斜抛光纤低压传感器的制作方法

文档序号:12778652阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种斜抛光纤低压传感器,其特征在于,包括V型光纤槽、硅敏感膜以及斜抛光纤,该斜抛光纤的端面具有倾斜的光纤反射面;V型光纤槽的背部通过硅-硅键合的方式和硅敏感膜的基底连接成一体;斜抛光纤搭接在V型光纤槽的两倾斜槽壁上,且斜抛光纤与V型光纤槽的两槽壁形成的间隙中采用紫外粘结剂粘结固定;光纤反射面背向V型光纤槽设置;所述斜抛光纤的侧壁与硅敏感膜形成法布里-珀罗腔。

2.根据权利要求1所述的斜抛光纤低压传感器,其特征在于,光纤反射面的倾角为45°。

3.根据权利要求1所述的斜抛光纤低压传感器,其特征在于,所述光纤反射面镀银膜;银膜厚度为50nm。

4.根据权利要求1所述的斜抛光纤低压传感器,其特征在于,V型光纤槽、硅敏感膜均基于硅片腐蚀工艺制成。

5.根据权利要求1所述的斜抛光纤低压传感器,其特征在于,所述斜抛光纤端面所具有的光纤反射面是通过斜抛光纤工艺制成。

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