一种亚微米级器件的检测装置制造方法

文档序号:6208451阅读:145来源:国知局
一种亚微米级器件的检测装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种亚微米级器件的检测装置,包括底座,一端连接所述底座、另一端连接放大镜的可弯曲软管制成的支架,还包括:品检平台,以及设置于所述品检平台内部的底光源。本实用新型设计合理,结构简单,重量轻,可方便的移到任何需要品检的地方,满足了小批量高精密制造产品的外观质量检测要求,保证了产品的合格率,同时也降低了设备的费用。
【专利说明】—种亚微米级器件的检测装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及检测设备【技术领域】,尤其涉及一种用于亚微米级器件的外观质量进行检测的装置。
【背景技术】
[0002]目前,随着产品精度的日益提高,各行业的产品线上,很多都会存在一些小型的亚微米级的产品需要进行外观检测。现有亚微米级产品的检测,通常都是通过一些大型的光学检测设备进行。但是,这些大型光学检测设备价格昂贵,并不适用于小批量的生产线。小批量生产线基本上只能采用抽样检测的方法进行。而对于高精密的制造产品而言,采用抽样检测的方式,很难满足行业内对产品的高可靠性要求。
实用新型内容
[0003]本实用新型要解决的技术问题是,提供一种亚微米级器件的检测装置,该检测装置结构简单、成本低廉,且能完全满足亚微米级高精密产品的外观质量检测要求。
[0004]为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种亚微米级器件的检测装置,包括底座,一端连接所述底座、另一端连接放大镜的可弯曲软管制成的支架,还包括:品检平台,以及设置于所述品检平台内部的底光源。
[0005]优选的技术方案是,所述品检平台是六块防静电玻璃制成的立方体腔体。
[0006]所述防静电玻璃的厚度是10mm。所述立方体腔体的外形长、宽、高分别为150mm、150mm 和 30mm。
[0007]进一步,优选的技术方案是,所述放大镜是放大倍数为10倍至20倍的放大镜。
[0008]更进一步,优选的技术方案是,所述底光源是亮度可调节的LED灯。
[0009]本实用新型设计合理,结构简单,重量轻,可方便的移到任何需要品检的地方,满足了小批量高精密制造产品的外观质量检测要求,保证了产品的合格率,同时也降低了设备的费用。
【专利附图】

【附图说明】
[0010]图1是本实用新型一种亚微米级器件的检测装置的结构示意图;
[0011]上图中,1-底座,2-支架,3-放大镜,4-品检平台,5-底光源。
【具体实施方式】
[0012]下底面结合附图对本实用新型的优选实施方式进行详细说明。
[0013]如图1所示,本实用新型一种亚微米级器件的检测装置,包括:底座1,可弯曲软管制成的支架2,用于放置待检品的品检平台4,以及亮度可调式LED底光源5。上述支架2的一端与底座I连接,另一端与用于外观检测的放大镜3连接。
[0014]可弯曲软管制成的支架2用于连接底座I与放大倍数为10-20倍的放大镜3,可弯曲软管的两端分别固定于底座I和放大镜3上,使放大镜3可随意的调整至合适的品检位置。同时,米用六块IOmm厚防静电玻璃制成外形尺寸为(长X宽X高)150mmX 150mmX 30mm立方体腔体,以立方体的顶面作为品检平台4,并将亮度可调节式LED底光源5置于腔体内部底面中心位置,光源面朝上给品检环境提供合适的光源。
[0015]检测过程中,将待检品放置于品检平台4上,然后打开LED底光源5上的LED灯,并人工调节至合适亮度,再弯曲软管,调整放大镜3到合适的焦距位置,最后通过放大镜3的视野实现对待检品外观质量的检测过程。
[0016]最后需要说明的是,以上所述仅为本实用新型的较佳实施例,而不是对本实用新型技术方案的限定,任何对本实用新型技术特征所做的等同替换或相应改进,仍在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种亚微米级器件的检测装置,包括:底座,一端连接所述底座、另一端连接放大镜的可弯曲软管制成的支架,其特征在于,还包括:品检平台,以及设置于所述品检平台内部的底光源。
2.如权利要求1所述的一种亚微米级器件的检测装置,其特征在于,所述品检平台是六块防静电玻璃制成的立方体腔体。
3.如权利要求2所述的一种亚微米级器件的检测装置,其特征在于,所述防静电玻璃的厚度是10mm。
4.如权利要求2所述的一种亚微米级器件的检测装置,其特征在于,所述立方体腔体的外形长、宽、高分别为150mm、150mm和30mm。
5.如权利要求1所述的一种亚微米级器件的检测装置,其特征在于,所述放大镜是放大倍数为10倍至20倍的放大镜。
6.如权利要求1所述的一种亚微米级器件的检测装置,其特征在于,所述底光源是亮度可调节的LED灯。
【文档编号】G01B11/00GK203587487SQ201320784851
【公开日】2014年5月7日 申请日期:2013年12月4日 优先权日:2013年12月4日
【发明者】陈卫民 申请人:广州先艺电子科技有限公司
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