燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片的制作方法
【专利摘要】燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片，是燃料电池内部湿度分布和热流密度分布的测量装置，其在导电基片上设置有与燃料电池流场板流道和脊相对应的漏缝和筋，并在筋上布置有湿度-热流密度联测传感器；湿度-热流密度联测传感器采用真空蒸发镀膜方法制作，包括八层薄膜。引线也采用真空蒸发镀膜方法制作，用于传递电信号，其延伸至流场板边缘处时放大形成引脚，以方便与外接数据采集设备相连。本发明可实现燃料电池内部湿度和热流密度分布的同步在线测量，并可作为独立的构件安装于燃料电池内部，结构简单，使用范围广，可适配于平行流道、蛇形流道、交错型流道或其他流道形状的燃料电池流场板。
【专利说明】燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片，属于燃料电池检测【技术领域】。
【背景技术】
[0002]燃料电池内部膜电极表面上电化学反应速率的不均匀会导致内部温度场的不均匀，若燃料电池结构设计不合理，将会导致燃料电池在运行过程中产生的热量无法及时排出，从而会造成燃料电池内部温度的异常升高，甚至使膜电极失效。
[0003]而湿度也是燃料电池性能一个重要影响因素，其不单影响燃料电池质子交换膜的质子传导，而且还会影响燃料电池内部反应生成物水的多少，同时又会影响燃料电池的传热传质，若燃料电池内部聚集过多的水，将会产生水淹现象，导致反应物不能与膜电极充分接触，性能降低。
[0004]因此通过对燃料电池内部湿度和热流密度分布的测量可以为选取最优运行工况和优化燃料电池结构设计提供重要的理论基础。而多数研究者只是针对燃料电池内部的热流密度或湿度某单一参数进行了测量研究，热流密度的测量大多采用在燃料电池内部植入传感器的方法，但传感器体积大，需要对燃料电池进行特殊改造，从而增加了测量工作的复杂程度；对于湿度测量，主要方法有通过改造燃料电池植入商用湿度传感器或采用刻蚀工艺制作湿度传感器进行测量，其增加了测量工作的复杂程度，增加了成本，对燃料电池结构均有一定的破坏，影响其性能的稳定。
[0005]本发明在导电基片上布置有湿度-热流密度联测传感器，其同时包括湿敏电容测湿单元和薄膜热流计测热流单元，实现了同步在线测量燃料电池内部湿度分布和热流密度分布；该测量装置独立于被测燃料电池，无需对燃料电池进行结构改造，减少了对燃料电池的拆装次数，从而保证了燃料电池性能的稳定。
【发明内容】
[0006]本发明的目的在于提供一种能同步在线测量燃料电池内部湿度分布和热流密度分布的装置。该装置可作为独立构件安装于燃料电池内部，结构简单，制作方便，无需对燃料电池内部结构进行特殊改造，简化了燃料电池内部湿度和热流密度分布测量的步骤。
[0007]为实现上述技术目的，本发明的技术方案如下:燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片，包括导电基片1、漏缝2、筋3、湿度-热流密度联测传感器4、引线5、定位孔7 ；所述漏缝2、筋3设置在导电基片I上，筋3位于两相邻漏缝2之间，漏缝2和筋3的形状和尺寸分别与燃料电池流场板上流道和脊的形状和尺寸相同，漏缝2和筋3的位置分别与燃料电池流场板流道和脊相对应；所述湿度-热流密度联测传感器4设置在筋3上；引线5的一端与湿度-热流密度联测传感器4的接线引出端相接，另一端延伸至导电基片I的边缘并放大形成引脚6 ;定位孔7对称、均匀设置在导电基片I四周，用以将导电基片I固定在燃料电池流场板上；燃料电池组装时，燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片布置在燃料电池流场板与膜电极中间，其设置有湿度-热流密度联测传感器4的面朝向膜电极侧并与之紧密接触。
