压力检测装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种压力检测装置，其可减轻调整磁传感器时的负担，该压力检测装置(1)包括：可根据第1空间(S1)内的压力而变形的隔膜(5)；可根据隔膜(5)的变形而移动的移动部件(7)；与移动部件(7)一同移动的磁体(13)；和磁传感器(12)。磁传感器(12)包括可检测磁体的磁束朝向的巨磁阻元件。可利用第1调整机构调整磁体(13)和磁传感器(12)在移动部件(7)的移动方向上的相对位置，并可利用第2调整机构调整磁体(13)和磁传感器(12)在移动部件(7)的移动方向和与连结磁体(13)各极的方向交差的方向上的相对位置。
【专利说明】压力检测装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种压力检测装置，尤其涉及一种通过利用磁传感器对因压力变化而移动的磁体的磁场进行检测，而进行压力检测的压力检测装置。
【背景技术】
[0002]以往，已知有如下所述的压力检测装置，其在由隔膜(Diaphragm)隔开的空间内连通作为压力检测对象的流体，使隔膜在压力变化下产生变形，并根据该变形量检测压力(请参考例如专利文献I)。该压力检测装置包括，作为磁传感器的霍尔1C、固定在与该霍尔IC对置的位置处的永磁体、相对于霍尔IC安装在永磁体相反侧的盘(plate)。该盘是将I片铁板和两片树脂板层叠而成。使铁板相对于各树脂板的位置不同，而准备3种盘，通过选择安装任一种的盘，来改变霍尔IC与铁板的距离。对于该装置，在进行调整以使多个制品具有一定的输出特性时，根据各制品的输出特性而改变盘的种类，或调整霍尔IC与铁板的距离，或不安装盘。
[0003][现有技术文献]
[0004][专利文献]
[0005]专利文献1:日本专利公报第5027191号公报
[0006]然而，在上述压力检测装置中，为了使霍尔IC的输出特性一定，就必须要有多种盘，使盘与压力检测装置彼此分开，因盘丢失或损伤，造成管理负担的问题。另外，为了调整霍尔IC和铁板的距离，除了需要卸下已安装的盘的作业外，还需要保管卸下的盘等作业，以及安装另一盘的作业，存在调整中作业性差的问题。
【发明内容】
[0007]本发明有鉴于上述情形，其目的在于提供一种压力检测装置，其能够减轻对磁传感器进行调整时的负担。
[0008]本发明的压力检测装置，其特征在于，包括:箱体，具有能够使流体流入流出的连通部；隔膜，隔开该箱体而形成第I空间和第2空间，能够根据与所述连通部连通的第I空间内的压力而变形；移动部件，配置于所述第2空间，能够根据所述隔膜的变形而移动；施力部件，能够变形地支撑所述隔膜；磁体，与所述移动部件一同移动；和磁传感器，配置于所述第2空间，检测来自所述磁体的磁场，所述磁体被磁化为在与所述移动部件的移动方向交差的方向上成为异极，所述压力检测装置具有第I调整机构和第2调整机构，所述第I调整机构能够调整所述磁体和所述磁传感器在第I方向上的相对位置，所述第I方向是沿着所述移动部件的移动方向的方向，所述第2调整机构能够调整所述磁体和所述磁传感器在第2方向上的相对位置，所述第2方向是与所述移动部件的移动方向交差且与连结所述磁体的各极的方向交差的方向，所述磁传感器包括能够检测磁束的朝向的巨磁阻元件。
[0009]根据上述压力检测装置，由于使用检测磁束朝向的巨磁阻元件作为磁传感器，因此能够不受磁体磁场强弱的影响，准确地检测磁体位置。由此，不必如现有的装置那样准备多种盘，既能够利用各调整机构调整磁传感器和磁体的相对位置，并且不需要更换盘的作业等，能够减轻调整的负担。另外，由于能够利用第2调整机构在移动部件的移动方向和与连结磁体各极的方向交差的方向上调整磁体和磁传感器的相对位置，因此能够调整输出电压相对于所检测的压力的变化特性(单位压力下的输出电压)。由此，能够使多个制品的输出特性恒定。
[0010]在上述压力检测装置中，优选具有保持所述磁体的保持部件，所述第I调整机构包括:柱状部，与所述移动部件相连设置，在外周形成有外螺纹；和螺纹部件，支撑所述保持部件，并且形成有与所述柱状部咬合的内螺纹，通过使所述柱状部与所述螺纹部件相对转动，使该螺纹部件在所述柱状部的轴线方向上移动，从而能够调整所述保持部件和所述磁体在所述第I方向上的位置。
[0011]在上述压力检测装置中，优选所述第2调整机构包含相对于所述柱状部能够转动地支撑所述保持部件的所述螺纹部件而构成，利用所述保持部件的该转动，来调整所述磁体在所述第2方向上相对于所述磁传感器的位置。此时，通过由螺纹部件能够旋转地支撑保持部件而构成第2调整机构，由此，也能够以简单的结构调整磁体的位置。
[0012]在上述压力检测装置中，优选所述保持部件具有贯通部，所述柱状部能够相对转动地插通该贯通部，所述螺纹部件具有插通并卡止于所述贯通部的卡止片，通过该卡止片与所述保持部件卡止，限制所述保持部件相对于所述螺纹部件向所述移动部件的移动方向的移动。此时，由于螺纹部件具有卡止保持部件的卡止片，因此，能够使保持部件和磁体与螺纹部件一体地向柱状部的延伸方向(轴线方向)移动，容易进行基于第I调整机构的位置调整。另外，能够将这两个部件作为一个部件来处理，而容易将其安装于柱状部。
[0013]在上述压力检测装置中，优选所述第2调整机构具有突出部，该突出部形成于所述保持部件，并向与所述移动部件的移动方向交差的方向突出。此时，通过对突出部作用力，能够容易地使保持部件旋转，容易进行基于第2调整机构的位置调整。
[0014]在上述压力检测装置中，优选所述箱体具有包含所述连通部的第I壳体和安装于该第I壳体并且收容所述保持部件的第2壳体，所述第2壳体具有能够转动地引导所述螺纹部件的筒状的引导部和使所述保持部件露出到所述第2壳体的外部的开口部。此时，利用引导部引导螺纹部件旋转，因而在该旋转作用下平顺地进行第I调整机构的位置调整。另外，能够经开口部从第2壳体外部容易地进行操作来转动保持部件。
[0015]在上述压力检测装置中，优选在利用所述第I调整机构和第2调整机构进行了调整后，利用粘接剂以不能相对转动且不能相对移动的方式固定所述柱状部、保持部件和螺纹部件。此时，能够防止在利用各调整机构完成调整后，输出特性发生不希望的变化。
[0016]在上述压力检测装置中，优选所述施力部件由设置于所述第I空间的板簧构成。此时，由于不必将用于支撑隔膜的弹簧设置在第2空间，因此能够缓和在第2空间中对保持部件及螺纹部件安装位置的限制等，能够有效利用第2空间，并且能够容易地利用各调整机构进行调整作业。
[0017]在上述压力检测装置中，优选所述第2调整机构具有对搭载有所述磁传感器的基板加以支撑的支撑部件，通过使该支撑部件在与所述磁体对置的平面内移动，来调整所述磁体与所述磁传感器的相对位置。此时，能够通过移动支撑部件而利用第2调整机构调整磁体和磁传感器的相对位置，能够调整压力和输出电压的变化特性。由此，例如通过将支撑部件设置于箱体，能够提高第I调整机构和第2调整机构的独立性，简化基于各调整机构的调整。
