一种基于点阵式压电薄膜传感器的气体检测装置的制作方法

技术特征：

1.一种基于点阵式压电薄膜传感器的气体检测装置，其特征在于：包括点阵式压电薄膜传感器、信号发生器和信号采集分析处理模块，所述信号发生器和信号采集分析处理模块均与点阵式压电薄膜传感器连接，所述点阵式压电薄膜传感器具有至少一个气体通道，每个气体通道具有多个压电薄膜，所述多个压电薄膜整合排布在基底上以构成一个点阵式传感器组，所述压电薄膜采用声子晶体材料制成，且在其内表面涂抹有能够吸附待测气体的敏感材料。

2.如权利要求1所述的基于点阵式压电薄膜传感器的气体检测装置，其特征在于：所述点阵式压电薄膜传感器上的气体通道设置数量超过一个时，所有的气体通道并排设置。

3.如权利要求1所述的基于点阵式压电薄膜传感器的气体检测装置，其特征在于：同一气体通道内压电薄膜所涂抹的敏感材料为同一类型的敏感材料，且能够吸附同一种类型的待测气体；不同气体通道内压电薄膜所涂抹的敏感材料的类型不同。

4.如权利要求1所述的基于点阵式压电薄膜传感器的气体检测装置，其特征在于：所述信号采集分析处理模块包括依次连接的激光振动仪、锁相放大器和波形数据分析软件，其中，所述激光振动仪连接点阵式压电薄膜传感器，所述波形数据分析软件采用LabVIEW软件。

5.如权利要求1所述的基于点阵式压电薄膜传感器的气体检测装置，其特征在于：还包括储放有所述待测气体的待测气体罐，所述待测气体罐连接点阵式压电薄膜传感器以将所述待测气体通入气体通道内。

6.如权利要求5所述的基于点阵式压电薄膜传感器的气体检测装置，其特征在于：还包括储放有氮气的氮气罐，所述氮气罐连接点阵式压电薄膜传感器，以将所述氮气通入气体通道内，所述氮气和待测气体错开通入气体通道内。

7.如权利要求6所述的基于点阵式压电薄膜传感器的气体检测装置，其特征在于：还包括混合气室，所述混合气室分别连接点阵式压电薄膜传感器、待测气体罐和氮气罐，用以混合所述待测气体和氮气、并将混合得到的混合气体通入气体通道内；所述氮气罐和混合气室之间设置有第一流量控制器，所述氮气罐和点阵式压电薄膜传感器之间设置有第二流量控制器。

8.如权利要求7所述的基于点阵式压电薄膜传感器的气体检测装置，其特征在于：所述混合气室上设置有可开合的混合排气孔。

9.如权利要求5-8任一所述的基于点阵式压电薄膜传感器的气体检测装置，其特征在于：所述点阵式压电薄膜传感器上设置有可开合的气道排气孔，所述气道排气孔与点阵式压电薄膜传感器上所有的气体通道均连通。