一种高温压力传感器专用集成电路的制作方法

文档序号:12446532阅读:来源:国知局
技术总结
一种高温压力传感器专用集成电路,属于信号处理领域,解决了现有体硅CMOS工艺的压力传感器专用集成电路的额定工作温度上限值过低和不具备对压力传感器进行温度失调补偿的功能的问题。本发明所述集成电路:内建电源单元与外部电压源相连,并用于同时为恒流源单元、仪表放大器单元和失调补偿单元提供零温度系数的工作电压。恒流源单元的温度系数可调,其用于为高温压力传感器提供工作电流,并对其进行温度补偿。仪表放大器单元用于放大高温压力传感器的输出信号。失调补偿单元用于同时对所述集成电路进行系统失调补偿和温度失调补偿。所述集成电路采用SOI CMOS工艺制成。本发明特别适用于对高温压力传感器的输出信号进行放大和补偿。

技术研发人员:程鑫;陈东亮;吴亚林;寇文兵;田雷
受保护的技术使用者:中国电子科技集团公司第四十九研究所
文档号码:201710205681
技术研发日:2017.03.30
技术公布日:2017.05.31

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