金属微距测量传感器以及测量系统的制作方法

文档序号:16028144发布日期:2018-11-23 19:49阅读:来源:国知局

技术特征:

1.金属微距测量传感器,其特征在于:包括谐振电路、开关放大电路、运放电路,所述开关放大电路输入端与谐振电路连接、输出端接开关放大电路;谐振电路采用电感L1、电阻R2和被检测的电容C1构成的RLC谐振电路;开关放大电路中采用NPN沟道的三极管Q1,三极管Q1的集电极接RLC谐振电路中电感L1和电阻R2的连接公共端、基极接上拉电阻R1,被测电容C1的变化引起集电极电势的变化,控制三极管Q1的开关;运放电路采用反向运放电路,三极管Q1的集电极端经过电容C3后接运放电路的运放器U1的反向输入端,对检测信号进行放大。

2.根据权利要求1所述的金属微距测量传感器,其特征在于:谐振电路中,电容C1负极接地、正极接电感L1,电感L1的另一端接电阻R2,电阻R2的另一端引电源;电容C1的极板为金属极板。

3.根据权利要求1所述的金属微距测量传感器,其特征在于:开关放大电路中,三极管Q1的基极还接由电阻R5、电容C7并联构成的RC滤波电路,三极管Q1的发射极接下拉电阻R7,发射极与集电极之间接电容C6,电容C8并联在电阻R7两端也构成了RC滤波电路。

4.根据权利要求1所述的金属微距测量传感器,其特征在于:运放电路中,运放器的正向输入端IN+接电容C3、输出端与反向输入端IN-接电阻R6,电阻R6与反向输入端IN-公共端接下拉电阻R8,电阻R6与运放器U1公共端接电容C4,电容C4的另一端接电阻R3,R3的另一端接下拉电阻R4以及电容C5。

5.一种采用权利要求1至4任一权利要求中所述的传感器的测量系统,其特征在于:包括上述的传感器,还包括FPGA和主控设备,FPGA输入端接传感器,对传感器测量的电容C1变化值进行计算,计算后输出给主控设备。

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