[0018]在上述压力检测装置中，优选所述第2调整机构具有与所述支撑部件相连设置的第I螺纹和与该第I螺纹咬合的第2螺纹，通过旋转该第2螺纹并移动所述第I螺纹，来调整所述支撑部件的位置。此时，由于第2调整机构使用第I螺纹和第2螺纹的螺合结构来调整支撑部件的位置，因此能够容易地对支撑部件的位置进行微调。
[0019]在上述压力检测装置中，优选在所述支撑部件的侧部设置有弹簧部件，利用该弹簧部件，所述支撑部件被向与所述磁体对置的平面内的移动方向施力。此时，由于利用弹簧部件对支撑部件施加力，因此能够防止第I螺纹和第2螺纹的晃动，能够将支撑部件高精度定位于调整后的位置。
[0020]在上述压力检测装置中，优选所述施力部件具有:设置于所述第I空间，并向所述第2空间侧对所述隔膜施力的第I施力体；和设置于所述第2空间，经由所述移动部件向所述第I空间侧对所述隔膜施力的第2施力体。此时，由于设置第I施力体和第2施力体这两个施力体，因此，能够测定第I空间中的正压和负压两方。能够通过变更施力体，来匹配想要测定的压力。
[0021]在上述压力检测装置中，优选所述磁体保持于所述移动部件，所述第I移动机构具有形成于所述箱体的内螺纹部和形成有与该内螺纹部咬合的外螺纹部的螺纹体，利用该螺纹体和所述移动部件夹持着所述第2施力体。此时，能够利用螺纹体的旋转操作容易地对保持于移动部件的磁体位置进行调整。
[0022]在上述压力检测装置中，优选所述箱体具有包含所述连通部的第I壳体和安装于该第I壳体并且收容所述移动部件的第2壳体，所述第2壳体具有使所述螺纹体露出于该第2壳体的外部的开口部。此时，能够经开口部从第2壳体外部容易地进行操作来转动螺纹体。
[0023][发明效果]
[0024]根据本发明，能够减轻在对磁传感器输出变化特性进行调整时的负担。
【专利附图】
【附图说明】
[0025]图1是第I实施方式的压力检测装置的分解立体图。
[0026]图2是上述第I实施方式的压力检测装置的剖视图。
[0027]图3是组装上述第I实施方式的压力检测装置后的状态的立体图。
[0028]图4是上述第I实施方式的压力检测装置中下壳体的立体图。
[0029]图5A、图5B是说明磁传感器和磁体的位置关系的图，图5C、图是表不磁传感器的输出与第I空间的压力的关系的图表。
[0030]图6是第2实施方式的压力检测装置的分解立体图。
[0031]图7是上述第2实施方式的压力检测装置的剖视图。
[0032]图8是组装上述第2实施方式的压力检测装置后的状态的立体图。
[0033]图9是上述第2实施方式的压力检测装置中下壳体的立体图。
[0034]符号说明:
[0035]1:压力检测装置，
[0036]2:箱体，
[0037]3:上壳体(第I壳体)，
[0038]34:连通部，
[0039]4:下壳体(第2壳体)，
[0040]45:引导部，
[0041]5:隔膜(diaphragm),
[0042]6:施力部件，
[0043]7:移动部件，
[0044]71:柱状部，
[0045]8:保持部件，
[0046]81:贯通部，
[0047]83:突出部，
[0048]9:螺纹部件，
[0049]93:卡止片，
[0050]12:磁传感器，
[0051]13:磁体，
[0052]Ml:第 I 开口部，
[0053]S1:第 I 空间，
[0054]S2:第 2 空间，
[0055]Ia:压力检测装置，
[0056]120:箱体，
[0057]130:上壳体(第I壳体)，
[0058]139:连通部，
[0059]140:下壳体(第2壳体)，
[0060]148:内螺纹部，
[0061]148a:开口部，
[0062]150:隔膜，
[0063]160:施力部件，
[0064]161:第I螺旋弹簧(第I施力体)，
[0065]162:第2螺旋弹簧(第2施力体)，
[0066]170:移动部件，
[0067]190:螺纹体，
[0068]191:外螺纹部，
[0069]202:磁传感器，
[0070]210:支撑部件，
[0071]213:第 I 螺纹，
[0072]215:第 2 螺纹，
[0073]230:磁体，
[0074]Sla:第 I 空间，
[0075]S2a:第 2 空间。
【具体实施方式】
[0076]下表面结合附图详细说明本发明的【具体实施方式】。本实施方式的压力检测装置是，例如在洗衣机等中，对随水位变化的空气收集器(airtrap)压力进行检测时所使用的压力检测装置。而且，本实施方式的压力检测装置的用途不限定于此，可应用于任何装置的压力检测。
[0077]图1是本实施方式的压力检测装置I的分解立体图。图2是本实施方式的压力检测装置I的剖视图。图3是表示本实施方式的压力检测装置I的外观的立体图。以下，为了便于说明，分别称图1中所示上下方向和左右方向为“压力检测装置I的上下方向”和“压力检测装置I的左右方向”。另外，称图1中所示纸面向外侧为“压力检测装置I的前侧”，称图1中所示纸面向里侧为“压力检测装置I的后侧”。
[0078]如图1?图3所示，本实施方式的压力检测装置I具有构成箱体2的上壳体(第I壳体)3和下壳体(第2壳体)4，箱体2内部由隔膜5隔开，形成第I空间SI和第2空间S2 (参照图2)。上壳体3和下壳体4夹着隔膜5和施力部件6的各外周侧,通过使下壳体4的卡合凸部41与上壳体3的卡合孔31卡合而使其形成为一体。在隔膜5的下表面侧安装有移动部件7，在移动部件7的柱状部71安装有保持部件8和螺纹部件9。另外，在下壳体4中保持有基板10。而且，上壳体3、下壳体4、移动部件7、保持部件8和螺纹部件9例如是通过成型绝缘性的树脂材料制成的。
[0079]上壳体3为向下方侧开口的盖形，在内部形成第I空间SI。上壳体3的顶壁部32形成俯视圆形，并形成有从其周围向下方侧延伸的侧壁部33。侧壁部33形成圆筒形，其周向隔规定间隔形成多个上述卡合孔31。在侧壁部33内周的上部位置形成有下侧开放的周槽33a (请参考图2)。在周槽33a的相邻位置处形成有向下方突出，并与施力部件6的上表面接触突出部33b。另外，在侧壁部33的外周面，相连设置有向外侧(右侧)延伸的管状的连通部34，连通部34与第I空间SI连通。对连通部34连接未图示的配管，使来自外部的作为测定对象的空气(气体)通过。因而，检测压力空气经连通部34流入或流出第I空间SI。
[0080]下壳体4为向上方侧开口的容器形状，在内部形成第2空间S2。下壳体4的周壁部42形成为大致圆筒形。在周壁部42的上端向上方突出形成环形的筋42a，筋42a插入上壳体3的周槽33a内(请参考图2)。在周壁部42的筋42a的下部内面侧形成有载置隔膜5和施力部件6的、由台阶部构成的载置部42b。在周壁部42的外周面，且与上壳体3的卡合孔31对应的位置处形成有多个上述卡合凸部41。卡合凸部41卡合在其下部区域的外周缘与卡合孔31的下部内周缘接触的状态下，由此，限制上壳体3相对于下壳体4上升，并限制两者在周向发生相对转动。
