技术总结
本发明提供一种光学共振腔的腔长量测装置，包括频率可调光源、分光镜、频率调制器以及光学共振腔。所述频率可调光源用以发出一光束。所述分光镜位于所述光束的光路上，并将所述光束分为第一光束与第二光束。所述频率调制器位于所述第二光束的主光路上，其中所述第二光束的频率经由所述频率调制器调制后与所述第一光束的频率之间具有一拍频。光学共振腔位于第一光束的主光路上与频率调制后的第二光束的主光路上，其中第一光束及频率调制后的第二光束入射至光学共振腔中，以供量测光学共振腔的腔长，且光学共振腔的腔长变化量由拍频测得。
技术研发人员：陈生瑞
受保护的技术使用者：财团法人工业技术研究院
文档号码：201610461302
技术研发日：2016.06.23
技术公布日：2017.05.31