连续可调结构光照明的超分辨显微成像方法与系统与流程

文档序号:15864727发布日期:2018-11-07 20:20阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种连续可调结构光照明的超分辨显微成像系统,包括计算机、光源、可变标度的傅立叶变换光路、位相分光器件、双远心投影光学系统、大数值孔径物镜、样品平台和面阵相机,其特征在于:所述的傅立叶变换光路包括第一傅立叶变换透镜或透镜组与第二傅立叶变换透镜或透镜组,所述位相分光器件置于第一傅立叶变换透镜或透镜组与第二傅立叶变换透镜或透镜组之间;所述位相分光器件与第二傅立叶变换透镜或透镜组之间的距离连续可调;所述位相分光器件具有绕傅立叶变换光路的光轴旋转的运动自由度。

2.根据权利要求1所述的连续可调结构光照明的超分辨显微成像系统,其特征在于:所述位相分光器件为一维光栅结构。

3.根据权利要求1所述的连续可调结构光照明的超分辨显微成像系统,其特征在于:所述位相分光器件为二元光学结构。

4.根据权利要求2或3所述的连续可调结构光照明的超分辨显微成像系统,其特征在于:位相分光器件在第二傅立叶变换透镜或透镜组的后焦面上形成纳米干涉条纹。

5.根据权利要求1所述的连续可调结构光照明的超分辨显微成像系统,其特征在于:所述系统中包括空间光调制器,所述空间光调制器位于光源与傅立叶变换光路之间。

6.根据权利要求1所述的连续可调结构光照明的超分辨显微成像系统,其特征在于:第二傅立叶变换透镜或透镜组后焦面上的纳米干涉条纹、平台上样品以及CCD三者共焦。

7.一种连续可调结构光照明的超分辨显微成像方法,其特征在于:采用权利要求1所述系统实现,激光束在扩束后,照射在第一傅立叶变换透镜或透镜组上后,由位相分光器件产生正负一级衍射光点,经过第二傅立叶变换透镜或透镜组,在后焦面形成干涉光场,再经过双远心投影光学系统和大数值孔径物镜的合束,在样品平台上形成纳米级细分光场;对物镜进行Z向调节,实现纳米精度聚焦,对样品形成具有纳米尺度的结构光照明,实现样品结构检测。

8.根据权利要求7所述的连续可调结构光照明的超分辨显微成像方法,其特征在于:所述激光束在扩束后,经过空间光调制器再照射到第一傅立叶变换透镜或透镜组上。

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