技术总结
本发明涉及一种带有Offner补偿器的非球面检测光路中光学间隔非接触精密测量的系统及方法，属于非球面检测领域，该系统包括激光干涉仪、镜面定位仪、Offner补偿器、被测非球面镜以及与最佳面形检测光路共光轴的光轴指向十字分划板；该系统有三条自准直检测光路，三条自准直检测光路为同一共光轴光路，即非球面面形误差均方根RMS值最小时的最佳面形检测光路光轴，构建光学间隔检测直线光轴，通过镜面定位仪非接触式测量检测光路中的不同光学间隔，并将其代入光学设计软件中进行复算可得非球面顶点曲率半径R、二次常数K等几何参数值。本发明测量精度约为0.05mm，检测精度高，非接触式测量。
技术研发人员：付西红;李华;马娜娜;刘杰;宋冲;李硕
受保护的技术使用者：中国科学院西安光学精密机械研究所
文档号码：201611192915
技术研发日：2016.12.21
技术公布日：2017.05.31