一种晶圆测试装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种晶圆测试装置。
【背景技术】
[0002]在半导体晶圆制造过程中，制造芯片过程中，一般都会用到晶圆测试装置，一般包括针卡、承片台、承片台固定座、固定座安装板及移动机构，操作者使用晶圆测试装置在对产品进行抽样检测过程中，由于产品尺寸较小，需要细看才能确认测试位置，每次测试，测试结果便反馈在测试仪表上，操作者都需要抬头确认测试结果，再低头细看测试位置后测试，如此循环，从而导致测试晶圆的效率较低，稳定性和准确率差，生产效率低且易导致测试者颈部疲劳。
【发明内容】
[0003]本实用新型实施例提供一种晶圆测试装置，能够解决现有技术中测试晶圆的效率较低，稳定性和准确率差，且易导致测试者疲劳的问题。
[0004]一种晶圆测试装置，包括:
[0005]测试笔、用于传输所述测试笔的测试结果的信号输出部件；
[0006]所述测试笔包括用于测试时与晶圆上的晶粒接触的笔头端；
[0007]所述笔头端的外壁设置有用于指示测试结果的发光部件；
[0008]所述发光部件与所述信号输出部件电连接。
[0009]进一步，所述发光部件为发光二极管。
[0010]进一步，所述发光二极管至少有一个。
[0011]进一步，所述信号传输部件包括传输测试结果为失效信号的第一信号线、以及所述传输测试结果为通过信号的第二信号线。
[0012]进一步，所述测试笔还包括与所述笔头端相对应的笔末端；
[0013]所述第一信号线和所述第二信号线均连接至所述笔末端。
[0014]进一步，所述装置还包括:用于存储所述测试笔的测试结果的存储器。
[0015]本实用新型中，通过在测试笔的笔头端上设置用于指示测试结果的发光部件，使得在测试笔在试晶圆时，测试的结果可以直观、醒目的、快速地呈现在操作者面前，操作者毋须频繁抬头查看测试结果，并对测试结果判断，有效提高测试效率和准确性，也减少了操作者的疲劳，提高生产效率。
【附图说明】
[0016]图1为本实施例中一种晶圆测试装置一结构示意图。
【具体实施方式】
[0017]本实用新型实施例提供了一种晶圆测试装置，用于测试晶圆。以下进行详细说明。
[0018]请参照图1，一种晶圆测试装置，包括:
[0019]测试笔1、用于传输所述测试笔的测试结果的信号输出部件2 ;
[0020]所述测试笔I包括用于测试时与晶圆上的晶粒接触的笔头端11 ;
[0021]所述笔头端11的外壁设置有用于指示测试结果的发光部件111 ;
[0022]可以理解的是，在测试结果为良品时，发光部件11发绿光，反之，发红光，具体颜色设定本文中均不作限定，只要可以区分测试结果即可。
[0023]所述发光部件111与所述信号输出部件2电连接。
[0024]需要说明的是，本文中所述的发光部件111可以设置在测试笔I的外壁任何一个位置，只要能够实现操作者可以方便、直观、醒目的、快速的得到测试结果，并且毋须做较大肢体动作而导致身体疲劳即可，具体本文中均不作限定。
[0025]其中，所述发光部件111为发光二极管，所述发光二极管至少有一个。
[0026]可选的，所述信号传输部件2包括传输测试结果为失效信号的第一信号线21、以及所述传输测试结果为通过信号的第二信号线22 ;
[0027]可以理解的是，在所述测试结果为失效信号时，即测试不通过，不在标准范围内的不合格品，测试结果由所述第一信号线21传输至所述发光二极管，以使所述发光二极管发出相应的光，一般可以设为发红光，更加醒目，快速准确的呈现给操作者，以提醒操作者该晶圆测试不通过，以便挑出，后续修复，有效提高甄别不良品的效率，另外，操作者也毋须每次测试时都必须抬头查看检查结果，避免了操作者容易因频繁抬头而劳累，判断出错，而导致测试效率低下，良品与非良品判断错误的问题。
[0028]可选的，所述测试笔还包括与所述笔头端相对应的笔末端；
[0029]所述第一信号线21和所述第二信号线22均连接至所述笔末端，第一信号线21和第二信号线22两者外表皮的颜色可以相同，也可以以不同显色区分，两者长度，直径均相同，一般设计的长度为大于lm，具体颜色、长度及直径本文中均不作限定。
[0030]可选的，所述装置还包括:用于存储所述测试笔的测试结果的存储器；该存储器可以设置在测试笔I内部，也可以设置在机台3内，具体本文中均不作限定。
[0031]从以上实施例可以看出，本实用新型实施例中，通过在测试笔的笔头端上设置用于指示测试结果的发光部件，使得在测试笔在试晶圆时，测试的结果可以直观、醒目的、快速地呈现在操作者面前，操作者毋须频繁抬头查看测试结果，并对测试结果判断，有效提高测试效率和准确性，也减少了操作者的疲劳，提高生产效率。
[0032]以上对本实用新型所提供的一种晶圆测试装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在【具体实施方式】及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
【主权项】
1.一种晶圆测试装置，其特征在于，包括:测试笔、用于传输所述测试笔的测试结果的信号输出部件； 所述测试笔包括用于测试时与晶圆上的晶粒接触的笔头端； 所述笔头端的外壁设置有用于指示测试结果的发光部件； 所述发光部件与所述信号输出部件电连接。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述发光部件为发光二极管。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述发光二极管至少有一个。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述信号传输部件包括传输测试结果为失效信号的第一信号线、以及所述传输测试结果为通过信号的第二信号线。
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述测试笔还包括与所述笔头端相对应的笔末端； 所述第一信号线和所述第二信号线均连接至所述笔末端。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括:用于存储所述测试笔的测试结果的存储器。
【专利摘要】本实用新型公开了一种晶圆测试装置，包括：测试笔、用于传输所述测试笔的测试结果的信号输出部件；所述测试笔包括用于测试时与晶圆上的晶粒接触的笔头端；所述笔头端的外壁设置有用于指示测试结果的发光部，使得在测试笔在试晶圆时，测试的结果可以直观、醒目的、快速地呈现在操作者面前，操作者毋须频繁抬头查看测试结果，并对测试结果判断，有效提高测试效率和准确性，也减少了操作者的疲劳，提高生产效率。
【IPC分类】H01L21-66
【公开号】CN204348687
【申请号】CN201520010166
【发明人】汪良恩, 张小明, 马晓飞
【申请人】安徽安芯电子科技有限公司
【公开日】2015年5月20日
【申请日】2015年1月7日