磁场测量装置制造方法

磁场测量装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种在干扰磁场大的环境下根据来自多极磁体的磁场进行准确的输出的磁场测量装置。本发明的磁场测量装置具备第一至第四磁电变换元件、聚磁板以及计算部，该计算部计算相对于磁电变换元件的感磁面在水平和/或垂直方向上施加的磁场的强度，将聚磁板配置成将相对于第一和第二磁电变换元件的感磁面沿水平方向产生的磁场矢量变换为相对于第一和第二磁电变换元件的感磁面为垂直方向且在各个感磁面上方向相反的磁场矢量，并且，将相对于第三和第四磁电变换元件的感磁面沿水平方向产生的磁场矢量变换为相对于第三和第四磁电变换元件的感磁面为垂直方向且在各个感磁面上方向相反的磁场矢量，计算部具有第一计算块，该第一计算块对第一至第四磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果。
【专利说明】磁场测量装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种磁场测量装置，更详细地说，涉及一种对磁场产生体的位置、移动或者旋转进行检测的磁场测量装置。
【背景技术】
[0002]图1A至IC是用于说明以往的磁式编码器的图，使用图1A示出那样的多极磁体和霍尔IC等磁传感器。此时，霍尔IC102a、102b配置成输出脉冲的相位差相互偏离电角度90度。通过采用这种结构，能够制作能检测旋转方向的磁式编码器。
[0003]图2是通常使用的霍尔IC的框图，霍尔元件101、放大器130、施密特电路131以及驱动器形成一体。这种霍尔IC广泛使用于磁式脉冲编码器等领域。霍尔IC进行动作使与施加到霍尔元件101的感磁面的磁场成比例地输出的霍尔电动势在放大器130中放大，之后在施密特电路中与任意的阈值进行比较，对其结果进行数字输出。
[0004]接着，说明能够进行方向检测的磁式编码器的原理。图1B是表示在将图1A示出的状态设为电角度O度时从此处使磁体沿CCW方向相对于中心旋转时的、施加到霍尔IC102a、102b内的霍尔元件的磁场与各个霍尔IC的输出的图。另外，图1C是表示在将图1A示出的状态设为电角度O度时从此处使磁体沿CW方向相对于中心旋转时的、施加到霍尔IC102a、102b内的霍尔元件的磁场与各个霍尔IC的输出的图。根据其结果可知，将任一方霍尔IC输出的上升或者下降设为触发，观察另一方霍尔IC输出的状态是HIGH(高)还是LOW(低)，由此能够检测旋转方向。在本例中将霍尔IC102b的下降设为触发。
[0005]但是，在该结构中，独立使用两个霍尔1C，需要与多极磁体的间距相应地改变霍尔IC的配置，或者无法忽略安装偏差等的影响。因此，作为改善这些的方法，如专利文献I所记载的图1和图2那样，存在以下方法:使用由磁性体构成的聚磁板，利用专利文献I所记载的图8那样的随着多极磁体的旋转而输出的相对于磁电变换兀件感磁面垂直的磁场和水平的磁场的相位在电角度方面偏离90度这一点，能够以单芯片进行方向检测。该方法改善上述问题点，就磁编码器、输入设备来说是有用的方法。
[0006]专利文献1:日本特开2009-150732号公报

【发明内容】

_7] 发明要解决的问题
[0008]然而，在近年来广泛使用的车轮速度传感器那样的应用中，即使在拉开多极磁体与传感器之间的距离、即施加到传感器的磁场强度低的状态下传感器也能够进行动作，从而即使在干扰磁噪声恶劣的环境下输出也低抖动化并且与多极磁体的极间距正确对应地输出(通常称为输出Duty要求)这种要求变得高涨。被施加到传感器的来自多极磁体的磁通密度越低则干扰磁噪声的影响越大，使输出抖动、输出Duty恶化。在上述专利文献I的方法中，没有提及这种干扰磁场噪声。
[0009]本发明是鉴于这种问题而完成的，其目的在于提供一种磁场测量装置，其特别是在车轮速度传感器等对被检测体的位置、移动或者旋转进行检测的应用中，能够去除干扰磁噪声的影响，并且即使施加到传感器装置的被检测体所产生的磁场强度低也能够进行低抖动且准确的Duty输出。
[0010]用于解决问题的方案
