一种压电式六维力传感器的制作方法

文档序号:11822901阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于Stewart结构的压电式六维力传感器,其特征在于传感器由上平台1、下平台2、六只上杆球铰3、六只连接杆上杆4、六组一维压电石英传感器5、六只连接杆下杆6、六只下杆球铰7组成,下平台2的直径大于平台1的直径,六个支路一维压电石英传感器5按半对称结构均布连接于上下平台1、2之间,每个支路呈相同的仰角,采用球形铰链连接,六只上杆球铰3和六只下杆球铰7中每个球铰由四只固定螺钉固定在上平台1和下平台2,一维压电石英传感器5包括上连杆末端凸台a1、定位圆柱凸台a2、下连杆凸台b1、放置压电石英晶组凹槽b2、定位凹槽b3、固定螺钉8和压电石英晶组9;石英晶组9被安置在凹槽b2内,通过定位圆柱凸台a2和定位凹槽b3和六只均布固定螺钉8固定在凹槽b2内,并施加一定的预紧力。

2.根据权利要求1所述的一种基于Stewart结构的压电式六维力传感器,其特征在于石英晶组9有四片相同的xy型压电石英晶片91、92、93、94和两组xy引出电极(101、102)和一接地电极11组成,每组xy引出电极是由四片形状相同的xy引出电极两面涂抹导电胶后贴在压电石英晶片上,每片石英晶片都有定位孔,四片相同形状的xy引出电极102(c)、102(d)、102(e)、102(f),均匀的布置在石英晶片面上,石英晶片安装时以大倒角为基准对齐,两组xy型石英晶组之间由接地电极11两面涂抹导电胶后粘附。

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