[0081]图4是从上方观察下壳体4的简要立体图。如图4所示，周壁部42内周面形成为沿着圆筒的形状。在周壁部42的下端侧形成底壁部43，底壁部43在上表面侧具有多种台阶。在底壁部43的左侧，且与周壁部42之间形成方形的第I开口部Ml。另外，在底壁部43的右侧，且与周壁部42之间形成方形的第2开口部M2。从下壳体4的下侧观察，第I开口部Ml使位于第2空间S2内的保持部件8露出于外部(请参考图2)。在第2开口部M2的前后两侧分别形成有沿上下方向延伸的保持槽44。在保持槽44内部插入并保持基板10的端部。而且，周壁部42的内周面并非完全的圆筒面，可以是在呈圆筒形的面上形成若干凹陷等而成的形状。
[0082]在底壁部43的俯视中央位置形成有沿上下方向延伸圆筒形的引导部45。在引导部45内部插入螺纹部件9，以顺畅地引导螺纹部件9的上下移动和转动。在引导部45的前后两侧分别相连设置有沿上下方向延伸的棱柱部46，在各棱柱部46上形成有引导槽46a。在引导槽46a内部插入移动部件7的后述的引导凸部72d。
[0083]隔膜5例如由橡胶等弹性材料成形。如图2所示，隔膜5具有与移动部件7上表面彼此面接触的圆盘形的基部51。在该基部51的上表面中央位置处，向上方突出设置有突出部51a，该突出部51a的形状为，在上端具有形成有锥面的法兰部51b。另外，在基部51上表面且围绕突出部51a的位置处突出设置有圆环形筋51c。圆环形筋51c的高度略小于法兰部51b的下端。由此，可利用圆环形筋51c的上端和法兰部51b的下端从上下方向夹住并保持施力部件6的第I部分61。在基部51的下表面形成有多个卡合突部51d，各卡合突部51d可与移动部件7的后述卡合孔72c嵌合。
[0084]隔膜5在其外周具有周缘部52，利用上壳体3的突出部33b和下壳体4的载置部42b夹持该周缘部52，使其固定于箱体2。周缘部52和基部51之间，由厚度小于基部51的薄壁部53相连。在图2的剖视图中，薄壁部53向第2空间S2侧以凸形状突出，呈U字形折回的形状，而在其下部区域形成折回部53a。薄壁部53可利用基部51的上下运动，使折回部53a的位置在上下方向上移位而变形。设定薄壁部53的厚度和硬度，以使得不会因上述变形而产生反作用力。
[0085]施力部件6由俯视外形呈圆形的板簧构成，其配置在第I空间SI。施力部件6具有形成其中央区域的第I部分61。在第I部分61的面内中央位置形成有使隔膜5的突出部51a通过的圆孔61a。在使突出部51a贯通于圆孔61a内时,第一部分61承载于圆环形筋51c上端，而利用圆环形筋51c的上端和法兰部51b的下端夹住第I部分61。而且，在本实施方式中，使承载并支撑第I部分61的突出部为圆环形筋51c，但只要是能够支撑第I部分61的形状，其并不限于圆环形。例如，也可以在突出部51a周围设置呈圆形或多边形的多个突出部。
[0086]施力部件6具有形成其外周侧区域的圆环形的第2部分62。第2部分62与隔膜5的周缘部52 —同被上壳体3的突出部33b和下壳体4的载置部42b夹持，而与箱体2固定。在第2部分62和第I部分61之间相连设置有可弹性形变的变形部63。在第I部分61的周向每90°间隔的4处位置形成变形部63，并且仅各个朝向不同，而平面形状相同。俯视时，变形部63从第I部分61的外缘向第2部分62的内缘蜿蜒延伸。变形部63可从图2所示状态，使第I部分61向上方和下方的任一方向移位而发生弹性形变，与该移位量成比例，对第I部分61施加与移位方向相反方向的力。另外，变形部63被配置为,在使第I部分61支撑于圆环形筋51c上而与隔膜5固定，并且第2部分62与箱体2固定的状态下，与隔膜5的基部51分离。
[0087]移动部件7具有与基部51的下表面和薄壁部53面接触的移动体72。移动体72具有俯视呈圆形的本体板72a，和连接于该本体板72a的外周，向下方延伸的垂下部72b。在本体板72a相连设置有从下表面中央位置向下方延伸的柱状部71，在柱状部71的外周面形成有外螺纹71a。在本体板72a表面内，于4个位置形成有卡合孔72c，该卡合孔72c在使卡合突部51d插入的状态下与之卡合，由此使移动体72与基部51的下表面固定。在俯视时，卡合孔72c和卡合突部51d与第I部分61相比位于外侧。垂下部72b位于与下壳体4的周壁部42的内周面隔有间隙的位置，在该间隙中配置薄壁部53。在垂下部72b相连设置有向内方突出的一对引导凸部72d(仅在图1中示出)。引导凸部72d插入引导槽46a(请参考图4)内，限制移动体72周向转动，并可在引导槽46a内上下方向自由滑动。
[0088]保持部件8具有贯通部81，该贯通部81具有内部插通柱状部71的贯通孔81a。贯通孔81a的内径尺寸设定为不与柱状部71的外表面接触，并且贯通孔81a可使柱状部71和保持部件8绕柱状部71的轴线相对转动。在贯通部81右侧形成有下方开口的保持凹部82 (请参考图2)。在保持凹部82中收容保持有后述的磁体13。在贯通部81左侧连接形成有呈臂形的一对突出部83。各突出部83的突出方向向左，向着与移动部件7移动的上下方向交差的方向延伸。
[0089]螺纹部件9具有在内周面形成内螺纹91a的圆筒形的螺合本体91 (请参考图2)。内螺纹91a与柱状部71的外螺纹71a咬合，使螺合本体91绕柱状部71的轴线旋转，由此可使螺合本体91沿该轴线方向(上下方向)移动。螺合本体91的外径尺寸设定为略小于引导部45的内径尺寸。由此，可利用引导部45的内周面引导螺合本体91旋转，并引导螺合本体91上下移动。在螺合本体91底部形成有六角孔91b，可在该六角孔91b中插入六角扳手等工具对螺合本体91进行旋转操作。在螺合本体91上部形成有支撑保持部件8的支撑部92。支撑部92形成为从螺合本体91上部向外突出的法兰形，在使贯通部81的下表面接触的状态下，从下方支撑保持部件8。
[0090]在螺合本体91上部向上方突出形成一对卡止片93。各卡止片93插入到保持部件8的贯通孔81a中，通过该插通限制保持部件8相对于螺纹部件9向前后和左右方向移动。各卡止片93前端形成为钩形，可在插通保持部件8的贯通孔81a的状态下与贯通部81的上表面卡止。在该卡止状态下，利用支撑部92和卡止片93从上下方向夹住保持部件8，限制保持部件8相对于螺纹部件9在上下方向移动。由此，螺纹部件9和保持部件8形成为一体化的状态，在该状态下，它们可绕螺合本体91的轴线相对转动。另外，在卡止片93的卡止状态下，利用支撑部92封闭保持凹部82的开口侧，使后述的磁体13不能从保持凹部82脱落。而且，在使移动部件7和螺纹部件9结合的状态下，螺纹部件9支撑保持部件8，使其可相对于柱状部71转动。该保持部件8和螺纹部件9构成可对磁体13和磁传感器12的相对位置进行调整的后述第2调整机构。