[0011]本发明是为了达到这种目的而完成的，第一发明是一种磁场测量装置，检测从磁场产生体产生的磁场的强度，其特征在于，具备:第一磁电变换元件至第四磁电变换元件；由磁性体构成的聚磁板；以及计算部，其计算相对于上述磁电变换元件的感磁面在水平方向和/或垂直方向上施加的磁场的强度,其中，上述聚磁板配置在上述第一磁电变换兀件至上述第四磁电变换元件的附近，以将相对于上述第一磁电变换元件的感磁面和上述第二磁电变换元件的感磁面沿水平方向产生的磁场矢量变换为相对于上述第一磁电变换元件的感磁面和上述第二磁电变换元件的感磁面为垂直方向且在各个感磁面上方向相反的磁场矢量，并且，将相对于上述第三磁电变换元件的感磁面和上述第四磁电变换元件的感磁面沿水平方向产生的磁场矢量变换为相对于上述第三磁电变换元件的感磁面和上述第四磁电变换元件的感磁面为垂直方向且在各个感磁面上方向相反的磁场矢量，上述计算部具有第一计算块，该第一计算块对上述第一磁电变换元件至上述第四磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果。
[0012]另外，第二发明是一种磁场测量装置，检测从磁场产生体产生的磁场的强度，其特征在于，具备:第一磁电变换元件至第四磁电变换元件；以及计算部，其计算相对于上述磁电变换元件的感磁面在水平方向和/或垂直方向上施加的磁场的强度，其中，上述计算部具备:第一计算块，其对上述第一磁电变换元件至上述第四磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果；以及第二计算块，其对上述第一磁电变换元件至上述第四磁电变换元件的输出进行加减运算，计算与上述第一计算块的输出信号相位相差90度的信号，输出计
晳奸里
[0013]另外，第三发明的特征在于，在第一或者第二发明中，上述第一计算块具备:第一加减运算块，其对上述第一磁电变换元件和上述第二磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果；第二加减运算块，其对上述第三磁电变换元件和上述第四磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果；以及第三加减运算块，其对上述第一加减运算块的输出和上述第二加减运算块的输出进行加减运算，输出计算结果。
[0014]另外，第四发明的特征在于，在第一或者第二发明中，上述第一计算块具备:第一加减运算块，其对上述第一磁电变换元件和上述第三磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果；第二加减运算块，其对上述第二磁电变换元件和上述第四磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果；以及第三加减运算块，其对上述第一加减运算块的输出和上述第二加减运算块的输出进行加减运算，输出计算结果。
[0015]另外，第五发明的特征在于，在第一至第四发明中的任一项所述的发明中，上述计算部具有第二计算块，该第二计算块对上述第一磁电变换元件至上述第四磁电变换元件的输出进行加减运算，计算与上述第一计算块的输出信号相位不同的信号。
[0016]另外，第六发明的特征在于，在第五发明中，上述第一计算块的输出信号与上述第二计算块的输出信号的相位差为90度。
[0017]另外，第七发明的特征在于，在第五或者第六发明中，上述第二计算块具备:第四加减运算块，其对上述第一磁电变换元件和上述第二磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果；第五加减运算块，其对上述第三磁电变换元件和上述第四磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果；以及第六加减运算块，其对上述第四加减运算块的输出和上述第五加减运算块的输出进行加减运算，输出计算结果。
