振动片、电子装置以及电子设备的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种振动片、以及使用了该振动片的电子装置、电子设备，所述振动片为，即使小型化也能够降低振动泄漏的振动片。本发明的振动片（10）的特征在于，具备：振动体（基部（12）、振动臂（16）、检测臂（20））；支承部（26），其通过板状的连结部（24）而对所述振动体进行支承，在所述连结部（24）的两个主面上设置有槽（第一槽（28）、第二槽（30）），配置于所述连结部（24）的一个主面上的第一槽（28）与配置于另一个主面上的第二槽（30）被配置于，在俯视观察时互不相同的位置上。
【专利说明】振动片、电子装置以及电子设备
【技术领域】
[0001]本发明涉及ー种振动片，特别是涉及一种减少了振动泄漏的振动片、以及使用了该振动片的电子装置、电子设备。
【背景技术】
[0002]一直以来，作为用于检测旋转系统的旋转角速度的角速度传感器，利用了振动型陀螺传感器，所述振动型陀螺传感器使用了压电振动片、或将压电振动片收纳于容器中的振子。振动型陀螺传感器被利用于车辆导航、或静态照相机(still camera)的手抖的检测
坐寸o
[0003]振动型压电陀螺传感器中所使用的压电振动片使用了如下的压电振动片，S卩，通过在同一平面内延伸的多个振动臂、和将这些振动臂结合的基部所构成的压电振动片。振动型压电陀螺传感器通过驱动电路而使压电振动片进行驱动振动，通过检测电路来检测根据旋转角速度而产生的检测振动，并输出电信号。驱动振动在多个振动臂的全部或一部分中产生。当向压电振动片施加旋转角速度时，在正在进行驱动振动的振动臂上，科里奥利力将在与驱动振动方向成直角的方向上发挥作用，从而在多个振动臂的全部或一部分上产生与旋转角速度相对应的检测振动。
[0004]现有的压电振动片采用如下的结构，S卩，在将相互正交的轴设为X轴、Y轴时，具有从基部起沿着X轴而向两侧延伸的ー对连结臂、从基部起沿着Y轴而向两侧延伸的ー对检测臂、从连结臂中的每ー个起沿着Y轴而向两侧延伸的ー对振动臂，并且通过连结部而对基部与支承部进行连结(參照专利文献I)。
[0005]在这种压电振动片中，由于在压电振动片驱动时，振动臂进行振动，因此存在该振动经由连结部而向支承部泄漏的情況。因此，在专利文献I中，将连结部设置为S字形状，从而使连结部上的从基部到支承部的路径弯曲而加长。由此，増大了在连结部中于振动臂上产生并经由基部而泄漏的振动的、在连结部中的缓和量，从而減少了向支承部泄漏出的
振动量。
[0006]但是，由于压电振动片的小型化，从而连结部也被小型化，因此连结部上的从基部到支承部的路径缩短。因此，连结部对振动的缓和量将变小，从而向支承部泄漏出的振动量将变大。由此，振动臂的激励效率或共振频率的温度特性将发生恶化。
[0007]专利文献1:日本2010 — 256332号公报
【发明内容】
[0008]因此，本发明着眼于上述问题点，其目的在于，提供一种即使小型化也能够减少振动泄漏的振动片、以及使用了该振动片的电子装置、电子设备。
[0009]本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的发明，可以作为以下应用例而实现。
[0010]应用例I[0011]ー种振动片，其特征在于，具备:振动体；支承部，其通过板状的连结部而对所述振动体进行支承，在所述连结部的两个主面上设置有槽，配置于所述连结部的一个主面上的槽与配置于另ー个主面上的槽被配置于，在俯视观察时互不相同的位置上。
[0012]根据上述结构，连结部在厚度方向上也具有弯曲的形状。由此，连结部中的振动的传播路径也将仿照连结部的厚度方向的形状而在连结部的厚度方向上弯曲。因此，不必使连结部肥大化，便能够加长连结部上的从振动体向支承部的振动的传播路径。因此，即使将振动片小型化，也能够进一歩增大对来自振动体的振动的缓和量，从而減少向支承部的振动泄漏。