[0008]所述湿度-热流密度联测传感器4包括湿敏电容测湿单元和薄膜热流计测热流单元，采用真空蒸发镀膜方法制作，包括八层薄膜:第一层为蒸镀在筋3上的厚为0.08-0.12 μ m的二氧化硅绝缘层16，作为绝缘衬底，第二层为在二氧化硅绝缘层16上蒸镀的厚为1.0-1.2μπι的下电极铝镀层17，第三层为在下电极铝镀层17上方涂覆一层厚为0.5-1 μ m的高分子聚合物感湿介质层18，第四层为在高分子聚合物感湿介质层18上方蒸镀的厚为1.0-1.2 μ m的上电极铝镀层19 ;所述上电极铝镀层19、高分子聚合物感湿介质层18和下电极铝镀层17构成湿敏电容，首端为湿敏电容接线引出端35，其中上电极铝镀层19的形状为蛇形；第五层为在二氧化硅绝缘层16上蒸镀的厚为0.1-0.12 μ m的薄膜热流计铜镀层20，第六层为在二氧化硅绝缘层16上蒸镀的厚为0.1-0.12 μ m的薄膜热流计镍镀层21，第七层为在先前镀层基础上蒸镀的厚为0.08-0.12 μ m的二氧化硅保护层22，第八层为在薄膜热流计上结点33所对的二氧化硅镀层上方蒸镀一层厚为1.2-2.0 μ m的二氧化硅厚热阻层23 ;所述薄膜热流计铜镀层20和薄膜热流计镍镀层21的形状分别为相互平行的四边形，首尾相互搭接，搭接处构成薄膜热流计上结点33和薄膜热流计下结点34，首端为薄膜热流计接线引出端32。
[0009]所述薄膜热流计接线引出端32和湿敏电容接线引出端35均制作成圆形，且均布置于二氧化硅绝缘层16的同一侧。
[0010]所述导电基片I的形状可制作成方形、圆形、多边形、梯形、三角形、不规则图形；导电基片I上漏缝2的形状可为蛇形漏缝、平行漏缝、孔状漏缝、交错型漏缝。
[0011]所述湿度-热流密度联测传感器4中湿敏电容中上下电极的金属镀层材料，还可选用金、铜、钼金属代替。
[0012]所述上电极铝镀层19的形状是根据掩膜的形状而设定的，其形状还可为锯齿状、梳状。
[0013]所述薄膜热流计金属镀层材料中，由铜和镍组成的纯金属镀层还可以选用钨和镍、铜和钴、钥和镍、锑和钴替代，也可采用金属混合物材料如铜和康铜替代。
[0014]所述薄膜热流计铜镀层20和薄膜热流计镍镀层21的形状是根据掩膜的形状而设定的，其形状还可以为长条形、弧形、菱形，首尾相互搭接后形状可为锯齿形、弧形、波浪形、Z字形。
[0015]所述二氧化硅厚热阻层23还可位于薄膜热流计下结点34的上方。
[0016]所述湿度-热流密度联测传感器4中的薄膜热流计中至少包括一对薄膜热流计上结点33、薄膜热流计下结点34。
[0017]所述薄膜热流计接线引出端32和湿敏电容接线引出端35的形状还可制作为椭圆形、矩形、梯形、三角形，其位置可分别相对的布置于二氧化硅绝缘层16的两侧。
[0018]引线5的宽度为0.1-0.2mm，在导电基片I的边缘处进行放大，形成引脚6。
[0019]引线5是采用真空蒸发镀膜方法蒸镀的四层薄膜构成:第一层为厚0.08-0.12 μ m的引线二氧化硅绝缘层36，第二层为厚0.1-0.12μπι的引线铜镀层37，第三层为厚0.1-0.12 μ m的引线金镀层38，最上一层为厚0.05-0.1 μ m的引线二氧化硅保护层39 ;其中，在引脚6处不蒸镀引线二氧化硅保护层39。
[0020]与现有技术相比，本发明具有如下有益效果。
[0021 ] 本发明的燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片，是在导电基片的筋上布置湿度-热流密度联测传感器，其导电基片上的漏缝与被测燃料电池流场板的流道相对应，不影响反应物向膜电极方向地扩散，可在燃料电池运行过程中实现对燃料电池内部湿度分布和热流密度分布的同步测量；与燃料电池组装时，该发明装置布置于燃料电池流场板和膜电极中间，其结构独立于被测燃料电池，不需要对燃料电池流场板或极板等其他结构进行特殊改造，降低了由测量装置的植入对燃料电池性能的影响；同时，该装置结构简单，制作方便，适用范围广，可适配于平行流道、蛇形流道、交错型流道或其它不规则流道形状的燃料电池流场板。
【专利附图】
【附图说明】
[0022]图1为燃料电池内部湿度-热流密度分布平行漏缝测量插片主观示意图；
[0023]图2为燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片上单个湿度-热流密度联测传感器的主观示意图；
