一种基于外置耦合光栅谐振腔的高精度测量装置的制作方法

文档序号:16022754发布日期:2018-11-23 18:35阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于外置耦合光栅谐振腔的高精度测量装置,其特征在于:包括光源(1)、第一光纤(2)、光学光谱分析仪(3)、第二光纤(4)、纳米锥形光学光纤(5)、外置耦合光栅(6);

其中,纳米锥形光学光纤(5)的一端通过第一光纤(2)与光源(1)的输出端连接,另一端通过第二光纤(4)与光学光谱分析仪(3)的输入端连接;外置耦合光栅(6)水平镶嵌于纳米锥形光学光纤(5)的下侧,且外置耦合光栅(6)的中心光腔对应于纳米锥形光学光纤(5)的腰部中央;

所述外置耦合光栅(6)包括基底、第一外置耦合光栅(9)、第二外置耦合光栅(10)、第三外置耦合光栅(11)、第四外置耦合光栅(12)、第五外置耦合光栅(13);

其中,第一外置耦合光栅(9)、第二外置耦合光栅(10)、第三外置耦合光栅(11)、第四外置耦合光栅(12)、第五外置耦合光栅(13)由左向右依次排列于基底的上表面中央;

第一外置耦合光栅(9)为无缺陷的光栅;第二外置耦合光栅(10)、第三外置耦合光栅(11)、第四外置耦合光栅(12)、第五外置耦合光栅(13)均为有缺陷的光栅;

基底的长度(14)为15mm、宽度(15)为12mm、厚度(16)为2mm;

第一外置耦合光栅(9)的狭板宽度(17)为50nm、光栅周期(18)为330nm、支撑板宽度(19)为0.25mm、光栅长度(20)为1mm、凹槽宽度(21)为305nm、凹槽深度(22)为2μm、狭板数(23)为300;

第二外置耦合光栅(10)的狭板宽度(24)为50nm、光栅周期(25)为340nm、支撑板宽度(26)为0.25mm、光栅长度(27)为1mm、凹槽宽度(28)为510nm、凹槽深度(29)为2μm、左部狭板数(30)为75、右部狭板数(31)为75;

第三外置耦合光栅(11)的狭板宽度(32)为50nm、光栅周期(33)为300nm、支撑板宽度(34)为0.25mm、光栅长度(35)为1mm、凹槽宽度(36)为450nm、凹槽深度(37)为2μm、左部狭板数(38)为100、右部狭板数(39)为100;

第四外置耦合光栅(12)的狭板宽度(40)为50nm、光栅周期(41)为340nm、支撑板宽度(42)为0.25mm、光栅长度(43)为1mm、凹槽宽度(44)为510nm、凹槽深度(45)为2μm、左部狭板数(46)为125、右部狭板数(47)为125;

第五外置耦合光栅(13)的狭板宽度(48)为50nm、光栅周期(49)为320nm、支撑板宽度(50)为0.25mm、光栅长度(51)为1mm、凹槽宽度(52)为495nm、凹槽深度(53)为2μm、左部狭板数(54)为165、右部狭板数(55)为165。

2.根据权利要求1所述的一种基于外置耦合光栅谐振腔的高精度测量装置,其特征在于:所述基底为石英基底;所述第一外置耦合光栅(9)、第二外置耦合光栅(10)、第三外置耦合光栅(11)、第四外置耦合光栅(12)、第五外置耦合光栅(13)均为二氧化硅材料。

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