技术特征：
技术总结
本发明涉及一种检测晶圆缺陷的装置及方法。一种检测晶圆缺陷的装置包括P面电极、透明导电薄膜、电源、图像采集装置及缺陷鉴别模块；P面电极设于晶圆的P面并作为端；透明导电薄膜设于晶圆的N面并作为负极端；电源与正极端和负极端连接，以给晶圆通电；图像采集装置用于采集晶圆的有源区图像；缺陷鉴别模块用于获取晶圆在磨抛工艺之前有源区图像，并与图像采集系统采集的有源区图像进行对比，以识别出磨抛工艺引入的有源区缺陷。上述检测晶圆缺陷的装置利用电源给晶圆注入电流时，图像采集系统在其N面衬底表面采集其有源区图像，缺陷鉴别模块根据磨抛前后晶圆有源区的图像识别出缺陷的位置。
技术研发人员：李秀山;朱建华;黄寒寒;施威;周文龙
受保护的技术使用者：深圳振华富电子有限公司;中国振华（集团）科技股份有限公司
技术研发日：2017.06.06
技术公布日：2017.09.08