以配置为提供异步照明的任何其它组合；例如边57a和57c可以同时地发光，但是对于边57d和57d异步地，并且反之亦然。如果例如在另一个布置中提供了串光源55，例如串光源55布置在圆形中，那么限定圆形的光源可以被分段，每个段限定组光源。组光源将每个异步地发光，以便光可以从不同方向被异步地引导到接受检查的部件5。
[0056]照明布置50进一步包括第一漫射器51,其布置在组光源55之下，以便它被插入在在串光源55和要被检查的部件5之间。第一漫射器51漫射由串光源55发射的直接向下朝向在照明布置50之下的部件5的光。第一漫射器51将确保由串光源55发射的直接向下朝向部件5的光将被平均地分布以便均匀地照射部件5的表面(例如部件的上表面67)。
[0057]照明布置50进一步包括圆顶元件61形式的第二漫射器。圆顶元件61具有限定在其中的开口 71，通过开口 71照相机可以取得设置在照明布置50之下的部件5的图像。圆顶兀件61包括配置为反射和散射光的内表面59。在这个特定的不例中，内表面59配置为通过包括无光泽表面来反射和散射光，所述无光泽表面由在圆顶元件61的内表面59上存在的无光泽涂料(未示出)提供。
[0058]第一漫射器51具有限定在其中的通道69，从圆顶元件6散射的光可以穿过通道69。由圆顶元件6散射的和穿过第一漫射器51中的通道59的光将照射设置在照明布置50之下的部件5。
[0059]在使用期间，由在串光源55中的边57a_d中的任何发射的向上远离部件5的光入射到圆顶兀件61的内表面59上。入射到圆顶兀件61的内表面59上的光被反射和散射61以便至少一些光回传通过矩形串光源55的中心63和通过第一漫射器51中的通道59以入射到要被检查的部件5上。由于在圆顶元件61的内表面59上存在的无光泽涂料而反射和散射光。通过圆顶兀件61的光的散射确保光将平均地分布在要被检查的部件5的表面上；因此要被检查的部件5的表面(在这种情况中为上表面67)将由光均匀地照射。
[0060]在使用期间，边57a_d的每个异步地发光，以便光从不同方向被异步地引导到部件5。因此，当每个边57a-d被点亮时，在部件5的上表面67上存在的缺陷将依赖于缺陷的方位而投射显著的阴影，从而允许它们被容易地识别。有利的是，第一漫射器51和圆顶元件61形式的第二漫射器确保来自边57a-d的每个的光平均地分布在其中该边57a-d发射光的方向上；因此在其中边57a-d发射光的方向平均地照射部件。结果，进一步远离边57a-d设置的缺陷65仍可以投射显著的阴影，因此使得能够更容易地识别缺陷65。
[0061]图3提供根据本发明实施例的检查装置100的透视图，检查装置100使用根据本发明的进一步的实施例的光源布置。检查装置100通常用于检查部件5的上表面67。在这个特定的示例中，要被检查的部件5将被设置在照明布置103之下。
[0062]在检查装置100中示出的照明布置103具有与在图3中示出的照明布置55许多相同的特征，并且同样的特征赋予相同的参考数字。不同于在图3中示出的照明布置55，在检查装置100中示出的照明布置103包括布置在圆形中的串光源56。限定圆形的光源被分段，每段限定组光源56a、56b、56c ;每组包括四个光源。虽然仅示出三个组光源，但是将被理解的是，可以提供任何数量的组光源。将被理解的是，串光源56不限于这样的配置，例如串光源56可以布置在正方形或三角形等中。
[0063]检查装置100进一步包括第一漫射器52。第一漫射器52被布置得在串光源56之上和之下都延伸(漫射器52在图3中示出为延伸通过布置在圆形中的串光源56的中心)。因此，第一漫射器52将漫射向下朝向接受检查的部件5发射和向上朝向圆顶元件61发射的光。有利的是，漫射器确保光平均地分布在要被检查的部件5的表面上；因此，要被检查的部件5的表面(在这种情况中为上表面67)将被光均匀地照射。而且，因为漫射器53在串光源56之上延伸，所以它防止光反射到圆顶元件61上和到要被检查的部件5的表面上(在这种情况中为上表面67);因此可以获得部件的表面(上表面67)的更清楚的图像。第一漫射器52是圆形的以匹配串光源56的布置。
[0064]类似于在图1中示出的检查装置1，检查装置100进一步包括照相机7和图像处理模块23。照相机7和图像处理模块23两者都以与在检查装置I中示出的照相机7和图像处理模块23类似的方式操作。
