1.一种传感器元件，具备：
支承用基板；
固定部，其与所述支承用基板连接；和
振动部，其与所述固定部连接，通过驱动电压的施加而进行驱动振动，输出与振动状态相应的检测信号，
所述支承用基板和所述固定部的至少一方具有设置在所述支承用基板和所述固定部连接的部分的绝缘膜。
2.根据权利要求1所述的传感器元件，其中，
所述绝缘膜是氧化膜。
3.根据权利要求1所述的传感器元件，其中，
所述固定部具有所述绝缘膜，
所述绝缘膜延伸到所述振动部的与所述支承用基板对置的面。
4.根据权利要求1所述的传感器元件，其中，
所述支承用基板的与所述固定部连接的面的面积不同于所述固定部的与所述支承用基板连接的面的面积。
5.根据权利要求1所述的传感器元件，其中，
所述绝缘膜具有：
第1绝缘膜；和
第2绝缘膜，其层叠于所述第1绝缘膜。
6.根据权利要求1所述的传感器元件，其中，
在所述支承用基板设有具有20μm以上的深度的腔。
7.根据权利要求6所述的传感器元件，其中，
所述支承用基板具有所述绝缘膜，
所述绝缘膜延伸到所述腔。
8.根据权利要求1所述的传感器元件，其中，
所述绝缘膜的膜厚为100nm以上。
9.根据权利要求1所述的传感器元件，其中，
所述振动部具有：
第1连结梁，其具有与所述固定部连接的一端；
第2连结梁，其具有针对所述固定部而在所述第1连结梁的所述一端的相反侧与所述固定部连接的一端；
第1振动臂，其具有与所述第1连结梁的另一端连接的一端；
第2振动臂，其具有针对所述第1连结梁的所述另一端而在所述第1振动臂的所述一端的相反侧与所述第1连结梁的所述另一端连接的一端；
第3振动臂，其具有与所述第2连结梁的另一端连接的一端；
第4振动臂，其具有针对所述第2连结梁的所述另一端而在所述第3振动臂的所述一端的相反侧与所述第2连结梁的所述另一端连接的一端；
第1质量块，其与所述第1振动臂的所述另一端和所述第3振动臂的所述另一端连接；和
第2质量块，其与所述第2振动臂的所述另一端和所述第4振动臂的所述另一端连接。
10.一种传感器元件，具备：
支承用基板；
固定部，其与所述支承用基板连接；
振动部，其与所述固定部连接，通过驱动电压的施加而振动，输出与振动的状态相应的检测信号；和
第1绝缘膜，其设置在所述支承用基板，
所述支承用基板具有与所述振动部对置的部分，
所述第1绝缘膜设置在所述支承用基板的与所述振动部对置的所述部分。
11.根据权利要求10所述的传感器元件，其中，
所述传感器元件还具备：
第2绝缘膜，其设置在所述振动部，
所述振动部具有与所述支承用基板对置的部分，
所述第2绝缘膜设置在所述振动部的与所述支承用基板对置的所述部分。
12.一种传感器元件，具备：
支承用基板；
固定部，其与所述支承用基板连接；
振动部，其与所述固定部连接，通过驱动电压的施加而振动，输出与振动的状态相应的检测信号；和
绝缘膜，其设置在所述振动部，
所述振动部具有与所述支承用基板对置的部分，
所述绝缘膜设置在所述振动部的与所述支承用基板对置的所述部分。