技术总结
本发明提供了一种用于测量具有样品表面的样品的X射线衍射的方法和装置。X射线衍射方法在样品(10)的表面(14)上沿着照射带(16)照射射束(4)。X射线被所述样品(10)衍射并通过具有基本上垂直于所述带(16)延伸的狭缝的掩模(20)。通过二维X射线检测器检测X射线，从而测量沿着所述带(16)的不同位置的衍射X射线。
技术研发人员：D·贝克尔斯;M·歌特斯凯
受保护的技术使用者：帕纳科有限公司
文档号码：201310069293
技术研发日：2013.02.28
技术公布日：2017.05.03