一种具有高稳定性的硅电容结构的制作方法

文档序号:11985954阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有高稳定性的硅电容结构,包括集成电路(2)以及连接在所述集成电路(2)一侧的压块(6),其特征在于:所述压块(6)底端设有玻璃一(7);所述玻璃一(7)底端设有硅芯片(8),且所述硅芯片(8)底端设有封接面(9);所述硅芯片(8)中间连接硅膜片(1),所述封接面(9)连接玻璃二(10),且所述玻璃二(10)一侧设有密封面(3);所述玻璃二(10)底端连接导压管(5),且所述导压管(5)在加热块(4)的中心面;所述加热块(4)一侧设有引脚(11)。

2.根据权利要求1所述的一种具有高稳定性的硅电容结构,其特征在于:所述玻璃一(7)和所述玻璃二(10)均设有两块,且两块玻璃一(7)和所述玻璃二(10)形成对称结构。

3.根据权利要求1或2所述的一种具有高稳定性的硅电容结构,其特征在于:所述硅芯片(8)与所述硅膜片(1)连接形成岛膜结构,且所述硅芯片(8)的厚度比所述硅膜片(1)的厚度厚。

4.根据权利要求3所述的一种具有高稳定性的硅电容结构,其特征在于:所述集成电路(2)连接所述压块(6)和所述加热块(4)。

5.根据权利要求4所述的一种具有高稳定性的硅电容结构,其特征在于:所述硅芯片(8)与所述玻璃二(10)、所述玻璃一(7)之间通过所述封接面(9)连接。

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