技术特征：
技术总结
本发明公开了用于平板双面异物检测的装置，包括用于承载平板的载物台，和分设在所述载物台两侧的检测设备，所述检测设备包括沿光线传播方向依次设置在所述载物台一侧的第一辐射光源、第一拦光装置和第一探测单元，以及沿光线传播方向依次设置在所述载物台另一侧的第二辐射光源、第二拦光装置和第二探测单元，所述第一辐射光源产生的光线照射在所述平板的一个表面，经反射，入射至所述第一拦光装置，经筛选，入射至所述第一探测单元，所述第二辐射光源产生的光线照射在所述平板的另一个表面，经反射，入射至所述第二拦光装置，经筛选，入射至所述第二探测单元，所述第一辐射光源和所述第二辐射光源产生的光线具有不同的波长。
技术研发人员：韩雪山;陆海亮
受保护的技术使用者：上海微电子装备（集团）股份有限公司
技术研发日：2016.10.21
技术公布日：2018.05.01