接触式分中测量方法与流程

文档序号:11100142阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种接触式测量方法,其特征在于,包括:

安装于接触式探头上的探针移动至待测工件第一侧并与所述待测工件的第一侧的第一待测点接触获得第一测量值;

所述接触式探头带动所述探针移动至所述待测工件的第二侧,所述接触式探头或所述探针自旋转180°后,所述探针接触所述待测工件的第二侧的第二待测点并获得第二测量值;

计算第一测量值与第二测量值的平均值作为测量值。

2.如权利要求1所述的接触式测量方法,其特征在于:驱动所述接触式探头的主轴旋转180°前,还包括控制所述接触式探头远离待测工件的步骤。

3.如权利要求1所述的接触式测量方法,其特征在于:所述探针的同一侧部位接触所述第一待测点和所述第二待测点。

4.如权利要求1所述的接触式测量方法,其特征在于:所述第一测量值和所述第二测量值分别为相对系统0点的坐标值。

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