一种热成像传感器像素单元及其阵列的制作方法

文档序号:11726891阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种热成像传感器像素单元及其阵列,该像素单元包括:衬底、热量汇聚组件和热吸收组件;热吸收组件位于衬底和热量汇聚组件之间;热量汇聚组件包括聚焦透镜;聚焦透镜内嵌在中空的框架内悬空架设在热吸收组件的上方;热吸收组件包括热吸收板和位于热吸收板表面的温度传感器;热吸收板通过第一支撑架悬空架设在衬底的上方;聚焦透镜用于将热辐射汇聚至热吸收板的表面。本发明实施例提供的技术方案,通过设置悬空的聚焦透镜使物体的热辐射进行汇聚,从而减少了热散射,提高了热吸收的比例,进而提高了检测的准确度。

技术研发人员:王喆垚
受保护的技术使用者:清华大学
技术研发日:2017.02.13
技术公布日:2017.07.14
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