[0091]基板10被固定在其上半部区域的前后两端侧插入到保持槽44内的状态。基板10经线束11与未图示的外部装置电连接。在基板10上安装有磁传感器12，该磁传感器12由作为磁阻效应元件的一种的巨磁阻(Giant Magneto 一 Resistive:巨磁阻)元件构成。对于巨磁阻元件，作为其基本的结构，在晶片(未图示)上层叠形成交换偏置层(反强磁性层)、固定层(束缚磁性层)、非磁性层和自由层(自由磁性层)。磁传感器12设置为可检测由保持部件8保持的磁体13的磁束方向。对磁体13进行磁化，使其在磁传感器12侧的右侧为N极，在与磁传感器12侧的相反侧的左侧为S极，在左右方向上极性相反。在此，由磁传感器12和磁体13构成检测移动部件7移动的检测单元。
[0092]下面，对压力检测装置I的组装方法进行说明。首先，将磁体13插入(压入)保持部件8的保持凹部82内，将各卡止片93插通贯通孔81a而与贯通部81卡止。由此，使保持部件8和螺纹部件9成为一体，由支撑部92封闭保持凹部82而保持磁体13，使其不会从保持部件8脱落。
[0093]然后，将移动部件7与形成为一体的保持部件8和螺纹部件9结合。在该结合中，使柱状部71的前端通过贯通孔81a内，并使外螺纹71a与螺合本体91的内螺纹91a咬合结合。通过将工具插入六角孔91b并绕柱状部71轴线进行旋转操作，可利用该螺纹结合，使保持部件8和螺纹部件9沿柱状部71的延伸方向移动，即沿轴线方向(上下方向)移动。
[0094]另外，对移动部件7从移动体72上方覆盖而安装隔膜5。在该安装中，在移动体72的卡合孔72c中插入并嵌合隔膜5的卡合突部51d。由此，以基部51和移动体72的本体板72a上下重合的方式，使移动部件7和隔膜5成为一体。
[0095]在隔膜5的上表面侧安装施力部件6。在该安装中，在第I部分61的圆孔61a内插入突出部51a，利用圆环形筋51c的上端和法兰部51b的下端从上下方向夹住施力部件6。此时，施力部件6的第2部分62的外周下表面与周缘部52的上表面发生面接触，变形部63离开基部51的上表面，形成非接触。
[0096]如上所述，保持部件8 (包含所保持的磁体13)、螺纹部件9、移动部件7、隔膜5和施力部件6被组装成一体，形成组装的单元，从下壳体4的上方置入该单元。在该置入操作中，在引导部45内插入螺合本体91，且形成在引导槽46a中插入移动部件7的引导凸部72d的状态。另外，进行定位，使保持部件8的突出部83位于第I开口部Ml的大致正上方，将隔膜5的周缘部52搭在下壳体4的载置部42b上。在该状态下，在使上壳体3覆盖下壳体4的上部区域后，使卡合凸部41与上壳体3的卡合孔31卡合。由此，作为箱体2，使上壳体3和下壳体4成为一体，并利用载置部42b和上壳体3的突出部33b夹住周缘部52和施力部件6的第2部分62。在该状态下,利用施力部件6从上方支撑隔膜5,移动部件7,与其螺纹结合的螺纹部件9和保持于螺纹部件9的保持部件8形成由隔膜5悬吊的状态。
[0097]基板10以经下壳体4的第2开口部M2将其前后两端侧插入到保持槽44内的状态被固定。作为该固定的方法，可以压入到保持槽44，也可以使用粘接剂接合。
[0098]上述压力检测装置I组装方法仅表示一个例子，并不限定于此，对于组装顺序等可进行适当变更。只要能够如图2和图3所示，使各组成部件形成组装后的状态，也可以采用各种组装方法。
[0099]如上所述对压力检测装置I进行组装，由上壳体3和隔膜5形成第I空间SI。配置在第I空间SI中的组成部件仅有施力部件6，隔膜5的基部51借助突出部51a和圆环形筋51c与施力部件6中央位置处的第I部分61固定。
[0100]在对压力检测装置I进行组装后的状态下，在下壳体4的隔膜5下方形成第2空间S2。在第2空间S2中配置有移动部件7、与移动部件7螺纹结合的螺纹部件9、与螺纹部件9卡止的保持部件8和基板10。因此，在第2空间S2中还配置有保持于保持部件8的磁体13和安装于基板10的磁传感器12。
[0101]由于在下壳体4形成有第I开口部Ml和第2开口部M2，因此第2空间S2被设定为与大气压相等。另一方面，在上壳体3的连通部34封闭时，第I空间SI形成密闭的空间，其压力因通过连通部34流入到第I空间SI内的空气而变化。在此，例如图2所示，在施力部件6的上表面和下表面为水平的状态时，第I空间SI的压力与大气压相等。从该状态开始，若第I空间Si成为压力比大气压高的正压，则第I空间SI的容积趋于膨胀，下推基部51的力发生作用而向下方移位。在该移位的作用下，施力部件6的各变形部63发生变形，发生使基部51上升的弹力。然后，基部51向下移位到第I空间SI的压力与各变形部63的弹力均衡的位置。另外，在第I空间SI形成压力比大气压低的负压时，第I空间SI的容积趋于缩小，因此，提起基部51的力发生作用而向上方移位。在该移位的作用下，施力部件6的各变形部63发生变形，发生使基部51下降的弹力。然后，基部51向上方移位到第I空间SI的压力与各变形部63的弹力均衡的位置。
[0102]在此，对于隔膜5，在基部51向上下方向移动时，薄壁部53的折回部53a的位置向上下方向移位而变形。在该变形中，隔膜5的基部51几乎不发生变形，仅薄壁部53变形。另外，因基部51上下移动，移动部件7也以相同的移动量上下移动，以致经由螺纹部件9支撑的保持部件8和其上所保持的磁体13也同样地上下移动。因此，可使磁体13在上下方向上移位，且与第I空间SI的压力变化成比例，通过如后述对该移位量进行检测，来检测第I空间SI的压力。
[0103]下面，对本实施方式的压力检测装置I中的第I调整机构和基于第I调整机构的调整方法进行说明。第I调整机构具有上述的柱状部71和螺纹部件9，可调整磁体13和磁传感器12在移动部件7移动方向(上下方向)上的相对位置。在该位置调整中，首先，在第I开口部Ml中插入棒状的夹具(未图示)，使夹具插通一对突出部83之间来限制保持部件8旋转。由于柱状部71的外螺纹71a和螺纹部件9的内螺纹91a咬合，因此，将工具插入螺纹部件9的六角孔91b进行旋转操作，由此使螺纹部件9和保持部件8在上下方向移动。由于磁体13保持于保持部件8,因此磁体13也与保持部件8 一同在上下方向移动,从而调整磁体13相对于磁传感器12在上下方向上的相对位置。而且，由于利用夹具限制保持部件8旋转，因此即使对螺纹部件9进行旋转操作，卡止片93也会在贯通孔81a中空转，而确保保持部件8的朝向，使得磁体13左右方向与磁传感器12对置。
[0104]下面，对本实施方式的压力检测装置I中的第2调整机构和基于第2调整机构的调整方法进行说明。第2调整机构具有可相对转动的螺纹部件9和保持部件8，其可调整磁体13和磁传感器12的相对位置，该相对位置是与移动部件7的移动方向(上下方向)交差的方向，且与连结磁体13的各极的方向(左右方向)交差的方向，即，前后方向(沿着与图2的纸面交差的圆弧的方向)。在该位置调整中，首先，将工具插入六角孔91b，由此可限制螺纹部件9在柱状部71周向旋转，限制螺纹部件9和磁体13 (保持部件8)上下移动。在该状态下，将上述夹具插入第I开口部M1，利用夹具使突出部83在前后方向移位，从而使保持部件8绕柱状部71和螺纹部件9的卡止片93旋转。这样，使保持于保持部件8右端侧的磁体13在前后方向移动，而调整磁体13与磁传感器12的相对位置。
