一种超高真空样品输运系统的制作方法

文档序号:14732253发布日期:2018-06-19 19:44阅读:289来源:国知局
技术总结
本发明公开了超高真空样品输运系统,包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空样品室,串联的超高真空样品室之间设有闸板阀片,超高真空样品室铺设轨道;且所述的超高真空样品输运小车主要由2个超高真空样品存储台,超高真空样品存储台顶端均设有固定在样品存储台的永磁铁,设有隔磁金属板隔离在2个超高真空样品存储台之间,超高真空样品输运小车下部设有4‑6个独特的小车导向轮,且小车导向轮在所述轨道上运行,串联的超高真空样品室外表面设有驱动磁铁。实现在超高真空传送系统内同时完成16块样品的输运。 1

技术研发人员:何亮;王克杰;刘文卿;徐高翔;徐永兵
受保护的技术使用者:南京大学
技术研发日:2016.12.02
技术公布日:2018.06.19

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