X射线管真空度的检测方法与流程

本发明涉及X射线管真空度的检测技术，具体涉及X射线管真空度的检测方法。

背景技术：

X射线管作为电真空器件，其管内的真空度直接影响着管子的高压绝缘性能，真空度太低时的气体电离也会影响X射线的发射。

因为传统的真空规无法进入X射线管的内部检测，所以目前行业内没有直接检测X射线管管内真空度的仪器，使得整管的真空度检测有一定困难。

为此，期望寻求一种技术方案，以至少减轻上述问题。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是，提供一种X射线管真空度的检测方法。

为解决一方面的技术问题，本发明采用如下技术方案。

一种X射线管真空度的检测方法，包括以下步骤：

步骤1，将电流表与钛泵串联后与电源连接，该钛泵的排气管与待检测的X射线管管内真空空间连通；

步骤2，将所述电流表的档位调节为μA档，将所述电源的输出电压调节至2-4kV，读取所述电流表的读数I₀，得到所述X射线管的本底电流I₀；以及

步骤3，在所述钛泵两侧标记位置分别设置磁片，将所述电流表的档位调节为mA档，将所述电源的输出电压调节至3.8-4.2kV，读取所述电流表的读数I_i，若I_i-I₀＝0时，则P≤3×10^-5Pa；

其中，P为X射线管的真空度，单位为Pa；I_i为离子电流，单位为μA。

所述步骤3中，若I_i-I₀＞0时，根据公式I_i-I₀＝K(P-3×10^-5)得到P＞3×10^-5Pa，其中，K为正的常数。

所述步骤3中，若所述电流表的读数I_i＜0.1mA，则将该电流表的档位调至μA档。

本发明具有下述有益技术效果。

本发明利用在钛泵两侧标记位置分别设置磁片，并给钛泵施加高压，这样在磁场和强电场的作用下，待检测的X射线管的真空空间内的带电离子作高速运动，并与该X射线管的真空空间内的气体分子发生碰撞电离，在电场作用下所产生的离子电流与残余气体密度即真空度近似成正比例关系，通过测定其离子电流就能判断该X射线管的真空度是否符合要求，以对X射线管的生产工艺、质量进行控制。

附图说明

图1示意性示出本发明涉及的检测时设备连接图。

具体实施方式

为能详细说明本发明的技术特征及功效，并可依照本说明书的内容来实现，下面结合附图对本发明的实施方式进一步说明。

图1示例性示出本发明涉及的众多检测时设备连接图中的一种检测时设备连接图的实施例。从图1所呈现的结构可以看出，电流表2的负接线柱与钛泵3的阳极接线柱电气连接，电流表2的正接线柱与电源1的正极电气连接，电源1的负极与钛泵3的排气管电气连接，钛泵3的排气管与待检测的X射线管5管内真空空间连通。

实施例1

本发明的一种X射线管真空度的检测方法，包括以下步骤：

步骤1，将电流表2与钛泵3串联后与电源1连接，该钛泵3的排气管与待检测的X射线管5管内真空空间连通；

步骤2，将电流表2的档位调节为μA档，将电源1的输出电压调节至2kV，读取电流表2的读数I₀＝2μA，得到X射线管5的本底电流I₀＝2μA；

步骤3，将磁片4分别设置于钛泵3两侧标记位置，将电流表2的档位调节为mA档，将电源1的输出电压调节至3.8kV，读取电流表2的读数I_i＝2μA，I_i-I₀＝0时，则P≤3×10^-5Pa；

其中，P为X射线管5的真空度，单位为Pa；I_i为离子电流，单位为μA。

实施例2

本发明的一种X射线管真空度的检测方法，包括以下步骤：

步骤1，将电流表2与钛泵3串联后与电源1连接，该钛泵3的排气管与待检测的X射线管5管内真空空间连通；

步骤2，将电流表2的档位调节为μA档，将电源1的输出电压调节至3kV，读取电流表2的读数I₀＝3μA，得到X射线管5的本底电流I₀＝3μA；

步骤3，将磁片4分别设置于钛泵3两侧标记位置，将电流表2的档位调节为mA档，将电源1的输出电压调节至4.0kV，读取电流表2的读数I_i＝3μA，I_i-I₀＝0时，则P≤3×10-⁵Pa；

其中，P为X射线管5的真空度，单位为Pa；I_i为离子电流，单位为μA。

实施例3

本发明的一种X射线管真空度的检测方法，包括以下步骤：

步骤1，将电流表2与钛泵3串联后与电源1连接，该钛泵3的排气管与待检测的X射线管5管内真空空间连通；

步骤2，将电流表2的档位调节为μA档，将电源1的输出电压调节至4kV，读取电流表2的读数I₀＝5μA，得到X射线管5的本底电流I₀＝5μA；

步骤3，将磁片4分别设置于钛泵3两侧标记位置，将电流表2的档位调节为mA档，将电源1的输出电压调节至4.2kV，读取电流表2的读数I_i＝50μA，根据公式I_i-I₀＝K(P-3×10^-5)，I_i-I₀＝45＝1×10⁶(P-3×10^-5)得到P＝7.5×10^-5Pa，因此P＞3×10^-5；

其中，P为X射线管5的真空度，单位为Pa；I_i为离子电流，单位为μA。

由此可见，基于上述实施例3的步骤3中，若I_i-I₀＞0时，根据公式I_i-I₀＝K(P-3×10^-5)得到P＞3×10^-5Pa，其中，K为正的常数。

通过上述实施例表明，待检测的X射线管5的真空空间内的带电离子作高速运动，并与该X射线管的真空空间内的气体分子发生碰撞电离，在电场作用下所产生的离子电流，通过测定该离子电流就可以判断该X射线管5的真空度是否符合要求，以对X射线管的生产工艺、质量进行控制。

在一些实施例中，上述实施例的步骤3中，若所述电流表的读数I_i＜0.1mA则将该电流表的档位调至μA档。

上述K为正的常数，根据X射线管管型的不同具有不同值，例如某种管型中，K＝1×10⁶μA/Pa。

需要说明的是，上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何适合的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再进行描述。

上面参照实施例对本发明进行了详细描述，是说明性的而不是限制性的，在不脱离本发明总体构思下的变化和修改，均在本发明的保护范围之内。