技术总结
本实用新型公开了具有多量程的微电容参比测量电路，包括被测电容电路以及多个参比电容测量电路。激励电压信号从此公共端接入测量电路，各个电容的电流通过其对应的运算放大器及反馈电路转换为各自的电压信号，进而测量被测电容电路以及某一个参比测量电路的输出电压信号比值得到被测电容的电容量，由此通过将参比电容设置为不同的电容量以及控制被测电容电路对应的反馈电路实现多个测量量程，从而扩展了微电容参比测量电路的测量范围，通过多量程设置的不同的参比电容与被测电容结构的比较，提高了被测电容的精度。该电路应用于模拟集成电路测试系统、数字集成电路测试系统、混合集成电路测试系统以及半导体分立器件测试系统中。
技术研发人员：郝瑞庭;王俊美
受保护的技术使用者：北京华峰测控技术有限公司
文档号码：201620615022
技术研发日：2016.06.21
技术公布日：2017.01.11