传感器元件的制作方法

技术总结
一种传感器元件，具备：支承用基板；与支承用基板连接的固定部；和与固定部连接的振动部。振动部通过驱动电压的施加而进行驱动振动，输出与振动状态相应的检测信号。支承用基板和固定部的至少一方具有设置在支承用基板与固定部连接的部分的绝缘膜。

技术研发人员：西胁英谦
受保护的技术使用者：松下知识产权经营株式会社
文档号码：201490001110
技术研发日：2014.10.20
技术公布日：2017.01.11