技术特征：
技术总结
本发明提供一种扫描型探针显微镜，即使是分束器能够移动的结构也能够高精度地进行观察。在确认扫描型探针显微镜(1)中的试样(S)和悬臂(4)的位置的情况下，用户使光学显微镜(10)与壳体(2)的上表面(21)的第一开口部(21a)相向配置，通过把持并旋转设置于壳体(2)的侧面(22)的操作部，来使被保持部保持的分束器(6)在壳体(2)内旋转移动，从光学显微镜(10)的视场内退出。因此，能够始终将分束器(6)配置在壳体(2)内，从而能够防止用户触碰到分束器(6)。其结果，能够防止分束器(6)损坏、污垢附着于分束器(6)。另外，能够缩短分束器(6)的移动距离。因此，能够抑制分束器(6)的位置产生偏移。
技术研发人员：小林宽治;平出雅人
受保护的技术使用者：株式会社岛津制作所
技术研发日：2017.10.19
技术公布日：2018.04.27