[0024]图3为燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片上单个湿度-热流密度联测传感器的制作流程图；
[0025]图4为燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片上湿度-热流密度联测传感器引线的截面主观示意图；
[0026]图5为燃料电池内部湿度-热流密度分布交错漏缝测量插片主观示意图；
[0027]图6为燃料电池内部湿度-热流密度分布蛇形单漏缝测量插片主观示意图；
[0028]图7为燃料电池内部湿度-热流密度分布蛇形双漏缝测量插片主观示意图；
[0029]图中，1、导电基片，2、漏缝，3、筋，4、湿度-热流密度联测传感器，5、引线，6、引脚，7、定位孔；
[0030]8-15为湿度-热流密度联测传感器各层掩膜:8、二氧化硅绝缘层掩膜，9、下电极铝镀层掩膜，10、高分子聚合物感湿介质层掩膜，11、上电极铝镀层掩膜，12、薄膜热流计铜镀层掩膜，13、薄膜热流计镍镀层掩膜，14、二氧化硅保护层掩膜，15、二氧化硅厚热阻层掩膜；
[0031]16-23为根据掩膜制作的湿度-热流密度联测传感器各膜层:16、二氧化硅绝缘层，17、下电极铝镀层，18、高分子聚合物感湿介质层，19、上电极铝镀层，20、薄膜热流计铜镀层，21、薄膜热流计镍镀层，22、二氧化硅保护层，23、二氧化硅厚热阻层；
[0032]24-31为湿度-热流密度联测传感器的制作步骤:24、步骤一，25、步骤二，26、步骤三，27、步骤四，28、步骤五，29、步骤六，30、步骤七，31、步骤八；
[0033]32、薄膜热流计接线引出端,33、薄膜热流计上结点，34、薄膜热流计下结点，35、湿敏电容接线引出端；
[0034]36、引线二氧化硅绝缘层，37、引线铜镀层，38、弓丨线金镀层，39、引线二氧化硅保护层。
【具体实施方式】
[0035]下面结合附图对本发明作进一步描述。
[0036]参照图1所示，本发明的燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片，包括导电基片1、漏缝2、筋3、湿度-热流密度联测传感器4、引线5、引脚6、定位孔7 ;漏缝2和筋3设置在导电基片I上，其与被测燃料电池流场板上的流道和脊在形状和尺寸上相同，位置相互对应，在筋3上布置有湿度-热流密度联测传感器4 ;引线5 —端与湿度-热流密度联测传感器4相连，另一端延伸至导电基片I的边缘，用于传递湿度-热流密度联测传感器4产生的电信号；引脚6布置在导电基片I的边缘并与引线5相连；在导电基片的四周布置有定位孔7，方便该湿度-热流密度分布测量插片与燃料电池流场板的定位和固定。为与被测燃料电池的形状相匹配，导电基片I的形状可制作成方形、圆形、多边形、梯形、三角形等。测量时将该测量插片植入燃料电池流场板和膜电极组件之间，通过定位孔7将其固定在燃料电池流场板上，布置有湿度-热流密度联测传感器4的面朝向燃料电池膜电极组件方向，并与膜电极组件紧密接触，漏缝2与燃料电池流场板上的流道相对应，筋3与燃料电池流场板上的脊相对应，以使测量插片的植入不影响反应物向膜电极方向的扩散。同时，布置在测量插片上的湿度-热流密度联测传感器4对燃料电池内部的湿度和热流密度进行测量，产生的电信号通过引线5传递至引脚6，数据采集设备的数据输入端与引脚6相连即可采集到测量插片输出的电信号，并计算分析出燃料电池内部湿度分布和热流密度分布。
[0037]参照图2所示，本发明所述的湿度-热流密度联测传感器4包括测湿单元和测热流单元，测湿单元由湿敏电容构成，测热流单元由薄膜热流计构成；湿度-热流密度联测传感器4是采用真空蒸发镀膜方法制作而成，包括八层薄膜:第一层为蒸镀在导电基片I两相邻漏缝2之间的筋3上的厚为0.08-0.12 μ m的二氧化硅绝缘层16，作为绝缘衬底，第二层为在二氧化硅绝缘层16上蒸镀的厚为1.0-1.2 μ m的下电极铝镀层17，第三层为在下电极铝镀层17上方涂覆一层厚为0.5-1 μ m的高分子聚合物感湿介质层18，第四层为在高分子聚合物感湿介质层18上方蒸镀的厚为1.0-1.2μπι的上电极铝镀层19，第五层为在二氧化硅绝缘层16上蒸镀的厚为0.1-0.12 μ m的薄膜热流计铜镀层20，第六层为在二氧化硅绝缘层16上蒸镀的厚为0.1-0.12μπι的薄膜热流计镍镀层21，第七层为在所镀金属镀层的上方蒸镀的厚为0.08-0.12 μ m的二氧化硅保护层22，第八层为在薄膜热流计上结点33所对的二氧化硅镀层上方蒸镀一层厚为1.2-2.0 μ m的二氧化硅厚热阻层23。
