技术总结
本发明的实施例的差分电容压力传感器具有位于单个基底的相反面上的第一和第二隔膜。压力转换器的每个隔膜配置为暴露于瞬态流体中，第一和第二压力转换器布置为以它们各自的偏转表面彼此向外指向。差分电容压力传感器可以配置为输出瞬态流体压力的差分和共模表达，其中在产生差分压力表达时共模表达被去除。瞬态流体可以是在流动通道内不同位置处的相同流体。隔膜可以由陶瓷材料构成，能够承受暴露于腐蚀性或苛性流体中。
技术研发人员：W.D.康韦尔;M.L.厄本;M.A.纳萨尔
受保护的技术使用者：森萨塔科技股份有限公司
文档号码：201580013506
技术研发日：2015.01.15
技术公布日：2017.01.04