一种晶圆测试的斜块升降机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种集成电路测试设备，更具体地说，它涉及一种晶圆测试用的斜块升降机构。
【背景技术】
[0002]集成电路行业发展迅速，对芯片产品的良率要求日益增高，晶圆测试能够在芯片未进行切割、引线、封装等多重后道工序加工前进行测试，减少不良品在后续加工中的严重浪费，所以急需晶圆测试设备达到高速、高效、高稳定性的要求。
[0003]晶圆测试设备达到高速、高效、高稳定性的要求关键在于升降机构。目前晶圆测试装备采用的升降机构顶升力较小，顶升稳定性较差，精度低，而且有些顶升机构结构复杂，制造成本尚。
[0004]中国专利公告号CN201196655Y，公开了一种可纵向升降、水平旋转的晶圆吸附及卸落装置，包括机架的纵向方向设置的管状内套顶端设置的晶圆吸盘装置，内套与升降装置与旋转装置相连，晶圆吸盘装置包括在负压吸盘和隔热盘之间设置的加热器，在负压吸盘上表面摄影团若干负压气槽，在负压吸盘内设有与负压气槽连通的负压气孔，负压吸盘上设有负压气管接头，负压气管接头与负压气孔连通，负压吸盘上设有贯穿负压吸盘、加热器、隔热盘的卸料孔，卸料孔内设有顶针以及顶针升降控制装置。尽管这种结构设置可以缩短晶圆的测试时间，实现纵向升降和水平旋转，但是结构复杂，制造成本高，而且升降机构顶升力较小，顶升稳定性较差，精度低。
【发明内容】
[0005]本发明克服了晶圆测试用升降机构顶升力较小，顶升稳定性较差，精度低，结构复杂，制造成本高的不足，提供了一种晶圆测试的斜块升降机构，它的顶升力大，顶升稳定性好，精度高，而且升降机构结构简单，制造成本低，安装调试和维护方便。整个升降机构结构强度好，承载力大。
[0006]为了解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案:一种晶圆测试的斜块升降机构，包括底座、托板，底座上固定连接有若干个升降滑轨座，托板可升降连接在升降滑轨座上，底座上可滑动连接支撑座，支撑座设置在托板下方，支撑座上固定连接有丝杆螺母，底座上安装有驱动电机，驱动电机输出轴传动连接丝杆，丝杆与丝杆螺母配合连接，支撑座上设有斜块，斜块上端面为倾斜平面；托板上安装有滚轮，滚轮抵接在斜块上端面上，托板和底座之间安装有托板位移测量用光栅尺，驱动电机电连接编码器，光栅尺电连接编码器。
[0007]升降机构工作时，驱动电机转动带动丝杆转动，丝杠在丝杆螺母内转动并带动丝杠螺母在丝杠上移动，而丝杆螺母与支撑座固定连接，支撑座可滑动连接在底座上，因此支撑座在驱动电机的带动下在底座上滑动。支撑座上的斜块在滑动的过程中其倾斜平面抵接托板，并带动托板在升降滑轨座上升降运动。编码器控制驱动电机转速及转动圈数，光栅尺读取到的升降位移信号反馈到编码器形成闭环控制，编码器根据光栅尺反馈的信号对驱动电机进行微调，保证托板升降距离精度可达0.lum。这种晶圆测试的斜块升降机构的顶升力大，顶升稳定性好，精度高，而且升降机构结构简单，制造成本低，安装调试和维护方便，整个升降机构结构强度好，承载力大。
[0008]作为优选，支撑座上连接有原点挡光片，底座上安装有和原点挡光片对应的光电开关。原点挡光片插入光电开关，获得升降原点位置，通过光栅尺高精度的末端运动位置信息获取，与编码器组成全闭环反馈控制系统，提高托板位移精度。
[0009]作为优选，升降滑轨座上均设有直线导轨，直线导轨上可滑动连接有滑块，滑块均与托板下表面固定连接。托板与滑块固定连接，滑块在直线导轨上滑动，保证了托板升降的平稳性。
[0010]作为优选，托板呈矩形状结构，托板的四个转角位置均固定连接有L形的连接块，升降滑轨座和连接块对应设有四个，四个连接块分别与四个滑块内侧面一一对应可拆卸连接。托板四个转角位置分别在直线导轨上滑动，升降平稳性好。
[0011]作为优选，支撑座包括连接板和两个滑座，连接板固定连接在两滑座之间，丝杆螺母紧固连接在连接板上，斜块设有两个分别设在两滑座上，底座上固定连接有两滑轨，两滑座分别可滑动连接在两滑轨上，滚轮和斜块对应设有两个。支撑座上设置两个斜块，两斜块同时对托板进行推动，使托板的受力更加平稳，大大增加了托板的承载能力。
[0012]作为优选，托板下表面上安装有凸轮导向器，凸轮导向器靠近滚轮设置。在斜块对托板进行推动的时候，凸轮导向器起到了很好的导向作用。
[0013]作为优选，驱动电机为步进电机，底座上安装有电机安装座，驱动电机安装在电机安装座上，驱动电机输出轴和丝杆之间连接有联轴器。驱动电机和丝杆之间通过联轴器连接，传动更加平稳可靠。
[0014]作为优选，光栅尺包括光栅尺本体、读数头，光栅尺本体安装在托板侧边上，读数头安装在读数头座上，读数头座固定连接在底座上。光栅尺拆装方便，安装可靠。
[0015]作为优选，底座上靠近前后两端位置均固定连接有用于限位支撑座的限位块。支撑座在底座上滑动的过程中，限位块起到了很好的限位作用，有效防止支撑座脱离轨道。
[0016]作为优选，托板下表面上安装滚轮位置设有安装槽，安装槽内固定连接有销轴，滚轮可转动连接在销轴上。滚轮安装在安装槽内的销轴上，拆装方便，滚动可靠。
[0017]与现有技术相比，本发明的有益效果是:(1)晶圆测试的斜块升降机构的顶升力大，顶升稳定性好，精度高；(2)升降机构结构简单，制造成本低，安装调试和维护方便；(3)整个升降机构结构强度好，承载力大。
【附图说明】
[0018]图1是本发明的一种结构示意图；
图2是本发明的去除托板的结构示意图；
图3是本发明的托板的结构示意图；
图中:1、底座，2、托板，3、升降滑轨座，4、支撑座，5、丝杆螺母，6、驱动电机，7、丝杆，8、斜块，9、倾斜平面，10、滚轮，11、光栅尺，12、编码器，13、原点挡光片，14、光电开关，15、直线导轨，16、滑块，17、连接块，18、连接板，19、滑座，20、滑轨，21、凸轮导向器，22、电机安装座，23、联轴器，24、光栅尺本体，25、读数头，26、读数头座，27、限位块，28、安装槽，29、销轴。
【具体实施方式】
[0019]下面通过具体实施例，并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的具体描述: 实施例:一种晶圆测试的斜块升降机构(参见附图1、附图2、附图3)，包括底座1、托板
2，底座和托板均呈矩形状结构，底座上固定连接有四个升降滑轨座3，升降滑轨座垂直底座。四个升降滑轨座分别设置在底座四个转角位置。托板可升降连接在升降滑轨座上，升降滑轨座上均设有直线导轨15，直线导轨上可滑动连接有滑块16，滑块均与托