一种用于检测氨基酸分子的GeSicore/shell纳米器件的制作方法

文档序号:12452060阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于氨基酸分子检测的GeSi core/shell纳米器件,其特征在于:该纳米器件包含一段GeSi core/shell纳米线,所述纳米线两端分别与两个金电极相连接,且纳米线表面功能化设定种类的氨基酸分子。

2.根据权利要求1所述的用于氨基酸分子检测的GeSi core/shell纳米器件,其特征在于:所述GeSi core/shell纳米线直径为1~2nm,长度不小于2nm。

3.根据权利要求1所述的用于氨基酸分子检测的GeSi core/shell纳米器件,其特征在于:该GeSi core/shell纳米器件通过以下步骤获得:

S1:用化学气相沉积法生长直径为1~2nm且长度不小于2nm无缺陷的GeSi core/shell纳米线;

S2:采用电子束刻蚀技术将纳米线裁剪成长度为1~2nm的纳米棒;

S3:对shell区域的Si原子进行H原子钝化;

S4:沿纳米棒方向的左右两端分别连接上金电极;

S5:在该器件的散射区表面功能化设定种类的氨基酸分子。

4.根据权利要求1~3任一所述的用于氨基酸分子检测的GeSi core/shell纳米器件,其特征在于:所述纳米线其输运方向在GeSi core/shell[111]面。

5.根据权利要求1~3任一所述的用于氨基酸分子检测的GeSi core/shell纳米器件,其特征在于:所述纳米线与电极接触面的Si和Ge原子全部与电极的Au原子相连接。

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