[0013]应用例2
[0014]如应用例I所述的振动片，其特征在于，配置于所述连结部的一个主面上的槽的深度与配置于另ー个主面上的槽的深度之和，具有与所述连结部的厚度相比较大的值。
[0015]根据上述结构，由于从振动体朝向支承部的振动仅成为通过槽而在连结部的厚度方向上被弯曲且在连结部中传播的成分，因此能够进ー步減少向支承部的振动泄漏。
[0016]应用例3
[0017]如应用例I或2所述的振动片，其特征在于，所述连结部在与所述连结部的厚度方向正交的方向上弯曲。
[0018]根据上述结构，由于连结部成为在其面方向上弯曲的形状，因此连结部中的振动的传播路径也在其面方向上弯曲。因此，能够进一歩加长连结部上的从振动体向支承部的振动的传播路径。
[0019]应用例4
[0020]如应用例I至3中任一例所述的振动片，其特征在于，所述槽沿着所述连结部上的、从所述振动体至所述支承部的振动的传播路径而排列并配置有多个。
[0021]根据上述结构，由于从振动体朝向支承部的振动在重复连结部的厚度方向上的弯曲的同时于连结部中传播，因此能够有效地減少向支承部的振动泄漏。
[0022]应用例5
[0023]如应用例I至4中任一例所述的振动片，其特征在于，在将相互正交的方向设为第一方向、第二方向时，所述振动体具有:与所述连结部连接的基部；从所述基部起在所述第一方向上且相互向相反方向延伸的ー对连结臂；从各个所述连结臂的顶端起在所述第二方向上且相互向相反方向延伸的各ー对振动臂；从所述基部起在所述第二方向上且相互向相反方向延伸的ー对检测臂。
[0024]根据上述结构，所述振动片成为能够减少向支承部的振动泄漏的、所谓的WT型的振动片。
[0025]应用例6
[0026]一种电子装置，其特征在于，搭载了应用例I至5中任一例所述的振动片。根据上述结构，所述电子装置成为减少了振动泄漏的电子装置。
[0027]应用例7
[0028]ー种电子设备，其特征在于，搭载了应用例I至5中任一例所述的振动片。
[0029]根据上述结构，所述电子设备成为减少了振动泄漏的电子设备。【专利附图】
【附图说明】
[0030]图1为本实施方式的振动片的俯视图。
[0031]图2为表示本实施方式的振动片的动作(无角速度)的图。
[0032]图3为表示本实施方式的振动片的动作(有角速度)的图。
[0033]图4为构成本实施方式的振动片的连结部的剖视图(其一)。
[0034]图5为构成本实施方式的振动片的连结部的剖视图(其ニ)。
[0035]图6为构成本实施方式的振动片的连结部的剖视图(其三)。
[0036]图7为表示在本实施方式的振动片上所形成的电极的制造エ序(其一)的图。
[0037]图8为表示在本实施方式的振动片上所形成的电极的制造エ序(其ニ)的图。
[0038]图9为表示在本实施方式的振动片上所形成的电极的制造エ序(其三)的图。
[0039]图10为搭载了本实施方式的振动片的电子装置的剖视图。
[0040]图11为搭载了本实施方式的振动片的电子设备的模式图。
【具体实施方式】
[0041]以下，使用附图所示的实施方式对本发明进行详细说明。但是，对于在该实施方式中所记载的结构要素、种类、组合、形状、其相对配置等，只要没有特定的记载，则并不旨在将该发明的范围仅限于此，而只不过为说明示例。另外，在附图及以下的说明中，设定X轴(第一方向)、Y轴(第二方向)、Z轴为相互正交的轴。
[0042]在图1中，图示了本实施方式的振动片的俯视图。本实施方式的振动片通过水晶等压电材料而形成。如图1所示，振动片为所谓的WT型的陀螺传感器。振动片10通过振动体(基部12、振动臂16 (16A?16D)、检测臂20 (20A、20B)等)、支承部26 (26A、26B)、连结部24而构成。
