一种玻璃平板或结构件平面平行度测量装置的制作方法

文档序号:14873308发布日期:2018-07-07 02:36阅读:319来源:国知局

本发明涉及一种平面平行度测量装置,用于光学加工和机械加工中的玻璃平板或结构件平面平行度测量装置。



背景技术:

在光学加工和机械加工领域,常常需要加工平板玻璃如光窗、滤光片、平面反射镜等元件,机械加工上也会加工一类高精度结构件,对零件各面之间的平行度有严格要求,如光窗直接影响传感器光轴平行性,需要精确测量两个使用面之间的平行性。

现有调试方法主要分为两种,一种为光学测试,通过用自准直平行光管测试,光管发射平行光到平板玻璃,并通过接收被测玻璃前后面反射回的光进行成像,前后两个面反射回的像之间的角度差来计算两个面之间的平行度,但要求玻璃可透射光线,对于不透明和红外材料元件无法采用此种方法。

另一种为机械式测试,如专利CN86209969,通过千分尺测量被测平面不同位置的厚度差,以此来计算平面平行度。

两种测试方法都有局限性,光学测试对于不透光的零件无法测试,机械式测试为接触式测量,对于某些精密光学元件不适合,且对于不规则零件有时无法测量。



技术实现要素:

要解决的技术问题

为了避免现有技术的不足之处,本发明提出一种玻璃平板或结构件平面平行度测量装置,提供平面平行度的快速测试。

技术方案

一种平面平行度测量装置,其特征在于:包括第一自准直平行光管1、第二自准直平行光管2、调节支架3、第一显示器4和第二显示器5;调节支架3置于第一自准 直平行光管1和第二自准直平行光管2之间,第一自准直平行光管1和第二自准直平行光管2设在各自的支撑平台上,两个自准直平行光管相对,并能对对方十字目标源相互成像;第一显示器4位于第一自准直平行光管1相对于调节支架3的一侧,显示屏位于调节支架3上被测元件6的反射光路上;第二显示器5位于第二自准直平行光管2相对于调节支架3的一侧,显示屏位于调节支架3上被测元件6的反射光路上。

所述第一自准直平行光管1和第二自准直平行光管2采用带十字目标源的自准直平行光管。

有益效果

本发明提出的一种玻璃平板或结构件平面平行度测量装置,通过两台自准直平行光管和被测元件之间的位置关系,能实现平行度的快速精确测定,适用于所有的需要测试平面平行度的元件,对于玻璃可直接测试,对于无法反光的其他材料只需贴合两块高精度的反射镜即可,应用广泛,实用性强。

附图说明

图1:本发明的结构示意图;

1-第一自准直平行光管,2-第二自准直平行光管,3-调节支架,4-第一显示器,5-第二显示器,6-被测元件。

图2实施例中成像光路示意图之一;

图3(a)和3(b)实施例中成像光路示意图之一;

图4:在显示器上显示的十字像图像。

具体实施方式

现结合实施例、附图对本发明作进一步描述:

本实施例提供的平面平行度的快速测试装置包含有:两台自准直平行光管其显示设备、自准直平行光管支撑调节机构、一个调整固定支架。平面平行度的快速测试使 用的装置的结构示意图如图1所示,平行光管反射成像光路示意图如图2所示,测试光路如图3(a)和3(b)所示,十字像位置关系如图4所示。

位置关系为:

调节支架3置于第一自准直平行光管1和第二自准直平行光管2之间,第一自准直平行光管1和第二自准直平行光管2设在各自的支撑平台上,两个自准直平行光管相对,并能对对方十字目标源相互成像;第一显示器4位于第一自准直平行光管1相对于调节支架3的一侧,显示屏位于调节支架3上被测元件6的反射光路上;第二显示器5位于第二自准直平行光管2相对于调节支架3的一侧,显示屏位于调节支架3上被测元件6的反射光路上。

所述第一自准直平行光管1和第二自准直平行光管2采用带十字目标源的自准直平行光管。

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