扩散炉用热电偶组件的制作方法

本实用新型涉及扩散炉加工领域，尤其涉及扩散炉用热电偶组件。

背景技术：

芯片制造工艺在P/N结形成时，需要配备扩散炉来进行扩散。按照工艺要求最高温度设计达到1260度，采用铂铑热电偶配以温控器进行温度控制。炉管方面采用碳化硅管进行工艺扩散，热电偶需要人工将其放置在扩散炉内，需要操作人员经验丰富，同时，如图2所示，现有的热电偶为开放式，在高温时一旦热电偶探头接近炉管（碳化硅材质）将会产生火花放电，导致热偶损坏，降低了使用寿命。

技术实现要素：

本实用新型针对以上问题，提供了一种结构简单，方便操作，提高使用寿命的扩散炉用热电偶组件

本实用新型的技术方案是：所述扩散炉包括炉膛和炉管，所述炉管设在炉膛内，所述炉膛上设有用于放置热电偶的穿孔；所述热电偶组件包括热电偶和支架，所述热电偶通过支架支撑连接在炉膛的穿孔内；

所述热电偶包括陶瓷套管和热偶丝，所述陶瓷套管包覆热偶丝的一端为包覆段，所述包覆段位于所述炉膛内。

所述支架包括撑盘和三个支杆，三个支杆均布连接在撑盘和炉膛之间、形成三角支撑，所述撑盘的盘口与穿孔的中心线一致。

所述陶瓷套管上还设有测距仪，所述测距仪位于支架的外侧。

本实用新型在工作中，将放置于炉膛内的开放式热电偶改进为包覆式热电偶，陶瓷套管包覆热偶丝形成包覆段，避免热偶丝直接与炉管接触，提高热电偶的使用寿命。热电偶可通过支架支撑，方便穿过穿孔，操作可靠；同时，可通过测距仪进行测量，避免热电偶接触炉管。本实用新型方便加工，操作可靠。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图，

图2是现有技术的结构示意图；

图中1是炉膛，2是炉管，3是穿孔，4是热电偶，41是陶瓷套管，42是热偶丝，5是支架，51是撑盘，52是支杆，6是测距仪,7是包覆段。

具体实施方式

本实用新型如图1所示，所述扩散炉包括炉膛1和炉管2，所述炉管2设在炉膛1内，所述炉膛1上设有用于放置热电偶4的穿孔3；所述热电偶组件包括热电偶4和支架5，所述热电偶通过支架支撑连接在炉膛的穿孔内；

所述热电偶4包括陶瓷套管41和热偶丝42，所述陶瓷套管包覆热偶丝的一端为包覆段7，所述包覆段位于所述炉膛内；全包覆设计延长热偶适用寿命，节省维修成本。

应用中，首先将热电偶安装至炉膛内部，热电偶由于是全包覆设计，即使陶瓷管完全靠近炉管，由于陶瓷的阻挡，避免热偶丝直接与炉管接触大大的提高了热电偶的使用寿命。

所述支架5包括撑盘51和三个支杆52，三个支杆均布连接在撑盘和炉膛之间、形成三角支撑，所述撑盘的盘口与穿孔的中心线一致，便于热电偶放置，操作可靠。

所述陶瓷套管上还设有测距仪6，所述测距仪位于支架的外侧，便于测距，直观了解热电偶进入炉膛内长度尺寸，避免接触炉管。