[0038]薄膜热流计铜镀层20、薄膜热流计镍镀层21、二氧化硅保护层22和二氧化硅厚热阻层23构成了完整的薄膜热流计，以实现热流密度的测量，其测量原理为:由薄膜热流计铜镀层和薄膜热流计镍镀层首尾相互搭接构成热电堆，由于薄膜热流计上结点和薄膜热流计下结点上的二氧化硅热阻层厚度不同，从而使热电堆产生温差电势，其与上结点和下结点上二氧化硅热阻层的厚度差相关，而热流密度与温差、二氧化硅热阻层厚度差及导热系数相关，由于二氧化硅导热系数已知，故可计算出热流密度的大小。
[0039]图3为单个湿度-热流密度联测传感器的制作流程图:8-15为湿度-热流密度联测传感器各层掩膜，16-23为根据掩膜制作的湿度-热流密度联测传感器各膜层，24-31为湿度-热流密度联测传感器的制作步骤。首先在导电基片I的筋3上根据二氧化硅绝缘层掩膜8蒸镀一层二氧化硅绝缘层16，作为传感器的衬底，与导电基片充分绝缘，从而完成步骤一 24 ;步骤二 25为在二氧化硅绝缘层16上根据下电极铝镀层掩膜9蒸镀一层下电极铝镀层17，步骤三26为根据高分子聚合物感湿介质层掩膜10在下电极铝镀层17上方涂覆一层高分子聚合物感湿介质层18，步骤四27为在高分子聚合物感湿介质层18的上方根据上电极铝镀层掩膜11蒸镀一层上电极铝镀层19 ;其中，下电极铝镀层17、高分聚合物感湿介质层18和上电极铝镀层19构成了湿敏电容，实现了湿度的测量；步骤五28为根据薄膜热流计铜镀层掩膜12在二氧化硅绝缘层16上蒸镀一层薄膜热流计铜镀层20，步骤六29为根据薄膜热流计镍镀层掩膜13在二氧化硅绝缘层16上蒸镀一层薄膜热流计镍镀层21，薄膜热流计铜镀层20和薄膜热流计镍镀层21构成了薄膜热流计热电堆，步骤七30为在所镀金属镀层的上方根据二氧化硅保护层掩膜14蒸镀一层二氧化硅保护层22，其即作为湿敏电容上电极的保护层，又作为薄膜热流计的薄热阻层；步骤八31为在薄膜热流计上结点33所对应的二氧化硅镀层上方根据二氧化硅厚热阻层掩膜15蒸镀一层二氧化硅厚热阻层23 ；由以上步骤构成湿度-热流密度联测传感器，外接测量电路和数据采集设备即可实现对燃料电池内部湿度和热流密度的同步测量。
[0040]步骤二 25和步骤四27完成的湿敏电容上电极和下电极的金属镀层材料还可选用金、铜、钼等其他金属替代，其中，湿敏电容上电极铝镀层19的形状不仅可为图3所示的蛇形，还可为锯齿状、梳状等其他形状。步骤五28和步骤六29完成的薄膜热流计铜镀层20和薄膜热流计镍镀层21的形状分别为相互平行的四边形，首尾相互搭接，搭接处构成薄膜热电堆，其中至少包括一对薄膜热流计上结点33、薄膜热流计下结点34 ;薄膜热流计铜镀层20和薄膜热流计镍镀层21的形状是根据掩膜的形状而设定的，其形状还可以为长条形、弧形、菱形等，首尾搭接后的形状可为锯齿形、弧形、波浪形、Z字形等其它形状；薄膜热流计金属镀层的材料还可为钨和镍、铜和钴、钥和镍、锑和钴等替代，也可采用金属混合物材料如铜和康铜替代；二氧化硅厚热阻层23的位置还可位于薄膜热流计下结点34的上方。
[0041]薄膜热流计的首端为薄膜热流计接线引出端32，湿敏电容的首端为湿敏电容接线引出端35，其作用为方便与引线5相连，进行电信号的传导。薄膜热流计接线引出端32和湿敏电容接线引出端35的形状不仅可为图3所示的形状，还可为椭圆形、矩形、梯形、三角形等其它形状，其位置可均布置在二氧化硅绝缘层16的同一侧，也可相对的布置在二氧化硅绝缘层16的两侧，即当薄膜热流计接线引出端32位于二氧化硅绝缘层16的上侧时，湿敏电容接线引出端35布置在与薄膜热流计接线引出端32相对的二氧化硅绝缘层16的另一侧，以方便传感器引线5在导电基片上的布置。
