技术总结
本实用新型提供一种基于点阵式压电薄膜传感器的气体检测装置,包括点阵式压电薄膜传感器、信号发生器和信号采集分析处理模块,所述信号发生器和信号采集分析处理模块均与点阵式压电薄膜传感器连接,所述点阵式压电薄膜传感器具有至少一个气体通道,每个气体通道具有多个压电薄膜,所述多个压电薄膜整合排布在基底上以构成一个点阵式传感器组,所述压电薄膜采用声子晶体材料制成,且在其内表面涂抹有能够吸附待测气体的敏感材料。本实用新型通过采用点阵式结构的压电薄膜传感器来聚焦信号发生器产生的谐振波,放大信号发生器产生的振幅和频率,提高检测的准确性,且可应用于不同领域不同类别气体的检测,其灵敏度高,应用范围广。
技术研发人员:高波;陈大伟;唐焱;张应红;唐亮;高成;王岩;黄伟;胡清钟;孙宁
受保护的技术使用者:桂林电子科技大学
技术研发日:2017.11.27
技术公布日:2018.06.12