技术特征：
技术总结
本发明公开了一种微型真空计及其工作方法，该微型真空计包括底座、框架、绝缘基底、二极管、电阻、悬臂梁和电学连线，框架固定在底座四周，悬臂梁至少为两个，悬臂梁的一端与绝缘基底固定连接，悬臂梁的另一端固定于框架的上侧面上，至少两个悬臂梁将绝缘基底悬空固定于框架上；二极管和电阻设于绝缘基底上，电学连线将电阻和二极管电性连接并从悬臂梁上引出。本发明通过配置二极管数量、二极管的串并联方式、串联电阻大小、绝缘基底与底座之间的间隙实现对不同真空度的精确检测，具有配置灵活、灵敏度高、量程大的优点。此外，该真空计还具有结构及制作方法简单、与CMOS工艺兼容、加工误差容限大、成本低等优点。
技术研发人员：魏德波;候影;刘瑞文;傅剑宇;吕文龙;王玮冰;陈大鹏
受保护的技术使用者：昆山光微电子有限公司;中国科学院微电子研究所
技术研发日：2018.04.12
技术公布日：2018.08.10