[0042]参照图4所示，引线5的宽度为0.1-0.2mm，在导电基片I的边缘处进行放大，形成引脚6，以方便与外接测量电路及设备进行连接。该引线是采用真空蒸发镀膜方法蒸镀的四层薄膜构成:第一层为厚0.08-0.12 μ m的引线二氧化硅绝缘层36，第二层为厚0.1-ο.12μπι的引线铜镀层37，第三层为厚0.1-0.12μπι的引线金镀层38，最上一层为厚
0.05-0.1 μ m的引线二氧化硅保护层39 ;其中，在引脚6处不蒸镀引线二氧化硅保护层。
[0043]图5为燃料电池内部湿度-热流密度分布交错漏缝测量插片主观示意图，其导电基片I上的漏缝2和筋3与交错型流道流场板上的流道和脊相互对应，两相邻漏缝2之间的筋3上布置有湿度-热流密度联测传感器4，引线5的一端与湿度-热流密度联测传感器4的接线引出端相接，另一端延伸至导电基片I的外边缘并放大形成引脚6，用于湿度-热流密度联测传感器4电信号的传递。
[0044]图6为燃料电池内部湿度-热流密度分布蛇形单漏缝测量插片主观示意图，其导电基片I上的漏缝2和筋3与蛇形单通道流场板上的流道和脊相互对应，两相邻漏缝2之间的筋3上布置有湿度-热流密度联测传感器4，引线5的一端与湿度-热流密度联测传感器4的接线引出端相接，另一端延伸至导电基片I的外边缘并放大形成引脚6，用于湿度-热流密度联测传感器4电信号的传递。
[0045]图7为燃料电池内部湿度-热流密度分布蛇形双漏缝测量插片主观示意图，其导电基片I上的漏缝2和筋3与蛇形双通道流场板上的流道和脊相互对应，两相邻漏缝2之间的筋3上布置有湿度-热流密度联测传感器4，引线5的一端与湿度-热流密度联测传感器4的接线引出端相接，另一端延伸至导电基片I的外边缘并放大形成引脚6，用于湿度-热流密度联测传感器4电信号的传递。
[0046]采用本发明的燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片，能够方便的实现同步在线测量燃料电池内部湿度和热流密度的分布情况；该测量装置与被测燃料电池独立，不需要对燃料电池的结构进行特殊改造，结构简单，制作方便，使用范围广，即可实现单体燃料电池内部湿度和热流密度分布的测量，也可实现燃料电池堆内部湿度和热流密度分布的测量。
【权利要求】
1.燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片，包括导电基片(I)、漏缝⑵、筋(3)、湿度-热流密度联测传感器(4)、引线(5)、定位孔(7);所述漏缝(2)、筋(3)设置在导电基片(I)上，筋(3)位于两相邻漏缝(2)之间，漏缝(2)和筋(3)的形状和尺寸分别与燃料电池流场板上流道和脊的形状和尺寸相同，漏缝(2)和筋(3)的位置分别与燃料电池流场板流道和脊相对应；其特征在于:所述湿度-热流密度联测传感器(4)设置在筋(3)上；弓丨线(5)的一端与湿度-热流密度联测传感器(4)的接线引出端相接，另一端延伸至导电基片⑴的边缘并放大形成引脚(6);定位孔(7)对称、均匀设置在导电基片⑴四周，用以将导电基片(I)固定在燃料电池流场板上；燃料电池组装时，燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片布置在燃料电池流场板与膜电极中间，其设置有湿度-热流密度联测传感器(4)的面朝向膜电极侧并与之紧密接触； 所述湿度-热流密度联测传感器⑷包括湿敏电容测湿单元和薄膜热流计测热流单元，采用真空蒸发镀膜方法制作，包括八层薄膜:第一层为蒸镀在筋(3)上的厚为.0.08-0.12 μ m的二氧化硅绝缘层(16)，作为绝缘衬底，第二层为在二氧化硅绝缘层(16)上蒸镀的厚为1.0-1.2μπι的下电极铝镀层(17)，第三层为在下电极铝镀层(17)上方涂覆一层厚为0.5-1 μ m的高分子聚合物感湿介质层(18)，第四层为在高分子聚合物感湿介质层(18)上方蒸镀的厚为1.0-1.2μπι的上电极铝镀层(19);所述上电极铝镀层(19)、高分子聚合物感湿介质层(18)和下电极铝镀层(17)构成湿敏电容，首端为湿敏电容接线引出端(35)，其中上电极铝镀层(19)的形状为蛇形；第五层为在二氧化硅绝缘层(16)上蒸镀的厚为0.1-0.12 μ m的薄膜热流计铜镀层(20)，第六层为在二氧化硅绝缘层(16)上蒸镀的厚为0.1-0.12 μ m的薄膜热流计镍镀层(21)，第七层为在先前镀层基础上蒸镀的厚为0.08-0.12 μ m的二氧化硅保护层(22)，第八层为在薄膜热流计上结点(33)所对的二氧化硅镀层上方蒸镀一层厚为1.2-2.