[0018]另外，第八发明的特征在于，在第五或者第六发明中，上述第二计算块具备:第四加减运算块，其对上述第一磁电变换元件和上述第三磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果；第五加减运算块，其对上述第二磁电变换元件和上述第四磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果；以及第六加减运算块，其对上述第四加减运算块的输出和上述第五加减运算块的输出进行加减运算，输出计算结果。
[0019]另外，第九发明的特征在于，在第一至第八发明中的任一项所述的发明中，上述第一磁电变换元件至上述第四磁电变换元件大致配置成直线状。
[0020]另外，第十发明的特征在于，在第一至第九发明中的任一项所述的发明中，上述计算部对上述磁场产生体的位置、移动或者旋转进行检测。
[0021]另外，第十一发明的特征在于，在第十发明中，上述计算部根据上述第一计算块的输出来检测上述磁场产生体的位置、移动或者旋转。
[0022]另外，第十二发明的特征在于，在第十或者第十一发明中，上述计算部根据将上述第一计算块的输出信号形成为脉冲波形而得到的信号来检测上述磁场产生体的位置、移动或者旋转。
[0023]另外，第十三发明的特征在于，在第五至第八发明中的任一项所述的发明中，上述计算部根据上述第一计算块的输出和上述第二计算块的输出来检测上述磁场产生体的位置、移动或者旋转。
[0024]另外，第十四发明的特征在于，在第一至第十三发明中的任一项所述的发明中，还具备磁场产生体，该磁场产生体是能够移动和/或能够旋转的多极磁化的磁体，或者是由设置在上述第一磁电变换元件至上述第四磁电变换元件的附近的反偏压磁体和能够移动和/或能够旋转的齿轮齿构成的结构体。
[0025]另外，第十五发明的特征在于，在第一至第十三发明中的任一项所述的发明中，还具备磁场产生体，该磁场产生体是由设置在上述第一磁电变换元件至上述第四磁电变换元件的附近的反偏压磁体和能够移动和/或能够旋转的齿轮齿构成的结构体，上述第一磁电变换元件至上述第四磁电变换元件配置在被上述反偏压磁体与上述齿轮齿夹持的位置。
[0026]发明的效果
[0027]根据本发明，能够提供一种磁场测量装置，其能够应用于对被检测体的位置、移动或者旋转进行检测的应用，并且在对被检测体的位置、移动或者旋转进行检测时，能够去除干扰磁噪声的影响，并且即使施加到传感器装置的被检测体所产生的磁场强度低，也能够进行低抖动且准确的Duty输出。
【专利附图】

【附图说明】
[0028]图1A是用于说明以往的磁式编码器的图。
[0029]图1B是用于说明以往的磁式编码器的图。
[0030]图1C是用于说明以往的磁式编码器的图。[0031]图2是以往通常使用的霍尔IC的框图。
[0032]图3是用于说明作为本发明所涉及的磁场测量装置的各实施方式的结构图。
[0033]图4是图3示出的聚磁板传感器部9的侧视图。
[0034]图5是用于说明图3示出的聚磁板的作用的图。
[0035]图6是表示本发明所涉及的磁场测量装置中的检测磁场的内部信号的图。
[0036]图7是表示被检测体与霍尔元件的配置关系的图。
[0037]图8是用于说明实施例1中的磁场测量装置的俯视图。
[0038]图9A是表示电角度一个周期的信号运算的结果的图。
[0039]图9B是表示电角度一个周期的信号运算的结果的图。
[0040]图9C是表示电角度一个周期的信号运算的结果的图。
[0041]图1OA是用于说明本实施例1中的信号处理的图。
[0042]图1OB是用于说明本实施例1中的信号处理的图。
[0043]图1lA是表示图6示出的输出形成部的输出波形的图。
[0044]图1lB是表示图6示出的输出形成部的输出波形的图。
[0045]图12A是表示本实施例1、2、3中的波形的例子的图。
[0046]图12B是表示本实施例1、2、3中的波形的例子的图。
[0047]图12C是表示本实施例1、2、3中的波形的例子的图。
[0048]图12D是表示本实施例1、2、3中的波形的例子的图。
[0049]图13A是用于说明实施例1中的磁场测量装置的其它例的俯视图。
[0050]图13B是用于说明实施例1中的磁场测量装置的其它例的侧视图。
