技术总结
一种等离子体原位表征方法，通过发射光谱仪、高速图像捕捉系统、数字示波器、红外成像仪与在线质谱仪对等离子体进行表征。光纤探头和第一图像采集器均置于等离子体放电反应器的放电核心区域。数字示波器的电压探头附属高压极与等离子体放电反应器的高压极相连，电压探头附属接地极与地线相连，电流探头与等离子体放电反应器相连；第二图像采集器朝向等离子体放电核心区域；在线质谱仪的进样管与等离子体放电反应区出口相连。一种等离子体原位表征方法，各部件协同配合，可全方位实时监测等离子体活性物种的种类和数量、等离子体放电状态、电流电压波形、等离子体电子密度、等离子体区温度分布和产物组成等，可对等离子体放电过程进行原位表征。
技术研发人员：张婧;石宁;徐伟;孙峰;金满平;朱云峰;
受保护的技术使用者：中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司青岛安全工程研究院;
文档号码：201610546553
技术研发日：2016.07.12
技术公布日：2016.10.26