全域式影像检测系统及其检测方法与流程

文档序号:11805953阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种全域式影像检测系统,其特征在于,包括:

平面光源,用以投射具有周期变化的光影像于待测物上;

影像撷取装置,用以撷取经由该待测物反射的反射光影像;

光感测装置,用以检测该待测物上至少三个量测点的相对坐标,以拟合出平面;

处理单元,用以计算该反射光影像相位移后的相位变化,并根据该相位变化计算该待测物的表面形貌的相对高度分布,且计算该待测物的表面形貌相对于该平面的绝对高度分布,以得到绝对坐标信息;以及

量测模块,根据该绝对坐标信息对该待测物的表面进行检测。

2.如权利要求1所述的全域式影像检测系统,其特征在于,还包括定位平台,用以承载该待测物,该定位平台根据该绝对坐标信息移动该待测物至坐标位置。

3.如权利要求1所述的全域式影像检测系统,其特征在于,该平面光源投射均匀光影像至该待测物,以供该处理单元根据拟合出的该平面得到平面坐标系的坐标信息。

4.如权利要求1所述的全域式影像检测系统,其特征在于,该量测模块包括光学显微镜或光干涉仪。

5.如权利要求4所述的全域式影像检测系统,其特征在于,该光学显微镜或该光干涉仪根据该绝对坐标信息调整高度,以调整该光学显微镜或该光干涉仪与该待测物之间的焦距。

6.如权利要求1所述的全域式影像检测系统,其特征在于,该量测模块包括探针卡电性检测装置。

7.如权利要求6所述的全域式影像检测系统,其特征在于,该量测模块根据该绝对坐标信息调整间隙,以使该探针卡电性检测装置与该待测物电性接触。

8.一种全域式影像检测方法,其特征在于,包括:

以平面光源投射具有周期变化的光影像于待测物上:

撷取经由该待测物反射的反射光影像;

计算该反射光影像相位移后的相位变化,并根据该相位变化计算该待测物的表面形貌的相对高度分布;

检测该待测物上至少三个量测点的相对坐标,以拟合出平面;

计算该待测物的表面形貌相对于该平面的绝对高度分布,以得到绝对坐标信息;以及

根据该绝对坐标信息对该待测物的表面进行检测。

9.如权利要求8所述的全域式影像检测方法,其特征在于,还包括以定位平台承载该待测物,并根据该绝对坐标信息控制该定位平台移动该待测物至坐标位置。

10.如权利要求8所述的全域式影像检测方法,其特征在于,还包括以该平面光源投射均匀光影像至该待测物,并根据拟合出的该平面得到平面坐标系的坐标信息。

11.如权利要求8所述的全域式影像检测方法,其特征在于,该待测物以光学显微镜或光干涉仪进行检测时,还包括根据该绝对坐标信息调整高度,以调整该光学显微镜或该光干涉仪与该待测物之间的焦距。

12.如权利要求8所述的全域式影像检测方法,其特征在于,该待测物以探针卡电性检测装置进行检测时,还包括根据该绝对坐标信息调整间隙,以使该探针卡电性检测装置与该待测物电性接触。

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