[0051]图14是用于说明实施例2中的磁场测量装置的俯视图。
[0052]图15是用于说明实施例3中的磁场测量装置的俯视图。
[0053]图16A是表示实施例1、2、3中的能够使用的聚磁板形状的例子的图。
[0054]图16B是表示实施例1、2、3中的能够使用的聚磁板形状的例子的图。
[0055]图16C是表示实施例1、2、3中的能够使用的聚磁板形状的例子的图。
[0056]图16D是表示实施例1、2、3中的能够使用的聚磁板形状的例子的图。
[0057]图16E是表示实施例1、2、3中的能够使用的聚磁板形状的例子的图。
[0058]图16F是表示实施例1、2、3中的能够使用的聚磁板形状的例子的图。
[0059]图16G是表示实施例1、2、3中的能够使用的聚磁板形状的例子的图。
[0060]图16H是表示实施例1、2、3中的能够使用的聚磁板形状的例子的图。
[0061]图17A是表示实施例1、2、3中的能够使用的聚磁板形状的例子的图。
[0062]图17B是表示实施例1、2、3中的能够使用的聚磁板形状的例子的图。
[0063]图17C是表示实施例1、2、3中的能够使用的聚磁板形状的例子的图。
[0064]图18是表示本发明所涉及的磁场测量装置中的检测磁场的内部信号的图。
【具体实施方式】
[0065]下面，参照【专利附图】

【附图说明】本发明所涉及的磁场测量装置的具体例。此外，在实施例1中，以将本发明的磁场测量装置应用于被检测体的旋转检测的情况为中心进行说明，在实施例2中，以将本发明的磁场测量装置应用于被检测体的位置检测的情况为中心进行说明，在实施例3中，以将本发明的磁场测量装置应用于齿轮齿的检测的情况为中心进行说明。
[0066](实施例1)
[0067]本实施例1涉及一种旋转被检测体为多极环形磁体且使用霍尔元件作为磁电变换元件来进行检测的情况下的磁场测量装置。此外，图3示出用于说明本实施例1中的磁场测量装置的传感器结构，图8、图7是用于说明磁场测量装置的俯视图、侧视图，图6、图18是用于说明信号处理的框图。
[0068]图3是用于说明作为本发明所涉及的磁场测量装置的各实施方式的结构图。本实施例I中的传感器部为在硅基板上制作霍尔元件、在其附近制作由磁性体薄体构成的聚磁板的结构，大致区分而存在两处(区分为传感器部9、10)传感器部。在此所指的传感器部是由霍尔元件和聚磁板构成，该聚磁板由磁性体构成，在各传感器部能够分别独立地检测施加到传感器面的水平的磁场和垂直的磁场。
[0069]另外，详细的传感器结构如下。
[0070]I (LL)表不左部传感器部9内的第一霍尔兀件，I (LR)表不左部传感器部9内的第二霍尔元件，I (RL)表示右部传感器部10内的第三霍尔元件，I (RR)表示右部传感器部10内的第四霍尔兀件，7表不由磁性体构成的聚磁板,8表不娃基板，11表不左部传感器部中的磁感应部中心，12表示右部传感器部中的磁感应部中心，附图标记B表示左右磁感应部中心之间的距离(在本实施例中2_)。第一霍尔元件至第四霍尔元件配置成霍尔元件的感磁面的法线方向(感磁面的方向)大致相同。
[0071]在此所指的磁感应部中心表示各传感器部中的对称中心。另外,霍尔元件优选设置在聚磁板下端。然而，如果是能够得到有效地进行旋转检测所需的灵敏度的配置，则并不限定于此。另外，聚磁板与霍尔元件优选相对于通过各传感器部的磁感应部中心的与YZ平面平行的镜面具有镜像关系。然而，如果是有效地去除后述的干扰偏移、对Duty性能没有大的影响的范围，则并不限定于此。
[0072]另外，在本实施例中使磁体的间距A与磁感应部中心之间距离B—致。这是为了对各个磁感应部中心输入相位相差180度的磁场。此外，定义为传感器部位于XY平面上。
[0073]图4是用于说明图3示出的聚磁板的作用的图。在此，使用图4说明聚磁板的效
果O
