技术总结
本发明涉及一种测量探头(300)，其包括：触针(306)，其具有用于接触被测物体(W)的接触部(348)；轴运动机构(310)，其具备移动构件(312)，该移动构件(312)使接触部(348)能够沿轴向(O)移动；以及旋转运动机构(334)，其具备旋转构件(RP)，该旋转构件通过旋转运动而使接触部能够沿着与轴向成直角的面移动，其中，该测量探头(300)包括：主体外壳(308)，其用于支承轴运动机构(310)；模块外壳(330)，其用于支承旋转运动机构(334)；以及位移检测器(328)，其被支承于主体外壳(308)，并用于检测移动构件(312)的位移。由此，能够保持低成本并且确保高测量精度。
技术研发人员：岛冈敦;宫崎智之;日高和彦
受保护的技术使用者：株式会社三丰
文档号码：201510382742
技术研发日：2015.07.02
技术公布日：2016.12.07