[0105]下面，结合图5对磁传感器12的输出调整进行说明。图5A和图5B是说明磁传感器12和磁体13的位置关系的图，图5A是正面图，图5B是图5A的左视图。另外，图5C和图是表不磁传感器12的输出和第I空间SI的压力的关系的图表。在本实施方式中，在制造时或产品出厂前等利用压力检测装置I进行压力检测之前的阶段，在第I空间SI和第2空间S2压力相等的状态下进行磁传感器12的输出调整。
[0106]如上所述，在组装压力检测装置I时，如图5A和图5B所示，配置磁体13，使其与磁传感器12向后方及左方离开。在该磁体13和磁传感器12的位置关系下，磁传感器12通过检测磁体13的磁束朝向，与磁体13的上下方向移位量成比例地增减输出电压。具体地，磁体13越向下方移位，磁传感器12输出电压越大，磁体13越向上方移位，输出电压越小。如上所述，由于磁体13的上下方向移位量与第I空间SI的压力变化成比例，因此，在图5C和图的图表中，如实线所示，形成输出电压随着第I空间SI中压力上升而增大的比例关系O
[0107]可利用第I调整机构，使磁体13从图5A和图5B所示状态向上下方向移动。若向下方移动磁体13，则磁传感器12的输出电压增大，因此，磁传感器12的输出电压设定为图5C的图表中实线上方的虚线所示的情形。另一方面，若向上方移动磁体13，则磁传感器12的输出电压减小，因此，磁传感器12的输出电压设定为图5C的图表，实线下方的虚线所示的情形。由此，在第I空间SI和第2空间S2压力相等的状态下，通过利用第I调整机构在上下方向移动磁体13可进行原点调整，将输出电压设定为一定值。进而，在制造多个压力检测装置I时，能够保证各压力检测装置I相对于所检测的压力的输出电压为一定，可避免每个压力检测装置I的输出存在偏差。
[0108]另外,可利用第2调整结构使磁体13从图5A和图5B所示状态向前后方向移动。若向前方移动磁体13,则磁体13接近磁传感器12,因此,磁传感器12的输出电压设定为图5D的图表中，斜率大于实线的虚线所示情形。另一方面，若向后方移动磁体13，则磁体13远离磁传感器12,因此,磁传感器12的输出电压设定为图的图表中,斜率小于实线的虚线所示情形。由此，通过利用第2调整机构在前后方向移动磁体13，可将图的图表的倾斜(单位压力下的输出电压)调整为一定，通过对多个压力检测装置I进行该调整，可避免每个压力检测装置I的输出存在偏差。
[0109]而且，在利用各调整机构进行位置调整，完成磁传感器12的输出调整后，利用粘接剂固定各调整机构中可相对移位的柱状部71、螺纹部件9和保持部件8。可通过第I开口部Ml向第2空间S2内插入未图示的喷嘴而注入该粘接剂。
[0110]下面，对基于本实施方式的压力检测装置I的第I空间SI的压力检测方法进行说明。如上所述，在因进出连通部34的气体而使第I空间SI的压力发生变化时，磁体13会与该压力变化成比例地在上下方向移位。在磁体13发生移位时，磁传感器12中，磁体13的磁束朝向发生变化。磁传感器12的输出电压因该磁束朝向的变化而变化，根据磁传感器12的输出电压变化特性，由该输出电压与原点调整后的时刻的输出电压之差求出第I空间SI的压力值。
[0111]如上述说明，在本实施方式的压力检测装置I中，由于磁传感器12是检测磁束朝向的巨磁阻元件，因此能够不受磁体13的磁场强弱的影响，准确地检测磁体13的位置。由此，不需要现有的装置中的多种盘，也不必进行盘管理及盘更换作业，可提高磁传感器12输出调整(变化特性调整)的作业性。
[0112]另外，对于第I调整机构和第2调整机构，由于可借助螺合结构调整磁体13在上下方向和前后方向上的位置，因此可使调整作业简化，并可使结构简化。而且，上下方向作为第I方向，其沿着移动部件7随第I空间SI压力变化而移动的移动方向。另外，前后方向作为第2方向，与移动部件7随第I空间SI压力变化而移动的移动方向(上下方向)以及磁体13的各极(N极和S极)结合的方向(左右方向)这两者交差。
[0113]进而，保持部件8和螺纹部件9借助卡止片93卡合成一体，可将这两个部件作为一个部件进行处理，能够容易地将其安装到柱状部71。另外，可利用螺纹部件9的旋转操作使保持部件8和螺纹部件9 一起移动。
[0114]另外，由于在保持部件8上形成突出部83，因此可通过操作突出部83，使转动保持部件8，及对保持部件8进行旋转限制的操作性良好。而且，由于突出部83露出于第I开口部M1，因此可容易地使用夹具等对突出部83进行操作。
[0115]进而，由于使施力部件6为板簧，并将将其配置在第I空间SI，因而可不在第2空间S2配置施力部件6，因此可使第2空间S2中有充裕的空间，可提高在对位于第2空间S2内的各部件的布局及形状等进行设计时的自由度。
[0116]另外，在实施本实施方式时，可以适当地与其他实施方式中所示的结构相组合。
[0117](第2实施方式)
[0118]在本实施方式中，对结构不同于上述第I实施方式的压力检测装置进行说明。图6是本实施方式的压力检测装置Ia的分解立体图。图7是本实施方式的压力检测装置Ia的剖视图。图8是表示本实施方式的压力检测装置Ia的外观的立体图。对于压力检测装置Ia的描述中，上下方向、左右方向和前后方向与第I实施方式相同。
[0119]如图6?图8所示，本实施方式的压力检测装置Ia具有构成箱体120的上壳体(第I壳体)130和下壳体(第2壳体)140,利用隔膜150将箱体120的内部隔开,形成第I空间Sla和第2空间S2a(图7参照)。上壳体130和下壳体140夹住隔膜150的外周侧，下壳体140的卡合凸部141与上壳体130的卡合孔131卡合而形成一体。在隔膜150的上下两侧配置有施力部件160。在隔膜150的下表面侧安装有移动部件170，在移动部件170的下方隔着施力部件160(第2螺旋弹簧162)配置有螺纹体190。另外，基板200保持于下壳体140。例如通过对绝缘性的树脂材料成型而形成上壳体130、下壳体140、移动部件170和后述盖部件220。
[0120]上壳体130为向下方侧开口的盖形，其内部形成第I空间Sla。上壳体130的大径壁132形成为圆筒形，在外表面周向隔规定间隔形成多个卡合孔131。在大径壁132上端连接形成有呈环形的第I顶壁133，从第I顶壁133内周侧竖立设置有圆筒形的中间壁134。在中间壁134上端连接形成有呈环形的第2顶壁135，并贯通第2顶壁135内周侧而相连设置圆筒形的小径壁136。在小径壁136上端连接形成圆形的第3顶壁137，在第3顶壁137下表面，向下方突出形成有用于对施力部件160(第I螺旋弹簧161)定位的定位突部138 (请参考图7)。在大径壁132、第I顶壁133和中间壁部134外周面，向外侧(右侧)延伸地相连设置有管状的连通部139，连通部139与第I空间Sla连通。对连通部139连接未图示的配管，使来自外部的作为测定对象的气体通过。因而，要检测压力的气体经连通部139流入或流出第I空间Sla。