[0043]虽然详细内容将在后文叙述，但在本实施方式的振动片10中，具有如下特征，即，在连结部24的两个主面(朝向Z轴的面)上，配置有在将连结部24分离成与振动体连接的部分和与支承部26连接的部分的方向上延伸的槽(第一槽28、第二槽30)，并且配置于连结部24的一个主面上的第一槽28与配置于另ー个主面上的第二槽30被配置于，在俯视观察时(从Z轴方向观察时)互不相同的位置上。
[0044]根据上述结构，连结部24在厚度方向上也具有弯曲的形状。由此，连结部24中的振动的传播路径也将仿照连结部24的厚度方向的形状，而在连结部24的厚度方向上弯曲。因此，不必使连结部24肥大化，便能够进一歩加长连结部24上的、从振动体向支承部26的振动的传播路径。因此，即使将振动片10小型化，也能够进ー步增大对来自振动体的振动的缓和量，从而減少向支承部26的振动泄漏。以下，对本实施方式进行详细说明。
[0045]在本实施方式的振动片10的中央部处配置有矩形的基部12。从基部12的+ X轴侧的边缘起向+ X轴方向延伸出了连结臂14A。从基部12的一 X轴侧的边缘起向一 X轴方向延伸出了连结臂14B。从连结臂14A的顶端的+Y轴侧的边缘起向+Y轴方向延伸出了振动臂16A，并且从连结臂14A的顶端的一 Y轴侧的边缘起向一 Y轴方向延伸出了振动臂16B。同样地，从连结臂14B的顶端的+ Y轴侧的边缘起向+ Y轴方向延伸出了振动臂16C，并且从连结臂14B的顶端的一 Y轴侧的边缘起向一 Y轴方向延伸出了振动臂16D。
[0046]此外，从基部12的+ Y轴侧的边缘起向+ Y轴方向延伸出了检测臂20A，并且从基部12的一 Y轴侧的边缘起向一 Y轴方向延伸出了检测臂20B。并且，振动臂16A?16D的顶端部18被形成为，宽度与振动臂16A?16D的其他部分相比较宽，同样地，检测臂20A、20B的顶端部22被形成为，宽度与检测臂20A、20B的其他部分相比较宽。
[0047]另ー方面，从基部12的+X轴侧的边缘的+Y轴侧的部分起延伸出了连结部24A，并且从基部12的+ X轴侧的边缘的一 Y轴侧的部分起延伸出了连结部24B。同样地，从基部12的一 X轴侧的边缘的+ Y轴侧的部分起延伸出了连结部24C，并且从基部12的+ X轴侧的边缘的ー Y轴侧的部分起延伸出了连结部24D。此外，在与振动臂16A、16C的顶端部18及检测臂20A的顶端部22相比靠+ Y轴侧的位置处，配置有支承部26A，并且在与振动臂16B、16D的顶端部18及检测臂20B的顶端部22相比靠ー Y轴侧的位置处，配置有支承部 26B。
[0048]连结部24 (24A?24D)为，具有如图1所示这样，在XY面内(与连结部24的厚度方向正交的方向)弯曲成S字状(也可以为其他形状)的板形状，且受カ将发生变形的部件。连结部24 (24A?24D)被配置为，不与进行振动的振动臂16A?16D及检测臂20A、20B发生干渉。连结部24A、24C与支承部26A连接，连结部24B、24D与支承部26B连接。由于连结部24具有弯曲成S字状的形状，从而从基部12起经由连结部24至支承部26的振动的传播路径也将仿照连结部24的形状而成为弯曲成S字状的形状。因此，能够加长连结部24上的振动的传播路径，从而能够使连结部24中的振动的缓和量増大。
[0049]本实施方式的振动片10具有主面，所述主面为，基部12、连结臂14A、14B、振动臂
16、检测臂20、连结部24、支承部26分别在XY面上相互处于同一平面上而形成的面(以Z轴为法线的面)。因此,振动片10能够通过仿照振动片10的外形来对包含振动片10的外形在内的板状的部件(水晶基板)进行蚀刻而形成。
[0050]在振动臂16的朝向Z轴侧的两个主面及朝向X轴侧的两个侧面上配置有激励电极(未图示)。在连结臂14A、14B上配置有与激励电极(在图1中未图示)连接的引出电极(未图示)，并且该引出电极向基部12延伸。在检测臂20A、20B的两个主面上配置有检测电极(未图示)，并且与检测电极(未图示)连接的引出电极(未图示)被配置在基部12上。这些引出电极(未图示)向连结部24及支承部26延伸，并且与被配置于支承部26的连接电极(未图示)连接。此外，在顶端部18、22的两个主面(也可以为单面)上，分别配置有用于对振动臂16及检测臂20的共振频率进行调节的调节电极(在图1中未图示)。本实施方式的振动片10成为如下状态，S卩，支承部与封装件接合，且基部12、连结臂14A、14B、振动臂16、检测臂20通过连结部24而被悬吊的状态(參照图10)。