[0074]图4示出聚磁板设置在均匀水平磁场中的情况下的磁路径的样子。聚磁板具有将水平磁场变换为垂直磁场的特性，如图4所示，水平磁场在霍尔元件部被方向变换为垂直磁场。聚磁板配置在第一至第四霍尔元件的附近，使得将相对于第一霍尔元件的感磁面和第二霍尔元件的感磁面在水平方向上产生的磁场矢量变换为相对于第一霍尔元件的感磁面和第二霍尔兀件的感磁面为垂直方向且在各个感磁面处方向相反的磁场矢量，将相对于第三霍尔元件的感磁面和第四霍尔元件的感磁面在水平方向上产生的磁场矢量变换为相对于第三霍尔元件的感磁面和第四霍尔元件的感磁面为垂直方向且在各个感磁面处方向相反的磁场矢量。此时，当使用图3和图4示出的聚磁板7那样的形状和尺寸时，施加到各传感器部的水平磁场强度被施加某一系数倍地变换为垂直磁场。在霍尔元件感磁面的大小为30 μ mX 30 μ m时,该系数大致为7.3倍左右。将该系数称为磁放大率。该系数依赖于聚磁板形状和尺寸。另外，垂直的z方向的磁场也多少被放大而输入到聚磁板下端，大致成为1.2 倍。
[0075]在此，作为图4那样镜面对称地设置聚磁板的主要理由在于，还形成能够使磁放大率明显提高的磁电路，并且通过对各霍尔元件的输出信号进行运算分解z方向的磁场和X方向的磁场来进行检测以及去除后述的干扰磁场的影响，在后文中进行详细说明。在形成非对称的聚磁板的情况下，上述磁放大率根据各聚磁板的形状、尺寸不同而不同，因此去除干扰磁场的影响的效果恶化或者无法准确地进行基于运算的Z方向、X方向的分解。根据图4可知，对于施加到各霍尔元件的磁场强度，在空间上均匀的水平磁场时被进行方向变换以沿z方向负向对I(LL)施加磁场而沿z方向正向对I(LR)施加磁场的方式。即，在施加正弦波磁场时，相位差成为180度。另外,在施加空间上均勻的垂直方向(z方向正侧)磁场的情况下，沿z方向正向对I(LL)和I(LR)输入磁场。即，在沿垂直方向施加正弦波磁场的情况下，相位差成为O度。
[0076]利用该原理，在想要检测水平磁场(X方向)的情况下，通过对霍尔元件I(LL)和1(L和I(LR)的R)的信号进行减运算能够进行检测，在想要检测垂直磁场(z方向)的情况下加上霍尔元件I(LL)信号能够进行检测。由此，在本实施例的形状的情况下，能够检测X、z方向两轴的磁场。另外，在本实施例中，使用了在图3中使用的形状，但是能够使用图
5、图16以及图17那样的聚磁板形状，其原理与上述原理相同。另外，该原理对于霍尔元件
I(RL)和I (RR)也是相同的，能够检测X、z方向两轴的磁场。
[0077]图7是表示被检测体与霍尔元件的配置关系的侧视图，图8是用于说明实施例1中的磁场测量装置的俯视图。
[0078]图7和图8中的附图标记A表示多极磁体的N极与S极的间距距离(在本实施例中2mm)。16为作为被旋转体(被检测体)的12极环形磁体，17为被旋转体的旋转轴，另外Θ I为旋转角。此外，定义为旋转轴与Z轴平行，定义为旋转轴绕旋转轴线18旋转。另外，当前标记的图表示将旋转角度定义为O度而向图中的逆时针方向旋转的样子。多极环形磁体16沿其磁化方向移动、旋转。
[0079]另外，各个磁感应部中心11、12处于由多极环形磁体16的内径与外径之间的中点构成的圆19上的XY坐标上附近，离环形磁体某一距离。此时，传感器基板与环形磁体面大致平行。
[0080]另外，第一至第四霍尔元件沿多极环形磁体的磁化方向大致呈直线状地配置。
[0081]图6是表示磁场测量装置中的检测磁场的内部信号的图，是表示各霍尔元件的信号流的图。
[0082]在图6中，将来自霍尔元件I (LL)的输出电压设为Vl (LL)，将来自霍尔元件I (LR)的输出电压设为Vl (LR)，将来自霍尔元件I (RL)的输出电压设为Vl (RL)，将来自霍尔元件I (RR)的输出电压设为Vl (RR)，另外，将取Vl (LR)与Vl (LL)之差的结果设为V2，将取Vl (RL)与Vl (RR)之差的结果设为V3，将取Vl (LL)与Vl (LR)之和的结果设为V4，将取Vl (RL)与Vl (RR)之和的结果设为V5，而且将取V2与V3之差的结果设为V (O)，将取V4与V5之差的结果设为V (90)。
[0083]将这些信号输入到进行放大的信号放大部、进行信号的比较的信号比较部、分析比较状态的比较运算部、制作输出状态的输出形成部以及进行最终输出的输出部。在后文中具体说明详细情况。[0084]在图1和图8中，12极磁体施加到传感器部9中的磁感应部中心11和传感器部10中的磁感应部中心12的磁场随着多极环形磁体向逆时针方向旋转而如以下式那样能够以正弦波、余弦波来近似表示。
