技术总结
本发明涉及微观粒子几何尺寸的精密测量装置，具体是一种基于外置耦合光栅谐振腔的高精度测量装置。本发明解决了现有微观粒子几何尺寸的精密测量装置成本高、耦合效率低、加工难度大的问题。一种基于外置耦合光栅谐振腔的高精度测量装置，包括光源、第一光纤、光学光谱分析仪、第二光纤、纳米锥形光学光纤、外置耦合光栅；其中，纳米锥形光学光纤的一端通过第一光纤与光源的输出端连接，另一端通过第二光纤与光学光谱分析仪的输入端连接；外置耦合光栅水平镶嵌于纳米锥形光学光纤的下侧，且外置耦合光栅的中心光腔对应于纳米锥形光学光纤的腰部中央。本发明适用于微观粒子几何尺寸的精密测量。
技术研发人员：郭龑强;姬玉林;彭春生;郭晓敏;李璞
受保护的技术使用者：太原理工大学
技术研发日：2016.12.20
技术公布日：2018.11.23