[0121]下壳体140形成为中空形状，在内部形成第2空间S2a。在下壳体140的圆筒壁部142外周面，在与卡合孔131相对应的位置处形成有多个上述卡合凸部141。使卡合凸部141在其下部区域的外周缘与卡合孔131的下部内周缘接触的状态下形成卡合，由此，限制上壳体130相对于下壳体140上升，以及限制两者在周向发生相对转动。
[0122]在圆筒壁部142的上部外周侧形成有台阶部142a，隔膜150的外周侧与其嵌合，而承载于该台阶部142a。在圆筒壁部142下部形成有图7剖视图所示的曲柄形延伸的底壁部143。在底壁部143的下段部143a前后两侧形成有起立壁部143b。在前方的起立壁部143b上形成有孔143c，可通过该孔143c对后述第2螺纹215进行旋转操作。在圆筒壁部142的下部右侧区域形成有沿右方向延伸的延长部144。延长部144具有水平方向延伸的水平部144a，和从水平部144a的前后两侧向下方延伸的垂下部144b。
[0123]在底壁部143的下段部143a设置有支撑基板200的支撑部件210。在侧面观察时，支撑部件210具有形成为凹形的支撑本体部211。在支撑本体部211内周侧形成有收容基板200下端和前后两端的槽211a，在支撑本体部211的前后两侧分别竖立设置有前端呈钩形的卡止片212。在将基板收容于槽211a内时，卡止片212的前端侧与基板200的外周缘卡止，通过该卡止及收容到槽211a来安装基板200，使其不能相对于支撑部件210移动。在支撑本体部211下表面相连设置有轴线向前后方向延伸的第I螺纹213。第I螺纹213仅保留有外螺纹下半部分的结构。另外，在支撑本体部211后侧设置有弹簧部件214。将带状的弹簧钢弯曲成倒V字形而构成弹簧部件214，并向其弯曲角度扩大的方向施加弹力。因而，在将弹簧部件214和支撑部件210置入下壳体140内的状态下，弹簧部件214向前方对支撑部件210施加力。
[0124]在第I螺纹213的下方设置有与第I螺纹213咬合的第2螺纹215。第2螺纹215结构与带有六角孔的固定螺丝相同，轴线沿前后方向延伸，在前端形成有六角孔215a。
[0125]图9是从上方观看下壳体140的概略立体图。如图7和图9所示，在底壁部143的下段部143a形成有收容第2螺纹215的下半部区域的接受部145。接受部145的底面形成为半圆筒面形，允许所收容的第2螺纹215绕轴线旋转。在下段部143a，在接受部145的前后两侧分别竖立设置有左右一对的卡止轴部146。在使第I螺纹213承载于第2螺纹215上部并与之咬合时，利用各卡止轴部146从左右方向夹持支撑本体部211，并使支撑本体部211上端与卡止轴部146前端卡止。由此,利用卡止轴部146限制支撑部件210在左右和上下方向上移动，并允许其在前后方向(图9中的上下方向)移动。
[0126]在下段部143a中，在卡止轴部146左侧，于前后分别相连设置有在上下方向延伸的棱柱部147，在各棱柱部147上形成有引导槽147a。在引导槽147a内部插入移动部件170的后述引导片173。另外，在棱柱部147之间且在接受部145左侧，形成有轴线为上下方向的内螺纹部148。在内螺纹部148中插入螺纹体190与之咬合，下端部形成为开口部148a，使螺纹体190露出到下壳体140外部。
[0127]如图6?图8所示，在下壳体140的下方设置有盖部件220，利用该盖部件220封闭处于圆筒壁部142下方的下段部143a的右侧部分，和延长部144的下方部分。在盖部件220前后两端的左右两侧竖立设置有前端钩形的卡止片221。右侧的卡止片221收容于形成在垂下部144b外表面的槽144c内，且上端与水平部144a卡止。左侧的卡止片221收容于形成在起立壁部143b外表面的槽143d内，上端与槽143d内的突起143e卡止。通过利用上述卡止片221卡止，可在安装盖部件220后使其不能相对于下壳体140移动。在盖部件220上表面设置有3根端子222，各端子222跨越圆筒壁部142的第2空间S2a和延长部144的内部空间。
[0128]由例如橡胶等弹性材料成形隔膜150。隔膜150具有与移动部件170上表面进行面接触的圆盘形的基部151。另外，隔膜150在其外周具有周缘部152，在图7的剖视图中该周缘部152形成为折角形状，以嵌合的方式承载于圆筒壁部142的台阶部142a。在周缘部152和基部151之间连接形成有厚度小于基部151的薄壁部153。在图7的剖视图中，薄壁部153形成向作为第2空间S2a侧的下方鼓出，并缓慢弯曲的形状，弯曲形状可因基部151上下运动而变化地发生变形。
[0129]施力部件160具有配置在第I空间Sla的第I螺旋弹簧(第I施力体)161，和配置在第2空间S2a的第2螺旋弹簧(第2施力体)162。第I螺旋弹簧161和第2螺旋弹簧162分别配置为被压缩的状态。因此，第I螺旋弹簧161对隔膜150的基部151向第2空间S2a侧(下侧)施加力，第2螺旋弹簧162对基部151向第I空间Sla侧(上侧)施加力。利用移动部件170和螺纹体190从上下方向夹持第2螺旋弹簧162。
[0130]在第I螺旋弹簧161上端侧插入上壳体130的定位突部138 (请参考图7)。第I螺旋弹簧161的下端侧收容于与基部151上表面接合的接受部件163。接受部件163形成为，具有圆筒体163a、相连设置于该圆筒体163a下端的底体163b的容器形状。在底体163b上表面，向上方突出形成有定位突部163c，插入到第I螺旋弹簧161的下端侧。圆筒体163a和小径壁136的内周面相接触，或隔着微小的间隙，可引导接受部件163在上下方向上移动。
[0131]移动部件170具有与基部151下表面接合，俯视为圆形的抵接部171。在抵接部171下表面向下方突出形成定位突部172，其插入第2螺旋弹簧162上端侧。另外，在抵接部171下表面向下方延伸形成呈叶片状的前后一对的引导片173。引导片173插入到引导槽147a内，限制移动部件170在周向上的转动，且可在引导槽147a内沿上下方向自由滑动。在抵接部171右侧的下部位置相连设置有保持磁体230的保持部174。保持部174形成与磁体230之间没有间隙的收纳室，配置在该收纳室内的磁体230的右表面卡止于爪部件174a。爪部件174a利用该卡止限制磁体230从保持部174脱落。
[0132]螺纹体190具有插入到内螺纹部148内部与之咬合的外螺纹部191。在外螺纹部191底部形成有六角孔191a，可在该六角孔191a中插入六角扳手等工具来对外螺纹部191做旋转操作。在外螺纹部191的上表面向上方突出形成有定位突部192，插入到第2螺旋弹簧162的下端侧。
[0133]基板200在被支撑于支撑部件210的状态下，经线束201与端子222电连接。在基板200上安装有磁传感器202，由与第I实施方式的磁传感器12相同的巨磁阻元件构成该磁传感器202。另外，磁化磁体230，使磁传感器202侧的右侧为N极，与磁传感器202侧相反的一侧的左侧为S极，在左右方向上极性彼此不同。
