本发明属于干式工艺特气尾气处理技术领域，特别涉及一种尾气处理设备柜体内毒气浓度监测装置。
背景技术：
干式特气尾气处理设备主要用在半导体、太阳能光伏等行业中，用于处理上述行业中从各种工艺主设备中排出的未完全消耗的特殊气体，通常这些气体都具有剧毒、易燃、可燃等特征，对环境及人体都会造成很大的危害，因此，尾气处理设备必须具备很高的安全性，泄漏是非常关键的安全因素；
目前，在干式特气尾气处理设备中，通常都是通过将柜体排气与工厂的厂务排风连接在一起，使得设备柜体内一直处于一个低于大气压的真空状态，即使泄漏气体一般也不会排放到工作区域；
上述方法有以下几个缺点：
1、设备被动与工厂厂务端连接在一起，当厂务端发生故障时，设备柜体内部就会处于常压状态，大大降低了设备的安全性；
2、工作人员不知道设备是否处于泄漏状态，可能会在设备泄漏的状态下打开设备，进而发生安全事故；
3、由于设备被动与厂务端连接在一起，进而在厂务端故障和设备泄漏同时发生时，没有应急方案，泄漏的气体将会排放进入工作区域内，造成环境、人员及的损害及后期清理的费用，若发生安全事故，损失是不可估量的。
技术实现要素：
针对现有技术的不足，本发明旨在提供一种干式特气尾气处理设备柜体内毒气浓度监测装置，能更实时和更精确地获得设备柜体内毒气浓度。
本发明的技术方案是，一种干式特气尾气处理设备柜体内毒气浓度监测装置，包括毒气检测装置、泵、软管、柜体排气口的钢管接头和处理设备进气口的钢管接头；所述毒气检测装置的一端经软管连接于柜体排气口的钢管接头，另一端经软管连接于泵，所述毒气检测装置用于测定流经的气体浓度；所述泵一端经软管连接毒气检测装置的排气口，另一端经软管连接于处理设备进气口钢管接头；启动泵工作，柜体排气口的钢管接头处气体样本被抽取，经软管流经毒气检测装置，毒气检测装置检测被抽取气体样本的浓度，然后经泵的气体通路排到处理设备进气口的钢管接头处，因此，被检测的气体样本最终会重新流回设备进气口再进入到罐体内部，即使检测样本中含有有毒成分也不会直接流出设备造成污染。
进一步的，上述泵为气动泵，利用气体驱动工作，无需电源。
进一步的，上述述软管为透明pvc软管。
进一步的，本发明装置还包括与毒气检测装置连接的控制器，以接收毒气检测装置检测获得的气体浓度信号。
更进一步的，上述控制器有气体浓度预警和报警设置。
进一步的，毒气检测装置具有根据气体种类的不同进行切换的传感器。
进一步的，上述软管的中间部分固定在机柜柜体上，以避免相互缠绕和下垂弯曲影响气体流通。
将一根气体软管的一端与设备柜体排气口处的钢管接头相通，软管的另一端与特定的毒气实时检测装置连接在一起，毒气实时检测装置的另一端连接一个小型的气动泵，泵的出口通过另一根软管与尾气处理设备进气口处的钢管接头连接在一起，实现柜体排气口-毒气检测装置-泵-设备进气口连接在一起并不断从柜体排气口抽取样本气体流经毒气检测装置，从而达到对设备柜体排气端气体实时检测的目的，并通过控制器设计，当设备发生泄露时，控制器会发出警报，设备自动进入应急模式。
与现有技术相比，本发明的益处在于：
1、整套结构都由设备主动控制，即使发生故障，设备也会进入到应急模式，不会发生安全事故；
2、工作人员可从设备的人机交互界面或是设备的报警状态直接查看设备是否有泄露发生，从而从根源上避免安全事故的发生；
3)由于采用的是气体实时监测装置，解决了因为环境的改变而影响装置的灵敏性、准确度等重要功能的问题；
4)毒气检测装置将直接将检测到的气体相关参数转化成电信号后反馈到plc装置，发生泄露时，设备将会自动发出警报，更及时、更安全并进入到应急模式。
5)毒气检测装置可以实时显示气体的浓度，直观地与国家规定的环保政令进行对比，同时也可将监测设备的报警输出信号调整到国家环保要求的标准，当浓度高于设置值时，系统就会发出报警指令，让用户实时了解设备处理能力。
附图说明
从下面结合附图对本发明实施例的详细描述中，本发明的这些和/或其它方面和优点将变得更加清楚并更容易理解，其中：
附图1为本发明实施例的装置结构示意图。
具体实施方式
为了使本领域技术人员更好地理解本发明，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。这里，需要注意的是，在附图中，将相同的附图标记赋予基本上具有相同或类似结构和功能的组成部分，并且将省略关于它们的重复描述。
实施例1
一种干式特气尾气处理设备柜体内毒气浓度监测装置，如图1所示，包括毒气检测装置3、气动泵2、透明pvc软管4、柜体排气口的钢管接头5和处理设备进气口的钢管接头1；
所述毒气检测装置3具有根据气体种类的不同进行切换的传感器，其一端经透明pvc软管4连接于柜体排气口的钢管接头5，另一端经透明pvc软管4连接于气动泵2，所述毒气检测装置3用于测定流经的气体浓度；
所述气动泵2一端经透明pvc软管4连接毒气检测装置3的排气口，另一端经透明pvc软管(4连接于处理设备进气口钢管接头1；
上述透明pvc软管4的中间部分固定在机柜柜体上，以避免相互缠绕和下垂弯曲影响气体流通；
启动气动泵2工作，柜体排气口的钢管接头5处气体样本被抽取，经透明pvc软管4流经毒气检测装置3，毒气检测装置3检测被抽取气体样本的浓度，然后经气动泵2的气体通路排到处理设备进气口的钢管接头1处。
控制器与毒气检测装置3连接，以接收毒气检测装置3检测获得的气体浓度信号；控制器有气体浓度预警和报警设置。
通过气体透明pvc软管4将柜体排气口、毒气检测装置3、气动泵2、设备进气口1连接起来，实现对柜体排气口内目标气体浓度实时监测的目地，当柜体排气口目标气体浓度大于预设值时，控制器会发出预警和报警信号，出现报警提示，提示工作人员需对设备进行维护或是升级。
以上已经描述了本发明的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。因此，本发明的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。