[0085][数I]
[0086]B ± (9) =-B1 OX cos Θ+Bzoffset (t)) *..(1)
[0087]B丄(IO)=B' OXcos Θ +Bzoffset (t)...(2)
[0088]B// (9) =BOX sin Θ +Bxoffset (t)...(3)
[0089]B//(10) =-B0X sin Θ +Bxoffset (t)...(4)
[0090]在此，式(I)表示输入到图3示出的磁感应部中心11的与传感器面垂直的z方向的磁通密度,式(2)表示输入到磁感应部中心12的与传感器面垂直的z方向的磁通密度，式(3)表不输入到磁感应部中心11的与传感器面水平的X方向的磁通密度，式(4)表不输入到磁感应部中心12的与传感器面水平的X方向的磁通密度，B’ O表示环形磁体16所输出的垂直的z方向的磁通密度振幅，BO表示环形磁体16所输出的水平的X方向的磁通密度振幅,Bzoffset (t)表示某一时刻的z方向的干扰磁场(磁噪声)，Bxoffset (t)表示某一时刻的X方向的干扰磁场(磁噪声)。在此，忽略了 y方向的干扰磁场(磁噪声)，但是这是由于传感器无法检测y方向的 磁场。另外，在此所说的Θ为电角度，在本次那样的偶数多极磁体的情况下，Θ为将旋转角度(机械角)Θ I与极数N的一半相乘得到的θ = θ1ΧΝ/2。
[0091]被施加上述[数I]那样的磁场的传感器部9、10通过聚磁板的效果使与传感器面水平的磁通密度成为K倍(设为来自水平磁场的垂直磁场变换率)并变换为与霍尔元件感磁面垂直的磁场。另外，使与传感器面垂直的磁通密度成为K’倍(设为垂直磁场放大率)并成为与霍尔元件感磁面垂直的磁场。
[0092]由此，施加到霍尔元件I (LL)、I (LR)、I (RL)、I (RR)的与感磁面垂直的磁场分别成为下式。
[0093][数2]
【权利要求】
1.一种磁场测量装置，检测从磁场产生体产生的磁场的强度，其特征在于，具备: 第一磁电变换元件至第四磁电变换元件； 由磁性体构成的聚磁板；以及 计算部，其计算相对于上述磁电变换元件的感磁面在水平方向和/或垂直方向上施加的磁场的强度， 其中，上述聚磁板配置在上述第一磁电变换元件至上述第四磁电变换元件的附近，以将相对于上述第一磁电变换元件的感磁面和上述第二磁电变换元件的感磁面沿水平方向产生的磁场矢量变换为相对于上述第一磁电变换兀件的感磁面和上述第二磁电变换兀件的感磁面为垂直方向且在各个感磁面上方向相反的磁场矢量，并且，将相对于上述第三磁电变换元件的感磁面和上述第四磁电变换元件的感磁面沿水平方向产生的磁场矢量变换为相对于上述第三磁电变换元件的感磁面和上述第四磁电变换元件的感磁面为垂直方向且在各个感磁面上方向相反的磁场矢量， 上述计算部具有第一计算块，该第一计算块对上述第一磁电变换元件至上述第四磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果。
2.一种磁场测量装置，检测从磁场产生体产生的磁场的强度，其特征在于，具备: 第一磁电变换元件至第四磁电变换元件；以及 计算部，其计算相对于上述磁电变换元件的感磁面在水平方向和/或垂直方向上施加的磁场的强度， 其中，上述计算部具备: 第一计算块，其对上述第一磁电变换元件至上述第四磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果；以及 第二计算块，其对上述第一磁电变换元件至上述第四磁电变换元件的输出进行加减运算，计算与上述第一计算块的输出信号相位相差90度的信号，输出计算结果。
3.根据权利要求1或者2所述的磁场测量装置，其特征在于， 上述第一计算块具备:第一加减运算块，其对上述第一磁电变换元件和上述第二磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果；第二加减运算块，其对上述第三磁电变换元件和上述第四磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果；以及第三加减运算块，其对上述第一加减运算块的输出和上述第二加减运算块的输出进行加减运算，输出计算结果O