[0134]下面，对压力检测装置Ia的组装方法进行说明。首先，在下壳体140中安装基板200。在该安装中，在支撑部件210的支撑本体部211的槽211a中收容基板200的下端和前后两端，将卡止片212卡止于基板200的外周缘。在其之前或之后，以使六角孔215a位于前方的方式在接受部145中配置第2螺纹215。然后，使支撑部件210的第I螺纹213与第2螺纹215上部咬合，而将已卡住基板200的支撑部件210配置于下壳体140的下段部143a上。此时,在各卡止轴部146前端卡住支撑本体部211上端,形成由各卡止轴部146从左右方向夹持支撑本体部211的状态。然后，在下壳体140的下段部143a上，且在支撑部件210后侧配置弹簧部件214。弹簧部件214的作用力作用于相互咬合的第I螺纹213和第2螺纹215。
[0135]在下壳体140的下表面侧安装盖部件220。在该安装中，覆盖下壳体140的下表面侧而将盖部件220接近，并将右侧的卡止片221收容到垂下部144b的槽144c内，将左侧的卡止片221收容到起立壁部143b的槽143d内。接着，将右侧的卡止片221上端卡止于水平部144a，将左侧的卡止片221上端卡止于槽143d内的突起143e，形成将盖部件220安装于下壳体140的状态。另外，对下壳体140的内螺纹部148旋入安装螺纹体190，在第2螺旋弹簧162下端侧插入位于第2空间S2a的定位突部192。
[0136]在此，与将各部件组装于下壳体140单独地，将移动部件170的爪部件174a卡止于磁体230，在保持部174中保持磁体230。然后，将抵接部171接合于隔膜150的基部151下表面，将接受部件163下表面接合于基部151上表面。
[0137]通过上述接合，使隔膜150、移动部件170和接受部件163形成为呈一体的单元，配置该单元，使其覆盖下壳体140上方。在该配置中形成，保持于移动部件170的磁体230朝向右侧，而与基板200对置，且引导片173插入于引导槽147a的状态。另外，在第2螺旋弹簧162上端侧插入移动部件170的定位突部172，隔膜150的周缘部152嵌合承载于下壳体140的台阶部142a。
[0138]而且，在第I螺旋弹簧161下端侧插入定位突部163c，而将第I螺旋弹簧161配置于接受部件163内部。从该状态，在将上壳体130覆盖于下壳体140的上部区域后，将卡合凸部141卡合于上壳体130的卡合孔131。由此,作为箱体120,使上壳体130和下壳体140形成一体，并利用圆筒壁部142上端和第I顶壁133下表面夹住周缘部152。在该状态下，第I螺旋弹簧161和第2螺旋弹簧162两者形成压缩的状态，利用它们的弹力的平衡来保持隔膜150在上下方向上的位置。由此，在组装压力检测装置Ia时，由上壳体130和隔膜150形成第I空间Sla，并在下壳体140的隔膜150的下方形成第2空间S2a。
[0139]而且，上述压力检测装置Ia的组装方法仅为一个例子，并不限定于此，组装顺序等也可适宜变更。如图7所示，只要能够使各组成部件形成组装后的状态，则可以采用任意的组装方法。
[0140]在组装压力检测装置Ia后的状态下，由于下壳体140形成有孔143c等，因此第2空间S2a设定为与大气压相同。另一方面,对于第I空间Sla,在封闭上壳体130的连通部139后形成封闭的空间，其压力因经过连通部139流入或流出第I空间Sla的空气而变化。在此，例如，如图7所示，在隔膜150中，当基部151上表面比周缘部152上端略高时，则第I空间SI的压力与大气压相同。在该状态下，在第I空间Sla形成大于大气压的正压时，由于第I空间Sla的容积趋向于膨胀，因而作用将基部151压下的力，而使其向下方移位。第2螺旋弹簧162因该移位而被压缩，产生使基部151上升的弹力。接着，基部151向下方移位至使第I空间Sla的压力、各螺旋弹簧161、162的弹力平衡的位置。另外，在第I空间Sla形成小于大气压的负压时，由于第I空间Sla的容积趋向于缩小，因而作用将基部151上拉的力而使其向上方移位。第I螺旋弹簧161因该移位而被压缩，产生使基部151下降的弹力。接着，基部151向上方移位到使第I空间Sla的压力、各螺旋弹簧161、162的弹力平衡的位置。
[0141]在此，与基部151接合的移动部件170因基部151上下移动而以相同的移动量上下移动，随之，由移动部件170保持的磁体230也同样地上下移动。因此，能够使磁体230与第I空间Sla的压力变化成比例地在上下方向移位，并由磁传感器202检测该移位量，从而检测第I空间Sla的压力。而且，由于基于磁传感器202进行的压力检测与第I实施方式的压力检测相同，因此在此省略其说明。
[0142]下面，对本实施方式的压力检测装置Ia中的第I调整机构和基于第I调整机构的调整方法进行说明。第I调整机构具有上述螺纹体190和内螺纹部148，其可调整移动部件170在移动方向(上下方向)上的磁体230与磁传感器202的相对位置。在该位置调整中，通过将工具插入到螺纹体190的六角孔191a内做旋转操作，使螺纹体190在上下方向上移动。由于螺纹体190通过第2螺旋弹簧162与移动部件170连结，因此在螺纹体190上下移动时，第2螺旋弹簧162有一定量伸缩,并且使移动部件170在上下方向移动。由于磁体230保持于移动部件170，因此，磁体230也与移动部件170 —同在上下方向移动，而调整磁体230相对于磁传感器202在上下方向上的相对位置。
[0143]下面，对本实施方式的压力检测装置Ia中的第2调整机构和基于第2调整机构的调整方法进行说明。第2调整机构包括:含上述第I螺纹213的支撑部件210和第2螺纹215。第2调整机构可在图7的垂直纸面方向的与磁体230对置的平面内，与移动部件170的移动方向(上下方向)交差的方向，且在与连接磁体230各极的方向(左右方向)交差的方向(第2方向)上，即，在前后方向(图7中垂直纸面方向)上调整磁体230和磁传感器202的相对位置。在该位置调整中，使工具经孔143c插入第2螺纹215的六角孔215a，并进行旋转操作，由此使与第2螺纹215咬合的第I螺纹213在前后方向移动。由于含第I螺纹213的支撑部件210对搭载有磁传感器202的基板200加以支撑，因此，磁传感器202与第I螺纹213 —同在前后方向移动,而调整磁体230相对于磁传感器202在前后方向上的相对位置。
[0144]在此，支撑部件210因弹簧部件214而被施以向前方的力，因此能够防止因第I螺纹213和第2螺纹215的所谓游离间隙引起的晃动。由此，能使支撑部件210和磁传感器202高精度定位于进行调整后的位置。