[0051]在上述结构中，通过向与激励电极(未图示)电连接的连接电极(未图示)施加交流电压，从而使振动臂16如后文所述那样以预定的共振频率进行振动。此外，当向振动片10施加了绕Z轴的角速度吋，将能够从与检测电极(未图示)电连接的连接电极(未图示)取得如后文所述那样由于科里奥利力而产生的检测信号。
[0052]在图2中，图示了本实施方式的振动片的动作(无角速度)，在图3中，图示了本实施方式的振动片的动作(有角速度)。如图2所示，在未施加有角速度的状态下，振动臂16A?16D在附图中的用箭头标记A表示的方向上进行弯曲振动。该弯曲振动以预定的共振频率重复用实线表示的振动形态、和用虚线表示的振动形态。此时，由于由振动臂16A及16B构成的振动系统与由振动臂16C及16D构成的振动系统进行关于穿过重心G的Y轴线対称的振动，因此基部12、及检测臂20A、20B几乎不进行振动。
[0053]当在进行该振动的状态下向振动片10施加绕Z轴的角速度时，将进行如图3所示的振动。即，在振动臂16A?16D上，科里奥利カ在箭头标记B方向上发挥作用，由此，连结臂14A在箭头标记B方向上从振动臂16A、16B受到力，并且连结臂14B在箭头标记B方向上从振动臂16C、16D受到力，从而激发了新的振动。该箭头标记B方向上的振动为，以重心G为中心的周向上的振动。与该周向上的振动联动，从而在检测臂20A、20B上激发出箭头标记C方向上的检测振动。而且，通过经由被配置于检测臂20A、20B上的检测电极(未图示)而对因检测臂20A、20B的压电材料的变形所产生的电压进行检测，从而求出角速度，所述检测臂20A、20B的压电材料的变形是由于上述振动而产生的。
[0054]此时，基部12的边缘部将沿箭头标记D，而以重心G为中心在周向上进行振动。这是由于检测振动不仅是由振动臂16A?16D及连结臂14A、14B构成的振动系统与检测臂20A、20B之间的平衡振动，而且也是包含了基部12的平衡振动。虽然用该箭头标记D表示的基部12的边缘部的振动振幅，与用箭头标记B表示的由振动臂16A?16D及连结臂14A、14B构成的振动系统的振动振幅、或用箭头标记C表示的检测臂20A、20B的振动振幅相比较为微小，但例如在粘合固定了基部12的情况下，由于该固定而抑制了基部12的边缘部的振动，也抑制了检测振动。由此，由于对基部12进行支承，从而角速度的检测灵敏度降低。
[0055]但是，在本实施方式中，基部12被通过受カ而产生变形的连结部24支承。因此，通过连结部24受カ变形，从而减少了对基部12的边缘部在箭头标记D方向上的振动的抑制，由此能够抑制角速度的检测灵敏度的降低。
[0056]在图4?图6中，图示了构成本实施方式的振动片的连结部的剖视图。如图4?图6所示，在连结部24的+ Z轴侧的面上形成有第一槽28，在一 Z轴侧的面上形成有第二槽30。连结部24连结了基部12与支承部26。因此，在振动臂16中产生的振动将经由连结臂14A、14B、基部12而在连结部24中传播，从而沿着到达支承部26的路径传播。
[0057]被配置于连结部24上的第一槽28及第ニ槽30以对由连结部24实施的对基部12与支承部26的连结进行分离的方式，而在对连结部24进行分割的方向上延伸，且被配置成到达连结部24的两个侧面(參照图1)为止。此外，第一槽28、第二槽30被配置于，在俯视观察时(从Z轴方向观察时)互不相同的位置上。由此，由于连结部24具有在厚度方向(Z轴方向)上弯曲的形状，从而连结部24上的振动的传播路径也具有仿照连结部24的厚度方向的弯曲形状而在厚度方向上弯曲的形状。由此，由于不必使连结部24在XY面方向上肥大化，便能够加长连结部24中的振动的传播路径，因此能够在连结部24的传播路径中有效地缓和从基部12泄漏出的振动。
