技术特征：
技术总结
本发明公开了一种基于LabVIEW的微球球度高精度测量控制系统，利用两个音叉探针在X方向构成左右差动结构，然后利用两个信号发生器激励两个音叉探针产生谐振，音叉探针振动的信号通过幅值反馈电路处理后经过数据采集卡由工业计算机内的LabVIEW读取，LabVIEW通过读取的音叉振动幅值大小确定音叉探针与被测球的距离，工业计算机给微动台控制器发送指令，通过微动台控制器控制两X向纳米精度微动台同时驱动音叉探针差动逼近微球进行测量，单次逼近完成后微动台控制器控制Y向纳米精度微动台进给微球位置。本发明利用LabVIEW虚拟仪器软件开发微球球度测量控制系统，能实现微球球度的高精度测量，控制精度可达到纳米级。
技术研发人员：黄强先;方传智;芈梦;程荣俊;张连生;李瑞君;陈丽娟
受保护的技术使用者：合肥工业大学
技术研发日：2017.10.19
技术公布日：2018.04.27