4.根据权利要求1或者2所述的磁场测量装置，其特征在于， 上述第一计算块具备:第一加减运算块，其对上述第一磁电变换元件和上述第三磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果；第二加减运算块，其对上述第二磁电变换元件和上述第四磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果；以及第三加减运算块，其对上述第一加减运算块的输出和上述第二加减运算块的输出进行加减运算，输出计算结果O
5.根据权利要求1~4中的任一项所述的磁场测量装置，其特征在于， 上述计算部具有第二计算块，该第二计算块对上述第一磁电变换元件至上述第四磁电变换元件的输出进行加减运算，计算与上述第一计算块的输出信号相位不同的信号。
6.根据权利要求5所述的磁场测量装置，其特征在于，上述第一计算块的输出信号与上述第二计算块的输出信号的相位差为90度。
7.根据权利要求5或者6所述的磁场测量装置，其特征在于， 上述第二计算块具备:第四加减运算块，其对上述第一磁电变换元件和上述第二磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果；第五加减运算块，其对上述第三磁电变换元件和上述第四磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果；以及第六加减运算块，其对上述第四加减运算块的输出和上述第五加减运算块的输出进行加减运算，输出计算结果O
8.根据权利要求5或者6所述的磁场测量装置，其特征在于， 上述第二计算块具备:第四加减运算块，其对上述第一磁电变换元件和上述第三磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果；第五加减运算块，其对上述第二磁电变换元件和上述第四磁电变换元件的输出进行加减运算，输出计算结果；以及第六加减运算块，其对上述第四加减运算块的输出和上述第五加减运算块的输出进行加减运算，输出计算结果O
9.根据权利要求1~8中的任一项所述的磁场测量装置，其特征在于， 上述第一磁电变换元件至上述第四磁电变换元件大致配置成直线状。
10.根据权利要求1~9中的任一项所述的磁场测量装置，其特征在于， 上述计算部对上述磁场产生体的位置、移动或者旋转进行检测。
11.根据权利要求10所述的磁场测量装置，其特征在于， 上述计算部根据上述第一计算·块的输出来检测上述磁场产生体的位置、移动或者旋转。
12.根据权利要求10或者11所述的磁场测量装置，其特征在于， 上述计算部根据将上述第一计算块的输出信号形成为脉冲波形而得到的信号来检测上述磁场产生体的位置、移动或者旋转。
13.根据权利要求5~8中的任一项所述的磁场测量装置，其特征在于， 上述计算部根据上述第一计算块的输出和上述第二计算块的输出来检测上述磁场产生体的位置、移动或者旋转。
14.根据权利要求1~13中的任一项所述的磁场测量装置，其特征在于， 还具备磁场产生体， 该磁场产生体是能够移动和/或能够旋转的多极磁化的磁体，或者是由设置在上述第一磁电变换元件至上述第四磁电变换元件的附近的反偏压磁体和能够移动和/或能够旋转的齿轮齿构成的结构体。
15.根据权利要求1~13中的任一项所述的磁场测量装置，其特征在于， 还具备磁场产生体， 该磁场产生体是由设置在上述第一磁电变换元件至上述第四磁电变换元件的附近的反偏压磁体和能够移动和/或能够旋转的齿轮齿构成的结构体， 上述第一磁电变换元件至上述第四磁电变换元件配置在被上述反偏压磁体与上述齿轮齿夹持的位置。
【文档编号】G01D5/245GK103718056SQ201280038311
【公开日】2014年4月9日 申请日期:2012年7月27日 优先权日:2011年7月29日
【发明者】冈本润一郎, 高桥新 申请人:旭化成微电子株式会社