[0058]此外，第一槽28、第二槽30分别沿着连结部24上的、从基部12向支承部26的振动的XY面内的传播路径，而以预定的间隔配置有多个。由此，由于连结部24上的振动的传播路径重复在连结部24的厚度方向上弯曲的形状，因此传播路径进一步加长，从而能够进一步有效地实施对振动的缓和。
[0059]但是，在图4中，第一槽28及第ニ槽30的深度均小于连结部24的厚度的一半大小。因此，如图4中的虚线所示，在传播于连结部24的振动中，其传播路径除了具有仿照连结部24的厚度方向上的弯曲形状而在厚度方向上变化的成分(图4中的实线的箭头标记)之外，还具有在连结部24的厚度方向上不发生变化的成分(图4中的虚线的箭头标记)，从而认为存在由连结部24实施的对振动的缓和不充分的情況。因此，优选采用如下结构，即，如图5、6所示，将振动的传播路径在连结部24的厚度方向上不发生变化的成分截断，从而仅成为在连结部24的厚度方向上发生变化的成分(图5、图6中的实线的箭头标记)的结构。
[0060]在此情况下，在将第一槽28的深度设为Dl、将第二槽30的深度设为D2、将连结部24的Z轴方向上的厚度设为T时，只需以满足T < (D1 + D2)的关系的方式确定Dl及D2的值即可。例如，在图5中为，Dl = D2 XT / 2)的情况，在图6中为，Dl <(T / 2)< D2且T <(D1 + D2)的情况。
[0061]根据上述结构，由于从基部12朝向支承部26的振动仅为，通过第一槽28及第二槽30而在连结部24的厚度方向上被弯曲，且于连结部24中传播的成分，因此能够进ー步減少向支承部26的振动泄漏。无论在哪ー种情况下，第一槽28、第二槽30均可以通过半蚀刻而形成。
[0062]在图7-图9中，图示了在本实施方式的振动片上所形成的电极的制造工序(其一、其二、其三)。如上文所述，在振动片10的表面上配置有激励电极、检测电极、引出电极、连接电极、调节电极。其中，除调节电极以外，其他电极是通过如下方式而形成的，即，利用溅射法等而以Cr层、Au层的顺序进行堆积，并仿照各种电极的形状而实施光刻加工的方式。另ー方面，调节电极是通过如下方式而形成的，即，将仅在振动片10上的调节电极的形成区域开口的掩膜覆盖在振动片10上，并在其形成位置处通过真空蒸镀而形成Au层的方式。
[0063]虽然振动片10能够通过在利用蚀刻形成外形之后利用上述方法形成电极而获得，但需要进行对共振频率等振动片10的特性的调节。此时，通过使用激光等切除调节电极的一部分，来对振动臂16的顶端部18侧、检测臂20的顶端部22侧的重量进行调节，从而实施对特性的调节。
[0064]但是，由于在通过掩膜而实施的对调节电极的形成位置的定位会产生偏差，因此即使如上文所述那样实施了对调节电极的切除，也很难抑制振动片10的特性的偏差。因此，在本实施方式中，通过在利用真空蒸镀形成了调节电极之后，针对调节电极实施光刻加工而调节其外形，从而降低了调节电极的形状及位置的偏差。以下，对其制造工序进行说明。
[0065]如图7 (a)所示，通过蚀刻而形成振动片10的外形。在此，在图7-图9中，图示了作为振动片10的一部分的、振动臂16 (或检测臂20)的剖视图。此外，其右侧部分为顶端部18 (或顶端部22)且设置有调节电极42 (图8 (d))的形成区域，左侧部分为除振动臂16的顶端部18以外的部分且设置有激励电极46 (图8 (c))的形成区域(或检测电极的形成区域)。
[0066]如图7 (b)所示，在振动臂16 (振动片10)的表面上，通过溅射法而依次形成有Cr层32、Au层34，如图7 (c)所示，在其上涂覆抗蚀剂膜36。如图7 (d)所示，对抗蚀剂膜36中除振动片10的电极图案以外的部分进行曝光，且将曝光了的部分去除。此时，虽然顶端部18被抗蚀剂膜36所覆盖，但抗蚀剂膜36被图案形成为，包含调节电极42 (图8 (d?的形成区域。