[0145]而且，在完成了基于各调整机构的位置调整后，利用粘接剂将第I调整机构的螺纹体190和内螺纹部148，以及第2调整机构的第I螺纹213和第2螺纹215固定，使它们不能相对转动。可通过将未图示的喷嘴经由孔143c插入到第2空间S2a内，而向第I螺纹213和第2螺纹215注入粘接剂。
[0146]在第2实施方式中，除如上所述对各调整机构进行的操作以外，与在第I实施方式中结合图5所说明的磁传感器12的输出调整和第I空间SI的压力检测方法相同，因此省略说明。
[0147]如以上说明，在本实施方式的压力检测装置Ia中，利用第I调整机构使磁体230沿移动部件170的移动方向向第I方向移动，并利用第2调整机构使磁传感器202向第2方向移动，因此，可使基于各调整机构所进行的调整相互独立，并容易进行。另外，对于第I调整机构和第2调整机构，由于可利用螺合结构对磁体230和磁传感器202在上下方向及前后方向上的相对位置进行调整，因此可容易进行调整作业，并实现结构简化。
[0148]另外，本实施方式可与其他实施方式中所示的结构适宜组合而实施。
[0149]而且，本发明不限于上述实施方式，在实施时可进行各种变更。在上述实施方式中，并不限于附图所示的大小和形状等，可在发挥本发明的效果的范围内适当变更。另外，可以在不脱离本发明目的的范围内适当变更而实施。
[0150]例如，在上述实施方式中，令流入第I空间SI的流体为空气，但也可以是其他气体，也可以是水或热水等液体。
[0151]另外，上述磁体13、230的朝向限定为，在与移动部件7、170的移动方向交差的方向上成为异极，也可以进行变更，例如也可以设定为，相对于左右方向在偏右上或偏左上倾斜的方向上成为异极的朝向。
[0152]进而，第2调整机构在与移动部件7、170的移动方向交差的方向，且与连接磁体13,230的各极的方向交差的第2方向上，对磁体13、230与磁传感器12、202的相对位置进行调整即可，如各实施方式所示，当连结磁体13、230的各极的方向为左右方向时，并不限于前后方向，也可以在向该前后方向倾斜的方向上进行调整。另外，第2方向不必须是沿直线的方向，如第I实施方式所示，也可以是沿曲线(圆弧)的方向(周向)。
[0153]另外，对于第I实施方式中的施力部件6，也可以省略变形部63，而仅在由弹簧钢构成的圆形板体形成圆孔61a。进而，在第I实施方式中，也可以将施力部件6配置于第2空间S2，并从下方支撑隔膜5。
[0154]另外，第I实施方式中的磁体13也可以形成为，具有沿保持部件8的转动方向的圆筒面的形状。
【权利要求】
1.一种压力检测装置，其特征在于，包括: 箱体，具有能够使流体流入流出的连通部； 隔膜，隔开该箱体而形成第I空间和第2空间，能够根据与所述连通部连通的第I空间内的压力而变形； 移动部件，配置于所述第2空间，能够根据所述隔膜的变形而移动； 施力部件，能够变形地支撑所述隔膜； 磁体，与所述移动部件一同移动；和 磁传感器，配置于所述第2空间，检测来自所述磁体的磁场， 所述磁体被磁化为在与所述移动部件的移动方向交差的方向上成为异极， 所述压力检测装置具有第I调整机构和第2调整机构， 所述第I调整机构能够调整所述磁体和所述磁传感器在第I方向上的相对位置，所述第I方向是沿着所述移动部件的移动方向的方向， 所述第2调整机构能够调整所述磁体和所述磁传感器在第2方向上的相对位置，所述第2方向是与所述移动部件的移动方向交差且与连结所述磁体的各极的方向交差的方向，所述磁传感器包括能够检测磁束的朝向的巨磁阻元件。
2.如权利要求1所述的压力检测装置，其特征在于: 具有保持所述磁体的保持部件， 所述第I调整机构包括: 柱状部，与所述移动部件相连设置，在外周形成有外螺纹；和 螺纹部件，支撑所述保持部件，并且形成有与所述柱状部咬合的内螺纹， 通过使所述柱状部与所述螺纹部件相对转动，使该螺纹部件在所述柱状部的轴线方向上移动，从而能够调整所述保持部件和所述磁体在所述第I方向上的位置。
3.如权利要求2所述的压力检测装置，其特征在于: 所述第2调整机构包含相对于所述柱状部能够转动地支撑所述保持部件的所述螺纹部件而构成，利用所述保持部件的该转动，来调整所述磁体在所述第2方向上相对于所述磁传感器的位置。
4.如权利要求2或3所述的压力检测装置，其特征在于: 所述保持部件具有贯通部，所述柱状部能够相对转动地插通该贯通部， 所述螺纹部件具有插通并卡止于所述贯通部的卡止片，通过该卡止片与所述保持部件卡止，限制所述保持部件相对于所述螺纹部件向所述移动部件的移动方向的移动。
5.如权利要求2?4中任一项所述的压力检测装置，其特征在于: 所述第2调整机构具有突出部，该突出部形成于所述保持部件，并向与所述移动部件的移动方向交差的方向突出。
6.如权利要求2?5中任一项所述的压力检测装置，其特征在于: 所述箱体具有包含所述连通部的第I壳体和安装于该第I壳体并且收容所述保持部件的第2壳体， 所述第2壳体具有能够转动地引导所述螺纹部件的筒状的引导部和使所述保持部件露出到所述第2壳体的外部的开口部。
7.如权利要求2?6中任一项所述的压力检测装置，其特征在于: 在利用所述第I调整机构和第2调整机构进行了调整后，利用粘接剂以不能相对转动且不能相对移动的方式固定所述柱状部、保持部件和螺纹部件。
8.如权利要求1?7中任一项所述的压力检测装置，其特征在于: 所述施力部件由设置于所述第I空间的板簧构成。
9.如权利要求1所述的压力检测装置，其特征在于: 所述第2调整机构具有对搭载有所述磁传感器的基板加以支撑的支撑部件，通过使该支撑部件在与所述磁体对置的平面内移动，来调整所述磁体与所述磁传感器的相对位置。
10.如权利要求9所述的压力检测装置，其特征在于: 所述第2调整机构具有与所述支撑部件相连设置的第I螺纹和与该第I螺纹咬合的第2螺纹， 通过旋转该第2螺纹并移动所述第I螺纹，来调整所述支撑部件的位置。
11.如权利要求9或10所述的压力检测装置，其特征在于: 在所述支撑部件的侧部设置有弹簧部件，利用该弹簧部件，所述支撑部件被向与所述磁体对置的平面内的移动方向施力。
12.如权利要求9?11中任一项所述的压力检测装置，其特征在于: 所述施力部件具有:设置于所述第I空间，并向所述第2空间侧对所述隔膜施力的第I施力体；和设置于所述第2空间，经由所述移动部件向所述第I空间侧对所述隔膜施力的第2施力体。
13.如权利要求12所述的压力检测装置，其特征在于: 所述磁体保持于所述移动部件， 所述第I移动机构具有形成于所述箱体的内螺纹部和形成有与该内螺纹部咬合的外螺纹部的螺纹体，利用该螺纹体和所述移动部件夹持着所述第2施力体。
14.如权利要求13所述的压力检测装置，其特征在于: 所述箱体具有包含所述连通部的第I壳体和安装于该第I壳体并且收容所述移动部件的第2壳体， 所述第2壳体具有使所述螺纹体露出于该第2壳体的外部的开口部。
【文档编号】G01L9/14GK104344925SQ201410389715
【公开日】2015年2月11日 申请日期:2014年8月8日 优先权日:2013年8月9日
【发明者】二宫伸之, 漆原茂, 藤原周二 申请人:阿尔卑斯电气株式会社