一种探针卡的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种探针卡，探针卡包括基板，于基板的表面设置有若干探针，基板的表面还设置有金属触点；于探针卡的内部还设置有识别芯片，该识别芯片与金属触点电连接；读写装置，读写装置用于读取探针卡上设置的识别芯片，其特征在于，读写装置对应金属触点位置设置有弹性触针，读写装置通过弹性触针与识别芯片电连接；通过本发明的使用，将识别芯片直接制作或镶嵌在探针卡内部，这样可以避免由于识别芯片安装偏离导致的测试头与探针卡之间的针脚连接异常，同时新的接触式设计排除信号干扰对探针卡信息读写的影响，用接触式连接还可以省去每次探针卡识别芯片从探针卡表面脱落后需要再次用胶将其粘回探针卡表面的繁琐动作。
【专利说明】一种探针卡
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种微电子电性能测试领域，尤其涉及一种探针卡。
【背景技术】
[0002]在日常的晶圆电性测试中会用到探针卡，而每次进行测试前，测量仪器会先确认探针卡的基本信息，这些信息均储存在探针卡识别芯片内，读卡器通过无线信号对识别芯片进行读写操作，但这样的设计存在安全隐患，若识别芯片安装的位置稍有偏离，就会影响到测试头与探针卡之间的针脚连接，会影响识别芯片的正常读写能力，无线信号传输还会受到信号干扰，这也会对探针卡信息读写的影响。
[0003]专利(
【发明者】许一峰, 莫保章 申请人:上海华力微电子有限公司