[0067]如图7 (e)所示，通过蚀刻而将Cr层32及Au层34的从抗蚀剂膜36露出的部分去除，如图7 (f)所示，将剩余的抗蚀剂膜36去除。如图7 (g)所示，将以包含调节电极42的形成区域在内的区域作为开ロ部的掩膜(未图示)覆盖在振动片10上，并通过真空蒸镀而形成Au层38。
[0068]如图8 Ca)所示，用抗蚀剂膜40对振动臂16 (振动片10)连同被形成于振动臂16 (振动片10)上的金属膜一起进行覆盖，如图8 (b)所示，对抗蚀剂膜40的、与调节电极42的形成区域重叠的部分以外的部分进行曝光，并将曝光部分去除。如图8 (c)所示，使用KI或I2等的蚀刻液，以留下Cr层32的方式对Au层34、Au层38的从抗蚀剂膜40露出的部分进行蚀刻，如图8 (d)所示，通过将抗蚀剂膜40去除从而图案形成调节电极42。调节电极42为Au层34和Au层38的层叠结构。由于以此种方式形成调节电极42，能够通过光刻加工的位置精度而实施对调节电极42的定位，因此能够降低调节电极42的制造偏差，从而抑制振动片10的特性的偏差。
[0069]但是，通过溅射法而形成的Au层34的厚度为IOnm级，而通过真空蒸镀而形成的Au层38的厚度为I ii m级。因此，当仅通过Au层34和Au层38的层叠结构来形成调节电极42时，存在对共振频率等的微调较困难的情況。因此，如图9所示，如下方式也为优选，即，在顶端部18的ー侧表面上对Au层34和Au层38的层叠结构进行图案形成而形成调节电极42，且在其相反面上对通过溅射法所形成的Au层34进行图案形成而形成调节电极44。
[0070]在将本实施方式的振动片的制造进行至图7 (g)所示的エ序之后，如图9 Ca)所示，用抗蚀剂膜40对振动臂16 (振动片10)连同被形成在振动臂16 (振动片10)上的金属膜一起进行覆盖。如图9 (b)所示，对于抗蚀剂膜40的覆盖顶端部18的ー侧表面的部分，对处于配置有通过真空蒸镀而形成的Au层38的区域的内侧的、与调节电极42的形成区域重叠的部分以外的部分进行曝光，并将曝光部分去除，并且对于抗蚀剂膜40的覆盖顶端部18的相反面的部分，对处于配置有通过溅射法而形成的Au层34的区域的内侧的、与调节电极44的形成区域重叠的部分以外的部分进行曝光，并将曝光部分去除。
[0071]如图9 (c)所示，使用KI或I2等的蚀刻液，以留下Cr层32的方式而对Au层34、38的从抗蚀剂膜40露出的部分进行蚀刻，如图9 Cd)所示，通过去除抗蚀剂膜40，从而在顶端部18的ー侧表面上图案形成有由Au层34和Au层38的层叠结构所构成的调节电极42，并在其相反面上图案形成有由Au层34构成的调节电极44。
[0072]任意ー个调节电极42、44的定位，均能够与上文所述相同地，通过光刻加工的位置精度来实施。在此情况下，能够通过使用激光将调节电极42的一部分去除从而进行对共振频率的粗调，并通过使用激光将调节电极44的一部分去除从而进行对共振频率的微调。
[0073]在图10中，图示了搭载了本实施方式的振动片的电子装置的剖视图。本实施方式的电子装置50为，将振动片10及集成电路58收纳于封装件52的凹部54中，并通过盖体60覆盖凹部54的开ロ部从而将振动片10真空密封的电子装置。另外，在图10所不的电子装置50的剖视图之中，振动片10的剖视图为图1中的A — A线剖视图。
[0074]振动片10以与盖体60分离的状态而被收纳于封装件52的凹部54中。此外，支承部26被接合于封装件52上，除此以外的部分以与封装件52的底面及集成电路58分离的状态而被配置。集成电路58与如下连接电极电连接，即，被配置干支承部26且与激励电极电连接的连接电极、及与检测电极电连接的连接电极。此外，在封装件52的下表面上配置有安装电极56。安装电极56有如下电极，S卩，用于与集成电路58及盖体60电连接从而向集成电路58供给电カ的电极、用于施加对由集成电路58进行振荡而产生的振荡信号的振荡频率进行调节的电压的电极、用于输出在集成电路58中被放大的角速度的检测信号的电极、用于将盖体60接地的电极等。
