1.一种兰姆波传感器,其特征在于,用于测量气体中的水分,所述兰姆波传感器包括:
硅衬底层;
地电极层,设置在所述硅衬底层上;
压电薄膜,设置在所述地电极层上;
叉指电极,设置在所述压电薄膜上;
其中,所述硅衬底层的底部涂覆有亲水性材料层,用于吸收所述气体中的水分。
2.根据权利要求1所述的兰姆波传感器,其特征在于,所述压电薄膜为氮化铝压电薄膜。
3.根据权利要求1所述的兰姆波传感器,其特征在于,所述地电极层为钛材料层或者钼材料层。
4.根据权利要求1所述的兰姆波传感器,其特征在于,所述硅衬底层的底部设置有腐蚀槽,其中,所述亲水性材料层涂覆在所述腐蚀槽内。
5.根据权利要求1至4任一项所述的兰姆波传感器,其特征在于,所述亲水性材料层为以下之一:纳米材料层、聚乙烯有机薄膜、纤维材料层、氧化石墨烯复合材料层。
6.一种水分测量装置,其特征在于,包括:
流道底座,其上设置有凹槽,所述凹槽底部设置有气体流道;
权利要求1至5任一项所述的兰姆波传感器,设置在所述凹槽内;
流道上板,覆盖在所述流道底座上。
7.根据权利要求6所述的水分测量装置,其特征在于,所述兰姆波传感器的硅衬底层的底部朝向所述气体流道。
8.根据权利要求6所述的水分测量装置,其特征在于,在所述凹槽侧边与所述兰姆波传感器接触的位置设置密封部件。
9.根据权利要求8所述的水分测量装置,其特征在于,所述密封部件为密封圈,其中,所述凹槽外侧设置有环形槽,用于设置所述密封圈,所述密封圈的高度大于所述环形槽的深度,所述密封圈与所述兰姆波传感器接触,形成密封。
10.根据权利要求6所述的水分测量装置,其特征在于,还包括:
电路板,覆盖在所述流道上板上;
弹性探头,其一端与所述电路板电连接,另一端穿过所述流道上板并延伸形成弹性触头,其中,所述弹性触头与所述兰姆波传感器的叉指电极和地电极层电连接。
11.一种水分测量方法,其特征在于,包括:
在权利要求6至10任一项所述的水分测量装置的气体流道内通入待测气体;
涂覆在所述兰姆波传感器底部的亲水性材料层吸收所述待测气体中的水分;
所述兰姆波传感器在所述待测气体激发下产生电信号,输出所述电信号,其中,所述电信号用于表示所述亲水性材料层吸收所述待测气体中的水分后所述兰姆波传感器生成的振动信号。
12.一种气体湿度测量方法,其特征在于,包括:
获取权利要求6-10所述的水分测量装置检测到的电信号,所述电信号用于表示所述亲水性材料层吸收待测气体中的水分后所述兰姆波传感器生成的振动信号;
根据所述电信号确定出所述兰姆波传感器生成的振动信号的频率;
根据气体相对湿度与所述兰姆波传感器生成的振动信号的频率之间的对应关系,确定所述待测气体的相对湿度;或者,确定所述兰姆波传感器生成的振动信号的频率与基准频率之间的变化量,其中,所述基准频率为所述兰姆波传感器在干燥气体的激发下生成的振动信号的频率;根据气体相对湿度与变化量之间的对应关系,确定所述待测气体的相对湿度。