技术总结
本发明公开了一种水分测量装置和方法、兰姆波传感器及气体湿度测量方法，其中，该兰姆波传感器包括：硅衬底层；地电极层，设置在所述硅衬底层上；压电薄膜，设置在所述地电极层上；叉指电极，设置在所述压电薄膜上；其中，所述硅衬底层的底部涂覆有亲水性材料层，用于吸收所述气体中的水分。本发明通过在兰姆波传感器的硅衬底层底部涂覆亲水性材料层，使得在测量气流中的水分时，由于吸收水分导致质量发生变换，进而引起振动频率的变化，由于可以测量出气体中的水分，实现兰姆波传感器在水分测量中的应用。
技术研发人员：周连群;孔慧;李传宇;郭振;邱亚军;张威;姚佳;张芷齐
受保护的技术使用者：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所;苏州国科芯感医疗科技有限公司
文档号码：201611021076
技术研发日：2016.11.15
技术公布日：2017.05.31