[0075]在图11中，图示了搭载了本实施方式的电子部件的电子设备(移动终端)的模式图。在图11中，移动终端70 (包括PHS (Personal Handy-phone System,个人移动电话系统))具备多个操作按钮72、听筒74及话筒76，并且在操作按钮72与听筒74之间配置有显示部78。最近，在这种移动终端70中也具备附带手抖补偿功能的照相机。因此，在移动终端70中，为了检测用于手抖补偿功能的角速度而内置有本实施方式的振动片10或电子装置50。
[0076]另外，具备本实施方式的振动片10的电子设备除了能够应用于上述的移动终端70中之外，还可以应用于如下的装置中，即，多功能移动电话、数码照相机、个人计算机、膝上型个人计算机、电视机、摄像机、录像机、车辆导航装置、寻呼机、喷墨式喷出装置、电子记事本、台式电子计算机、电子游戏设备、文字处理器、工作站、可视电话、防盗用视频监视器、电子双筒望远镜、POS (point of sale:销售点)終端、医疗设备(例如，电子体温计、血压计、血糖仪、心电图测量装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探測器、各种测量设备、计量仪器类(例如，车辆、飞机、船舶的计量仪器类)、飞行模拟器等。
[0077]符号说明
[0078]10…振动片;12…基部;14A、14B…连结臂；16、16A-16D…振动臂;18…顶端部；
20、20A、20B…检测臂;22…顶端部;24、24A-24D…连结部;26、26A、26B…支承部;28…第ー槽;30…第二槽;32…Cr层；34…Au层；36...抗蚀剂膜；38…Au层；40...抗蚀剂膜；42…调节电极；44…调节电极；46…激励电极;50…电子装置;52…封装件；54…凹部;56…安装电极；58…集成电路； 60…盖体；70…移动终端；72…操作按钮；74…听筒；76…话筒；78…显示部。
【权利要求】
1.ー种振动片，其特征在于，具备: 振动体； 支承部，其通过连结部而对所述振动体进行支承， 在所述连结部的两个主面上设置有槽， 配置于所述连结部的一个主面上的槽与配置于另ー个主面上的槽被配置于，在俯视观察时互不相同的位置上。
2.如权利要求1所述的振动片，其特征在干， 配置于所述连结部的一个主面上的槽的深度与配置于另ー个主面上的槽的深度之和，具有与所述连结部的厚度相比较大的值。
3.如权利要求1所述的振动片，其特征在干， 所述连结部在与所述连结部的厚度方向正交的方向上弯曲。
4.如权利要求1所述的振动片，其特征在干， 所述槽沿着所述连结部上的、从所述振动体至所述支承部的振动的传播路径而排列并配置有多个。
5.如权利要求1所述的振动片，其特征在干， 在将相互正交的方向设为第一方向、第二方向时， 所述振动体具有: 与所述连结部连接的基部； 从所述基部起在所述第一方向上且相互向相反方向延伸的ー对连结臂； 从各个所述连结臂的顶端起在所述第二方向上且相互向相反方向延伸的各一对振动臂； 从所述基部起在所述第二方向上且相互向相反方向延伸的ー对检测臂。
6.一种电子装置，其特征在干， 搭载了权利要求1至5中任一项所述的振动片。
7.—种电子设备,其特征在于， 搭载了权利要求1至5中任一项所述的振动片。
【文档编号】G01C19/56GK103453897SQ201310219211
【公开日】2013年12月18日 申请日期:2013年6月4日 优先权日:2012年6月4日
【发明者】山口啓一, 大泽征司, 小仓诚一郎, 菊池尊行 申请人:精工爱普生株式会社