[0065]在使用中，组光源56a、56b、56c被同时地或者异步地点亮。在这个特定的示例中，组光源56a、56b、56c是异步的以便部件5更多地从不同的方向被照亮。依赖于打开的组光源，在部件5的上表面67上的缺陷65被从特定的方向均匀地照射。依赖于缺陷的方位并且依赖于部件从其正在被照亮的方向(即依赖于哪个组光源56a、56b、56c打开)，缺陷将投射显著的阴影。当部件5被组光源56a、56b、56c的每个照亮时,照相机7记录部件5的图像；因此照相机7记录多个图像，每个图像示出从不同方向被照亮的部件。
[0066]然后，这些图像可以由图像处理模块23处理以提供其中示出由部件上的所有缺陷投射的确定的阴影的单个图像。图像处理模块23可以使用图像执行算术计算。图像处理模块23可以执行算术计算诸如加、减或除每个图像的像素，以形成单个图像。由缺陷投射的阴影用于识别缺陷的存在；因此更确定的阴影使得能够更容易地识别缺陷。因此，因为由图像处理模块23提供的单个图像将示出由在所有方位中的所有缺陷投射的确定的阴影，所以可以更容易地识别部件上的缺陷。
[0067]在不脱离所附权利要求中限定的本发明的范围的情况下，对于本领域技术人员来说对本发明所描述的实施例的各种修改和变型将是显而易见的。尽管已连同具体的优选实施例描述了本发明，但是应当理解的是要求保护的本发明不应当过度地限制于这些具体的实施例。
【权利要求】
1.一种检查装置，适合于当检查部件是否有缺陷时使用，所述检查装置包括: 串光源，其布置成两个或更多的组光源，其中串光源被配置使得每个组光源能够相对其它组光源异步地操作以便光能够从不同的方向被异步地引导到部件； 图像捕获装置，其配置为当组光源的每个被点亮时捕获部件的图像，以提供多个图像，每个图像示出从不同方向被照亮的部件； 处理装置，配置为使用所述图像执行算术计算，以便提供在其中能够更容易地识别部件中的缺陷的单个图像。
2.根据权利要求1的检查装置，其中，算术计算包括线性算术计算。
3.根据权利要求2的检查装置，其中线性算术计算包括所述图像的相加、相减和/或相除。
4.根据前面权利要求的任一项的检查装置，进一步包括漫射器。
5.根据前面权利要求的任一项的检查装置，进一步包括圆顶元件，所述圆顶元件包括配置为散射光的表面。
6.根据权利要求5的检查装置，其中圆顶元件配置为散射已由漫射器漫射的光，漫射器配置为限定由圆顶的反射表面散射的光能够穿过的通道，以允许照射部件。
7.根据前面权利要求的任一项的检查装置，进一步包括一个或多个另外的串光源。
8.根据权利要求7的检查装置，其中所述串光源布置在不同的垂直方位。
9.根据前面权利要求的任一项的检查装置，进一步包括:另外的串光源，被配置使得它们能够朝向正在被检查的部件轴向地弓I导光。
10.根据前面权利要求的任一项的检查装置，进一步包括分束器。
11.根据前面权利要求的任一项的检查装置，其中所述串光源布置在矩形中并且其中在所述矩形的每个边处的光源限定组光源。
12.根据权利要求1-10的任一项的检查装置，其中串光源布置在圆形中并且其中限定圆形的光源被分段，每段限定组光源。
13.—种照明布置,包括: 串光源； 第一漫射器，布置为漫射来自串光源的光； 圆顶元件，其中圆顶元件包括配置为散射已由第一漫射器漫射的光的反射表面，以便提供具有改进分布的光。
14.根据权利要求13的照明布置，其中串光源限定由圆顶的反射表面散射的光能够穿过的通道，以允许照射部件。
15.一种检查部件的方法，包括以下步骤: 操作布置成两个或更多组光源的串光源，使得每个组光源相对其它组光源异步地操作以便光在不同的方向被异步地引导到要被检查的部件； 当组光源的每个被点亮时操作图像捕获装置来捕获部件的图像，以提供多个图像，每个图像示出从不同方向被照亮的部件； 使用图像执行算术计算，以便提供在其中能够更容易地识别部件中的缺陷的单个图像。
【文档编号】G01N21/88GK103534580SQ201280018859
【公开日】2014年1月22日 申请日期:2012年3月5日 优先权日:2011年4月18日
【发明者】F.克拉维罗, P.阿布里亚, 谢耀勇 申请人:伊斯梅卡半导体控股公司