一种超薄膜及基于其的有机场效应晶体管传感器的制备方法与流程

文档序号:11284169阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种超薄膜及基于其的有机场效应晶体管传感器的制备方法,其特征在于:是由聚合物半导体材料和聚合物绝缘材料在有机溶剂中共混,然后旋涂成双层薄膜,再采用良溶剂溶解去除聚合物绝缘材料薄膜,即获得聚合物半导体材料的超薄膜,在其上蒸镀电极后即获得有机场效应晶体管传感器。本发明具有操作简单、重复性好、对设备和工艺条件要求低、不需要使用大型精密仪器设备等优点;本发明所得传感器由于活性层厚度超薄,使其具有灵敏度高、选择性好、检测限低等优点,在提高气体传感器的传感特性方面具有重要的应用前景。

技术研发人员:王晓鸿;邱龙臻;葛丰
受保护的技术使用者:合肥工业大学
技术研发日:2017.05.23
技术公布日:2017.09.22
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