Ομπι的二氧化硅厚热阻层(23);所述薄膜热流计铜镀层(20)和薄膜热流计镍镀层(21)的形状分别为相互平行的四边形，首尾相互搭接，搭接处构成薄膜热流计上结点(33)和薄膜热流计下结点(34)，首端为薄膜热流计接线引出端(32)； 所述薄膜热流计接线引出端(32)和湿敏电容接线引出端(35)均制作成圆形，且均布置于二氧化硅绝缘层(16)的同一侧。
2.根据权利要求1所述的燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片，其特征在于:所述导电基片(I)的形状可制作成方形、圆形、多边形、梯形、三角形、不规则图形；导电基片(I)上漏缝(2)的形状可为蛇形漏缝、平行漏缝、孔状漏缝、交错型漏缝。
3.根据权利要求1所述的燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片，其特征在于:所述湿度-热流密度联测传感器(4)中湿敏电容中上下电极的金属镀层材料，还可选用金、铜、钼金属代替。
4.根据权利要求1所述的燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片，其特征在于:所述上电极铝镀层(19)的形状是根据掩膜的形状而设定的，其形状还可为锯齿状、梳状。
5.根据权利要求1所述的燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片，其特征在于:所述薄膜热流计金属镀层材料中，由铜和镍组成的纯金属镀层还可以选用钨和镍、铜和钴、钥和镍、锑和钴替代，也可采用金属混合物材料如铜和康铜替代。
6.根据权利要求1所述的燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片，其特征在于:所述薄膜热流计铜镀层(20)和薄膜热流计镍镀层(21)的形状是根据掩膜的形状而设定的，其形状还可以为长条形、弧形、菱形，首尾相互搭接后形状可为锯齿形、弧形、波浪形、Z字形。
7.根据权利要求1所述的燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片，其特征在于:所述二氧化硅厚热阻层(23)还可位于薄膜热流计下结点(34)的上方。
8.根据权利要求1所述的燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片，其特征在于:所述湿度-热流密度联测传感器(4)中的薄膜热流计中至少包括一对薄膜热流计上结点(33)、薄膜热流计下结点(34)。
9.根据权利要求1所述的燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片，其特征在于:所述薄膜热流计接线引出端(32)和湿敏电容接线引出端(35)的形状还可制作为椭圆形、矩形、梯形、三角形，其位置可分别相对的布置于二氧化硅绝缘层(16)的两侧。
10.根据权利要求1所述的燃料电池内部湿度-热流密度分布测量插片，其特征在于:引线(5)的宽度为0.1-0.2_，在导电基片⑴的边缘处进行放大，形成引脚(6)；引线(5)是采用真空蒸发镀膜方法蒸镀的四层薄膜构成:第一层为厚0.08-0.12μπι的引线二氧化硅绝缘层(36)，第二层为厚0.1-0.12 μ m的引线铜镀层(37)，第三层为厚.0.1-0.12 μ m的引线金镀层(38)，最上一层为厚0.05-0.1ym的引线二氧化硅保护层(39)；其中，在引脚(6)处不蒸镀引线二氧化硅保护层(39)。
【文档编号】G01K17/00GK104359951SQ201410636170
【公开日】2015年2月18日 申请日期:2014年11月5日 优先权日:2014年11月5日
【发明者】郭航, 王政, 叶芳, 马重芳 申请人:北京工业大学