技术特征：
1.一种等离子体原位表征方法，其特征在于，通过发射光谱仪、红外成像仪、高速图像捕捉系统与数字示波器对等离子体放电反应器内等离子体进行表征；表征方法如下：第一步，将发射光谱仪的光纤探头置于等离子体放电反应器的放电核心区域；将红外成像仪的第二图像采集器朝向等离子体放电核心区域；将高速图像捕捉系统的第一图像采集器置于等离子体放电反应器的放电核心区域；将数字示波器的电压探头附属高压极与等离子体放电反应器的高压极相连，数字示波器的电压探头附属接地极与地线相连，数字示波器的电流探头与等离子体放电反应器相连；第二步，打开等离子体放电反应器，通过等离子体放电反应器得到等离子体；第三步，打开发射光谱仪、红外成像仪、高速图像捕捉系统与数字示波器，并通过发射光谱仪、红外成像仪、高速图像捕捉系统与数字示波器对等离子体进行实时表征。2.如权利要求1所述的一种等离子体原位表征方法，其特征在于，第一步中，打开在线质谱仪；第三步中，通过在线质谱仪测定等离子体区中存在的各种中性粒子及分子的种类和数量。